pdf-Katalog - IMMS Institut für Mikroelektronik
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Auszuführende Arbeiten<br />
• Konzeption, Entwurf und Aufbau einer Versuchsanordnung unter Einbeziehung ver-<br />
schiedener Messverfahren<br />
• Vergleichende Messung der Positioniergenauigkeit des Mehrkoordinatenantriebs<br />
• Vergleich der Genauigkeit der Messverfahren inkrementell-optisch, Laserinterferometer, ggf.<br />
AKF<br />
Vorausgesetzte Kenntnisse<br />
Dauer<br />
• Ausbildung an der Fak. <strong>für</strong> Maschinenbau mit guten Kenntnissen in Antriebstechnik und<br />
Messtechnik<br />
• Rechentechnische Kenntnisse (Win; Inventor)<br />
• Nach Vereinbarung, mindestens 3 Monate<br />
31. Konzipierung, Entwurf und Aufbau von mehrachsigen Mikro- und<br />
Nanopositionierantrieben <strong>für</strong> kleine Bewegungsbereiche<br />
Betreuer: Dr.-Ing. Frank Spiller (frank.spiller@imms.de)<br />
Für die Positionierung von Proben / Werkstücken werden Positioniersystemanordnungen mit bis zu<br />
sechs Freiheitsgraden benötigt, die einen Bewegungsbereich von ± 5mm und Positioniergenauigkeiten<br />
im µm- bzw. im nm- Bereich besitzen.<br />
Auszuführende Arbeiten<br />
• Prinzipuntersuchung<br />
• Variantendiskussion<br />
• Entwurf, Aufbau, Inbetriebnahme<br />
Vorausgesetzte Kenntnisse<br />
Dauer<br />
• Ausbildung an der Fak. <strong>für</strong> Maschinenbau mit guten Kenntnissen in Konstruktionstechnik<br />
und Antriebstechnik<br />
• Nach Vereinbarung<br />
Studentenangebote <strong>IMMS</strong> 2012/2013 35
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