Spectrum 161
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Elektronenmikroskopie/Licht&Laser<br />
Kombination von Dehnungsmessung und AFM im SEM<br />
Die Untersuchung von Bruchstellen<br />
und Materialermüdung wird<br />
routinemäßig in der Schadens-<br />
Abb. 1: Kombination von AFSEM und In-situ-Zugund<br />
Kompressionssystem von Deben für korrelierte<br />
Dehnungsmessungen im SEM.<br />
Abb. 2: Korrelierte In-situ-AFM & SEM-Dehnungsmessung<br />
an einem Kupferdraht.<br />
und Fehleranalyse eingesetzt. Dabei<br />
stellt insbesondere die Analyse<br />
von Bruchstellen auf der Nanoskala<br />
eine Herausforderung dar und<br />
ist ein aktiver Forschungsbereich<br />
in den Materialwissenschaften.<br />
Durch die intelligente Integration<br />
von AFM und Dehnungsmessung<br />
in einem SEM können die<br />
komplementären Stärken beider<br />
Mikroskopiemethoden perfekt<br />
kombiniert werden. Der optikfreie<br />
Messaufbau des AFSEM ermöglicht<br />
es dabei, den Cantilever<br />
direkt auf der Zugstage im SEM zu<br />
positionieren (Abb.1).<br />
Als Beispiel für eine korrelierte<br />
In-situ-AFM & SEM-Dehnungsmessung<br />
ist in Abb. 2 die Dehnung<br />
eines Kupferdrahtes mit einem<br />
Durchmesser von 250 µm gezeigt.<br />
Der Draht wurde dabei um bis zu<br />
Abb. 3: Rauigkeit der Drahtoberfläche als Funktion<br />
der Dehnung.<br />
29% gedehnt. Mit Hilfe der hohen<br />
Auflösung des SEM kann immer<br />
exakt die gleiche Stelle für unterschiedliche<br />
Dehnungsstadien identifiziert<br />
und die Rauigkeitsänderung<br />
der Drahtoberfläche mit<br />
Nanometergenauigkeit analysiert<br />
werden (siehe Abb. 3).<br />
Die Kombination von AFSEM mit<br />
einem Zug- und Kompressionssystem<br />
bietet damit vielseitige<br />
Anwendungen bei der Untersuchung<br />
von Materialermüdung oder<br />
Bruchstellen.<br />
https://www.qd-europe.com/AFSEM<br />
Dr. Andreas Bergner<br />
06151 8806-12<br />
bergner@qd-europe.com<br />
Neues Spektroradiometer ILT960 (180-1100 nm)<br />
Das neue ILT960 Spektroradiometer<br />
ist in drei Versionen mit unterschiedlichen<br />
Wellenlängenbereichen<br />
verfügbar.<br />
In Kombination mit verschiedenen<br />
Eingangsoptiken (z.B. Ulbrichtkugeln,<br />
rechtwinkligen „Kosinus-Adapter“,<br />
RAA4, usw.) und Kalibrierungen<br />
können photometrische und radiometrische<br />
Messungen in dem jeweiligen<br />
Wellenlängenbereich durchgeführt<br />
werden.<br />
Seine Leistungsfähigkeit wurde im<br />
Vergleich zum ILT950 durch eine<br />
überarbeitete optische Strahlführung<br />
für reduziertes Streulicht und<br />
bessere thermische Stabilität, verändert.<br />
Die Spektroradiometer der<br />
ILT960 Serie haben einen COMOS-<br />
Linearsensor.<br />
https://www.qd-europe.com/ILT960<br />
Uwe Schmidt<br />
06151 8806-15<br />
schmidt@qd-europe.com<br />
7 <strong>Spectrum</strong> <strong>161</strong> | Mai 2021