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Microsensoren zur Betauungserkennung - CiS

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Die Anlagerung von Wassermolekülen an eine feste Oberfläche beruht auf der Adsorption. Die Adsorptionsvorgänge<br />

können auf Chemisorption und Physisorption <strong>zur</strong>ückgeführt werden.<br />

Der stärkere Prozess der Chemisorption führt <strong>zur</strong> Dissoziation der Wassermoleküle und Hydroxylgruppen, die in<br />

der Oberfläche vorkommen. Die Chemisorption führt dazu, dass bei Raumtemperatur ein Festkörper stets mit<br />

einer mindestens einlagigen Wasserschicht bedeckt ist. Weitere Wassermoleküle werden durch Ausbildung von<br />

Wasserstoff-Brückenbildungen physikalisch adsorbiert. Dieser Prozess ist schnell und reversibel, d.h. diese<br />

Wassermoleküle können bei geringeren Drücken oder steigender Temperatur leicht wieder entfernt werden.<br />

Die Oberfläche wird durch Anlagerung von Fremdatomen, sogenannten Adsorbaten, modifiziert, es verändert<br />

sich das Potential an der Oberfläche und somit auch die Energie der Oberflächenzustände.<br />

Hydrophile Eigenschaften von Oberflächen werden durch polare Bindungen hervorgerufen, die eine gute Benetzbarkeit<br />

mit Wasser und die Ausbildung einer Wasserhaut bewirken. Hydrophobe Eigenschaften von Oberflächen<br />

werden durch unpolare Substituenten nach außen charakterisiert.<br />

Befinden sich auf der Baugruppe hygroskopische bzw. sorptive Schichten, welche aufgrund einer Dampfdruckerniedrigung<br />

zu einer Taupunkttemperaturerhöhung an der Oberfläche führen, kommt es eher zu einer Betauung,<br />

als es das Umgebungsklima (Taupunkttemperatur und relative Feuchte) ausweist. Als dampfdrucksenkende<br />

Stoffe, Kondensationskeime, wirken z.B. Verunreinigungen und Salze.<br />

3. Verfahren <strong>zur</strong> Kondensationsmessung<br />

Für Kondensationsmessungen werden gem. Stand der Technik optische als auch elektrische Meßmethoden<br />

angeboten.<br />

Optische Meßmethoden sind durch die Verwendung von Strahler- und Empfänger-Baugruppen für eine Plazierung<br />

in elektronischen Baugruppen zu groß. Auch kann es durch die Betauung der Strahlerbauelemente zu einer<br />

Messsignalverfälschung kommen. Nachteilig wirkt sich auch aus, dass die Reflexionsänderung mehr mit der<br />

Flächenbedeckung als mit der Höhe der Wasserbedeckung einher geht.<br />

Die Verwendung von Glasfasersystemen ist systemseitig sehr kostenaufwendig.<br />

Polymerbeschichtete relative Feuchtesensoren, die auf kapazitiven Meßmethoden beruhen, zeigen nach einer<br />

vollständigen Betauung starke Driften und zunehmende Hystereseerscheinungen. Verwendbare Messwerte<br />

werden erst nach dem Abtrocknen wieder angezeigt.<br />

4. <strong>CiS</strong>-Feuchte-Mikrosensoren<br />

Für die messtechnische Beurteilung von Klima- und Betauungstests ist die Wahl der Messtechnik, d.h. die zum<br />

Einsatz kommenden Mess- und Prüfverfahren entscheidend.<br />

Die im <strong>CiS</strong> Institut für Mikrosensorik entwickelten und gefertigten Mikrosensoren <strong>zur</strong> Feuchtemessung basieren<br />

auf einem Grundmodul. Dieses Grundmodul besteht aus einem in Silizium integrierten Streufeldkondensator,<br />

einem Temperatursensor und einem integrierten Kapazitäts-Frequenz-Wandler. Kondensierter Wasserdampf<br />

bewirkt aufgrund seiner Dielektrizitätskonstante eine Kapazitätserhöhung, die zu einer deutlichen Frequenzänderung<br />

führt.<br />

Basierend auf diesem Grundmodul werden Taupunktmeßgeräte, Taupunkt-Transmitter und Beschlagssensoren<br />

angeboten.<br />

Taupunktmessgeräte und Taupunkt-Transmitter (4...20 mA Ausgang, 12...30 V) auf der Basis des CCC*-Prinzips<br />

(Condensate Controlled Capacitance nach Heinze) messen die Taupunkttemperatur im Bereich von –10°C bis<br />

100°C.<br />

Die absolut messenden Systeme haben den Vorteil, dass die absolute Menge des im Gas enthaltenen Wasserdampfes<br />

(Taupunkttemperatur) die Messgröße darstellt, welche unabhängig von der Temperatur ist.<br />

Mit Hilfe der gemessenen Taupunkttemperatur und der Umgebungstemperatur lassen sich über die Dampfdruckkurve<br />

weitere thermodynamische Größen wie z.B. relative und absolute Feuchte, Enthalpie, Dampfdruck<br />

und Mischungsverhältnis errechnen.<br />

Neben bewährten Anwendungen von Feuchtemessgeräten sind die angebotenen Taupunktsensoren bestens<br />

geeignet, die thermodynamischen Bedingungen in einem Klimaschrank bzw. einer Testkammer genau und reproduzierbar<br />

zu erfassen.<br />

Damit stehen zwei Prüfmethoden für Klima- bzw. Betauungstests <strong>zur</strong> Verfügung. Zum einen über die Messung<br />

der Temperatur des Prüflings und der Taupunkttemperatur der angrenzenden Luft und zum anderen direkt mit<br />

einem Betauungsfühler über geeignete Kondensatorstrukturen.<br />

5. Mikrosensoren <strong>zur</strong> Betauungsserkennung<br />

Der Betauungsfühler BTF <strong>CiS</strong> 11340 kann in modifizierter Ausführung <strong>zur</strong> Beschlags- bzw. Kondensationshöhendetektion<br />

eingesetzt werden. Dieser Mikrosensor mit Abmessungen von 6,5 x 20 x 0,5 (in mm) stellt einen<br />

monolithisch integrierten Streufeldkondensator dar, der ein Frequenzausgangssignal proportional zum Grad der<br />

Betauung liefert. Optional kann eine Temperaturmessdiode integriert werden. Der Sensor arbeitet mit einer Betriebsspannung<br />

von 5 V/DC in einem Temperaturbereich von –20 bis +85°C. Er weist eine hohe chemische Beständigkeit<br />

gegen Säuren, Laugen und Lösungsmittel auf und lässt sich einfach reinigen.<br />

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