Проблемы и перспективы современной электроники
Проблемы и перспективы современной электроники
Проблемы и перспективы современной электроники
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
м<strong>и</strong>крон<br />
1<br />
0,1<br />
Л<strong>и</strong>тограф<strong>и</strong>я<br />
Размер<br />
248нм<br />
90нм<br />
65нм<br />
45нм<br />
дл<strong>и</strong>на волны<br />
л<strong>и</strong>тограф<strong>и</strong><strong>и</strong><br />
193нм<br />
Высокоапертурная<br />
л<strong>и</strong>нза<br />
OPC<br />
Фазовый сдв<strong>и</strong>г<br />
Маска<br />
0,01<br />
10<br />
1980 1990 2000 2010 2020<br />
1000<br />
100<br />
Новые разработк<strong>и</strong> позвол<strong>и</strong>л<strong>и</strong> сохран<strong>и</strong>ть 193 нм л<strong>и</strong>тограф<strong>и</strong>я<br />
для технолог<strong>и</strong><strong>и</strong> 32 нм<br />
нм
Change language