Diplomarbeit Olga Rehband

KAPITEL 3.AUFBAU DER VAKUUMAPPARATURbarkeit zu gewährleisten. Die Hauptkammer musste wegen der individuellenAnforderungen an das Experiment speziell angefertigt werden. Die Ofenkammerbesteht ausschließlich aus Standardkomponenten. Schematisch istder Vakuumaufbau mit den Pumpenkombinationen sowie den angeordnetenVentilen und Vakuummessgeräten in Abb. 3.5 dargestellt. Dabei trennt einPneumatikventil (G) die beiden Kammern voneinander.A: Pirani-Transmitter(TPR 280)HauptkammerGOfenkammerHB: Turbomolekularpumpe(HiPace 300)C: elektromagnetisches Ventil(BAV 25 EM SS)D: Kaltkathoden-Transmitter(IKR 270)ACEBDKIJE: Ventil mit Handantrieb(BIV 35 M SS)F: Scroll-Pumpe(SCROLLVAC SC 15D)G: PneumatikventilH: Pirani/Kaltkathode-Transmitter(PKR 251)I: Turbomolekularpumpe(HiPace 80)FLJ: Kaltkathode-Transmitter(IKR 251)K: elektromagnetisches Ventil(BAV 25 EM SS)L: Scroll-Pumpe(SCROLLVAC SC 5D)Abbildung 3.5: Schematische Darstellung des Vakuumaufbaus.Der Einsatz trockener Pumpen ist notwendig, um Ölspuren im Vakuumbehälterund damit auf der Faser zu vermeiden. Zudem ist eine schnel-Vakuummessungle EvakuierungTurbomolekular-pumpevon Vorteil, da die Kammern mehrfach geöffnet werdenmüssen. Daher wurden für die Erzeugung des Vorvakuums ölfreie Scroll-ScrollpumpeVakuumpumpen (Ofenkammer: SCROLLVAC SC 5D (L); Hauptkammer:SCROLLVAC SC Pneumatikventil 15D (F), Oerlikon Leybold Vacuum) verwendet. DiesePumpen erreichen niedrige Enddrücke, p ≤ 0, 05 mbar (SC 5D) und p ≤ 0, 016Ventil, elektromagnetischerAntrieb haben Saugvermögen von 4,8 m 3 /h (SC 5D) und 13,0mbar (SC 15D), undm 3 /h (SC 15D). Ventil, Für Handantrieb die Erzeugung des UHVs dienen Turbomolekularpumpen(Ofenkammer: HiPace 80 (I); Hauptkammer: HiPace 300 (B), PfeifferVacuum). Diese Pumpen benötigen zum Starten einen maximalen Vorvakuumdruckvon 22 mbar (HiPace 80) bzw. 15 mbar (HiPace 300), haben einSaugvermögen von 48 l/s bzw. 220 l/s und erreichen beide einen Enddruck34