Introducción a la fabricación de Circuitos Integrados - Escuela de ...
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Eliminar Photoresist<br />
• Eliminar el fotoresist remanente<br />
– Se utiliza una mezc<strong>la</strong> <strong>de</strong> ácidos <strong>de</strong>nominado “<strong>de</strong>capado<br />
piraña”<br />
• Esto es necesiario para que el resist no se <strong>de</strong>shaga<br />
en los próximos pasos<br />
SiO 2<br />
p substrate<br />
Paulo Moreira Introduction 27