IntroducciÃ³n a la fabricaciÃ³n de Circuitos Integrados - Escuela de ...

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Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados Historia (4) 1971 Primer microprocesador Intel produce el 4004 (primer microprocesador de 4 bits) Conjunto de 3 chips encapsulados en DIP de 16 pines Circuito Integrado de 2 kbit ROM Circuito Integrado de 320 bit RAM Procesador: Proceso PMOS de compuertas en Si, 10 µm ~2300 transistores Velocidad de reloj: 108 kHz Tamaño del dado de silicio: 13,5 mm 2 Pablo Alvarado 6
Introducción a la Fabricación de Circuitos Integrados Historia (5) 1982 Intel 80286 Proceso CMOS de compuertas en Si, 1,5 µm 1 capa de polisilicio 2 capas metalicas 134 000 transistores Velocidad de reloj 6 a 12 MHz Tamaño del dado 68,7 mm 2 Pablo Alvarado 7
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Page 17 and 18: Transistor p-MOS • Similar, pero
Page 19 and 20: Conección a pozos y sustratos •
Page 21 and 22: Vistas detalladas de las máscaras
Page 23 and 24: Oxidación • Producir SiO 2 en la
Page 25 and 26: Litografía • Exponer photoresist
Page 27 and 28: Eliminar Photoresist • Eliminar e
Page 29 and 30: Eliminar óxido • Eliminar óxido
Page 31 and 32: Conformación del Polisilicio • U
Page 33 and 34: Difusión n • Dar forma al óxido
Page 35 and 36: Difusión n (3) • Eliminar óxido
Page 37 and 38: Contactos • Ahora deben intercone
Page 39 and 40: Layout • Chips se especifican con
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