Analyse von multinären PVD N-Schichten auf Magnesium ...
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GDOES-Equipment<br />
Spectruma GDA 750 + CCD Spektrometer:<br />
• Multimatrix-Messmethode mit Standardkalibration<br />
• Standardmethode nicht abgestimmt <strong>auf</strong> Stickstoffmessung bei hohen N-<br />
Gehalten ?<br />
• Eventuell Matrixeinflüsse <strong>auf</strong> Messergebnis ?<br />
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