pdf-Katalog - IMMS Institut für Mikroelektronik
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43. Design, Simulation und Messung von MEMS-Teststrukturen<br />
Betreuer: Dipl.-Ing. Steffen Michael (steffen.michae@imms.de)<br />
Die optische Messung der Eigenfrequenzen von MEMS wie Membran- und Balkenstrukturen erlaubt die<br />
Identifikation sowohl von geometrischen als auch Materialparametern. Voraussetzung dabei ist, dass<br />
die relevanten Parameter eine Abhängigkeit von den Eigenfrequenzen aufweisen. Diese Empfindlichkeit<br />
und damit die Genauigkeit, mit der Parameter wie z.B. die Spannung in dünnen Schichten bestimmt<br />
werden können, hängen vom Design der MEMS ab.<br />
Auszuführende Arbeiten<br />
• Entwurf von MEMS-Teststrukturen<br />
• Erstellung von FE-Modellen<br />
• Optimierung der Teststrukturen durch Parametervariation<br />
• Vermessung von Teststrukturen<br />
Vorausgesetzte Kenntnisse<br />
Dauer<br />
• Grundkenntnisse in FE-Programmen, vorgzugsweise Ansys<br />
• Grundkenntnisse in Matlab<br />
• Nach Vereinbarung<br />
44. Weiterentwicklung einer GUI zur Parameteridentifikation von MEMS<br />
Betreuer: Dipl.-Ing. Steffen Michael (steffen.michae@imms.de)<br />
Auszuführende Arbeiten<br />
• Erweiterung der Funktionalität einer vorhandenen GUI<br />
Vorausgesetzte Kenntnisse<br />
Dauer<br />
• C++/C<br />
• Nach Vereinbarung<br />
Studentenangebote <strong>IMMS</strong> 2012/2013 43
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