BERICHTE Department für Informatik Zwei-Jahresbericht des ...

162 KAPITEL 5. TECHNISCHE INFORMATIK
gefördert wird. Es sollen neuartige Moleküle hergestellt werden, mit denen unter Einsatz eines
Nanoroboters lokal kleinste Strukturen von bis zu 30 Nanometer Auflösung erzeugt werden
können.
Vorgesehen ist, Goldatome in leicht zersetzliche Moleküle einzubauen, die für die Herstellung
der metallischen Strukturen (Abscheidevorgang) verwendet werden. Diese Moleküle werden
maîgeschneidert und daher äDesignerprecursorô genannt (Prof. Dr. Mathias Wickleder, Anorganische
Chemie). Außerdem wird untersucht, wie sich die Moleküle an Oberflächen unter Einfluss
von Wärme, Elektronen oder Plasma tatsächlich zersetzen. Goldmetall ist zwar ausgesprochen
reaktionsträge und wird seit Jahrtausenden als Schmuck verarbeitet, aber kleinste Anhäufungen
von ein paar hundert Goldatomen zeigen eine überraschende Aktivität für katalytische Reaktionen.
Unklar ist, ob dies hinderlich oder förderlich für den Abscheidevorgang ist (Prof. Dr.
Katharina Al-Shamery, Oberflächenchemie).
In der Arbeitsgruppe in der Abteilung für Mikrorobotik und Regelungstechnik soll getestet
werden, wie sich mit kleinsten Robotern die Moleküle an den Ort der Reaktion transportieren
lassen, um ressourcenschonend auch an Orten Nanostrukturen zu schreiben, die mit anderen
Verfahren nicht zugänglich sind.
Die beteiligten WissenschaftlerInnen halten es für möglich, dass die Forschungsergebnisse
auf das Abscheiden vieler anderer Metalle übertragbar sind, was für die künftige Entwicklung
der Mikroelektronikindustrie von Bedeutung wäre. Darüber hinaus ist es nach Auffassung der
Oldenburger ForscherInnen denkbar, besonders ämildeô Abscheidebedingungen zu erzeugen, so
dass auch Strukturen auf empfindlichen Materialien wie z.B. Kunststoffen hergestellt werden
könnten.
3D-Echtzeit-Bildgebungs- und Messsystem für Rasterelektronenmikroskope - 3D-
REM
Projektdauer: 01.07.2005 - 30.06.2007
Projektpartner: Kuratorium OFFIS e.V., Oldenburg (D)
Point electronic GmbH, Halle (D)
3D-Image-Processing GmbH, Gut Mergentau (D)
Surface Concept, Bonn (D)
Finanziert durch: BMWA
Um eine effektive Qualitätssicherung bei der Fertigung in der Mikrosystemtechnik(MST) zu
erreichen, ist es unter anderem nötig, die Materialeigenschaften- und Geometrien von Mikrokomponenten
präzise zu kennen. Aufgrund der immer kleiner werden Strukturen reichen Standardverfahren
(z. B. Verifikation mit Hilfe eines Lichtmikroskops) oft nicht mehr aus. Eine
sinnvolle Erweiterung der messtechnischen Möglichkeiten bei fortschreitender Miniaturisierung
stellen REMs (Raster Elektronen Mikroskope) dar. Mit ihnen können enorme Vergrößerungen
erreicht werden, die es erlauben, Strukturen genau zu vermessen und nötige Mikromanipulationen
zu überwachen. Um der Dreidimensionalität der meisten MST- und Nanokomponenten
gerecht zu werden, fehlt es derzeit an schnellen 3D-Bild- und Messsystemen für REMs. Um
diesen erheblichen Nachteil zu beseitigen, ist die Zielsetzung im beantragten Vorhaben, ein modulares
3D-Echtzeit-Bildverarbeitungs- und Messsystem zu entwickeln, das in bereits gebaute
wie auch in zukünftige REMs integriert werden kann.