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Analyse von multinären PVD N-Schichten auf Magnesium ...

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Zusammenfassung<br />

• Verschiedene nitridbasierte Schichtsysteme in aktuellen Forschungsprojekten<br />

• Die Messung des exakten Stickstoffgehaltes ist wichtiger Bestandteil bei der<br />

<strong>Schichten</strong>twicklung<br />

• Wir messen die Stickstoffgehalte in der Standardkalibrierung (Stahlreferenz JK41)<br />

Fazit:<br />

Welche weiteren Möglichkeiten der Stickstoffkalibrierung für höhere N-Gehalte gibt es ?<br />

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