Проблемы и перспективы современной электроники
Проблемы и перспективы современной электроники
Проблемы и перспективы современной электроники
Create successful ePaper yourself
Turn your PDF publications into a flip-book with our unique Google optimized e-Paper software.
Основные проблемы<br />
• Новые нел<strong>и</strong>нейные фоторез<strong>и</strong>сты для<br />
двойного экспон<strong>и</strong>рован<strong>и</strong>я.<br />
• Новые рез<strong>и</strong>сты для EUV<br />
• Сн<strong>и</strong>жен<strong>и</strong>е ELR<br />
• Повышен<strong>и</strong>е квантового выхода!<br />
• Адекватные модел<strong>и</strong> процессов на всех<br />
технолог<strong>и</strong>ческ<strong>и</strong>х стад<strong>и</strong>ях<br />
• Новые пол<strong>и</strong>мерные матр<strong>и</strong>цы для rCEL<br />
на 193 нм.
Change language