Diplomarbeit Olga Rehband

3.2. VAKUUMSYSTEMAbbildung 3.4: Aufnahme der aufgebauten Vakuumapparatur. Vorne links ist dieHauptkammer und hinten rechts die Ofenkammer zu erkennen.kollimiert werden und die Aufdampfrate direkt hinter der ultradünnen Glasfasermittels einer Quartzmikrowaage (Quartz Cristal Mikrobalance, QCM)(Kap. 3.3.1) gemessen werden. Für später geplante Fluoreszenzmessungenwurde eine weitere Glasfaser (Kap. 3.3.2) in der Hauptkammer installiertund senkrecht zur ultradünnen Glasfaser ausgerichtet. Die Fluoreszenz sollmit dem Faserende aufgenommen werden, das in einem Abstand von wenigerals 100 µm zur ultradünnen Glasfaser eingestellt werden muss. DieEinstellung eines solchen geringen Abstandes ist mit Hilfe eines Mikroskopobjektivsund einer CCD-Kamera (Kap.3.3.3), die sich direkt über der ultradünnenGlasfaser befinden, möglich. Um in der Hauptkammer währendder Molekülsublimation eine Vergrößerung des Druckes aufgrund der hohenTemperatur der Knudsen-Zelle zu vermeiden, wird eine Blende zwischen denbeiden Kammern eingesetzt und somit differentielles Pumpen erzeugt.In Abb. 3.4 ist eine Aufnahme des gesamten Vakuumsystems dargestellt.Hierin befindet sich in der vorderen Hälfte die Hauptkammer undim hinteren Teil die Ofenkammer. Alle Vakuumkomponenten entsprechendem CF-Standard (ConFlat®), d.h. die Flanschverbindungen sind symmetrischeVerbindungen mit einer flanschseitigen Schneidkante. Die Abdichtungerfolgt mit sauerstofffreiem (OFHC) Kupfer, um die erforderliche geringeLeck- (< 10 −10 mbar·l/s) und Desorptionsrate sowie die hohe Ausheiz-33