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Spectrum 161

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Elektronenmikroskopie/Licht&Laser<br />

Kombination von Dehnungsmessung und AFM im SEM<br />

Die Untersuchung von Bruchstellen<br />

und Materialermüdung wird<br />

routinemäßig in der Schadens-<br />

Abb. 1: Kombination von AFSEM und In-situ-Zugund<br />

Kompressionssystem von Deben für korrelierte<br />

Dehnungsmessungen im SEM.<br />

Abb. 2: Korrelierte In-situ-AFM & SEM-Dehnungsmessung<br />

an einem Kupferdraht.<br />

und Fehleranalyse eingesetzt. Dabei<br />

stellt insbesondere die Analyse<br />

von Bruchstellen auf der Nanoskala<br />

eine Herausforderung dar und<br />

ist ein aktiver Forschungsbereich<br />

in den Materialwissenschaften.<br />

Durch die intelligente Integration<br />

von AFM und Dehnungsmessung<br />

in einem SEM können die<br />

komplementären Stärken beider<br />

Mikroskopiemethoden perfekt<br />

kombiniert werden. Der optikfreie<br />

Messaufbau des AFSEM ermöglicht<br />

es dabei, den Cantilever<br />

direkt auf der Zugstage im SEM zu<br />

positionieren (Abb.1).<br />

Als Beispiel für eine korrelierte<br />

In-situ-AFM & SEM-Dehnungsmessung<br />

ist in Abb. 2 die Dehnung<br />

eines Kupferdrahtes mit einem<br />

Durchmesser von 250 µm gezeigt.<br />

Der Draht wurde dabei um bis zu<br />

Abb. 3: Rauigkeit der Drahtoberfläche als Funktion<br />

der Dehnung.<br />

29% gedehnt. Mit Hilfe der hohen<br />

Auflösung des SEM kann immer<br />

exakt die gleiche Stelle für unterschiedliche<br />

Dehnungsstadien identifiziert<br />

und die Rauigkeitsänderung<br />

der Drahtoberfläche mit<br />

Nanometergenauigkeit analysiert<br />

werden (siehe Abb. 3).<br />

Die Kombination von AFSEM mit<br />

einem Zug- und Kompressionssystem<br />

bietet damit vielseitige<br />

Anwendungen bei der Untersuchung<br />

von Materialermüdung oder<br />

Bruchstellen.<br />

https://www.qd-europe.com/AFSEM<br />

Dr. Andreas Bergner<br />

06151 8806-12<br />

bergner@qd-europe.com<br />

Neues Spektroradiometer ILT960 (180-1100 nm)<br />

Das neue ILT960 Spektroradiometer<br />

ist in drei Versionen mit unterschiedlichen<br />

Wellenlängenbereichen<br />

verfügbar.<br />

In Kombination mit verschiedenen<br />

Eingangsoptiken (z.B. Ulbrichtkugeln,<br />

rechtwinkligen „Kosinus-Adapter“,<br />

RAA4, usw.) und Kalibrierungen<br />

können photometrische und radiometrische<br />

Messungen in dem jeweiligen<br />

Wellenlängenbereich durchgeführt<br />

werden.<br />

Seine Leistungsfähigkeit wurde im<br />

Vergleich zum ILT950 durch eine<br />

überarbeitete optische Strahlführung<br />

für reduziertes Streulicht und<br />

bessere thermische Stabilität, verändert.<br />

Die Spektroradiometer der<br />

ILT960 Serie haben einen COMOS-<br />

Linearsensor.<br />

https://www.qd-europe.com/ILT960<br />

Uwe Schmidt<br />

06151 8806-15<br />

schmidt@qd-europe.com<br />

7 <strong>Spectrum</strong> <strong>161</strong> | Mai 2021

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