Diplomarbeit Olga Rehband

4.1. INBETRIEBNAHME DER VAKUUMAPPARATURdie undichte Stelle verschließt, d.h. es stellt sich nach einem anfänglichen,schlagartigen Anstieg des Druckes ein niedrigerer Druck ein als vor dem Einspritzen.Dieser Anstieg kann in Abhängigkeit von der Leckgröße mehrereGrößenordnungen betragen. Der niedrige Druck wird solange gehalten bisdas Aceton vollständig ausgegast ist, was mehrere Stunden andauern kann.Danach steigt der Druck wieder auf den ursprünglichen Wert an.Eine Möglichkeit solche Lecks zu verschließen bietet eine zähe Leckversiegelungsflüssigkeit(Leak Sealant, Kurt J. Lesker Co.), die für Leckraten biszu 10 −3 mbar·l/s geeignet ist. Diese wird auf die betroffene Stelle mit einemPinsel aufgetragen und muss einige Stunden aushärten. Nach der Versiegelungdes Lecks mit dem Leak Sealant ist der Druck innerhalb von 6 Stundenvon 2, 8 · 10 −9 mbar auf einen Wert von 8, 0 · 10 −10 mbar gesunken und nachweiteren 21 Stunden konnte ein Druck von 4, 0 · 10 −10 mbar erreicht werden.Neben den reellen Lecks tragen auch virtuelle Lecks zu einer Verschlechterungdes Vakuums bei. Vakuumseitige Verschmutzungen und damit starkesAusgasen haben einen höheren Enddruck zur Folge. Durch eine Ausheizprozedurkann die Desorption von Partikeln beschleunigt werden. Besondersstark betroffen war das Pneumatikventil zwischen den beiden Kammern undmusste gründlich ausgeheizt werden.4.1.4 AusheizenDer Druck in einer Vakuumapparatur lässt sich durch Ausheizen weitervermindern, da die Desorption der Partikel von den Oberflächen dadurchbegünstigt wird. In der Regel sind CF-Vakuumkomponenten bis zu einerTemperatur von 250 °C ausheizbar. Die Ausheiztemperatur muss den Temperaturspezifikationender Vakuumkomponenten entsprechend gewählt werden.Die Hauptkammer wurde bei einer Temperatur von 150 °C ausgeheizt.Diese Wahl der Temperatur wurde aufgrund des xy-Manipulators, dessenMikrometerschrauben eine Höchsttemperatur von 100 °C erreichen dürfen,getroffen. Außerdem sind mindestens 150 °C notwendig, um eine effektiveDesorption der meisten Wasserschichten und Verschmutzungen von denOberflächen zu gewährleisten.Zum Ausheizen wurde ein 5 m langes PTFE-isoliertes Heizband mitGlasseidenummantelung (TeMS 6, 1500 W/m, Vacom), das eine maximaleOberflächentemperatur von 260 °C erreicht, verwendet. Um eine gleichmäßigeWärmeverteilung zu gewährleisten muss die Kammer mit mehreren SchichtenAluminiumfolie eingehüllt werden, wobei darauf zu achten ist, dass einLuftpolster zwischen Kammer und erster Schicht gebildet wird. Für dieStromversorgung wurde das Heizband an einen Transformator angeschlossen,mit dem die Temperatur eingestellt werden kann.Eine langsame Temperaturänderung von 2 °C bis 3 °C pro Minute ist wegender Viewports erforderlich, da sich sonst das Glas bei zu schneller Tem-51