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UN NUOVO MODELLO ELETTROTERMICO DI FET IN GaAs PER IL ...

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Agostino Giorgio, Anna Gina Perri<br />

NOTE<br />

L’autoriscaldamento del substrato di <strong>GaAs</strong><br />

è dovuto alla presenza di non trascurabili sorgenti<br />

di calore, i dispositivi attivi, ed alla bassa<br />

conducibilità termica del materiale. Il problema è<br />

stato in passato approfonditamente studiato sia dal<br />

punto di vista tecnologico sia da quello<br />

modellistico [1-12].<br />

In particolare i modelli in grado di quantificare<br />

la dipendenza delle grandezze elettriche in<br />

esame dalla temperatura possono essere di tipo<br />

numerico [1-3], analitico [4-6] ed a volte anche<br />

soluzioni ibride, numeriche nelle zone a massimo<br />

riscaldamento come i canali dei <strong>FET</strong> ed analitiche<br />

negli strati più lontani, possono essere valide.<br />

Il lavoro proposto si prefigge come obiettivo<br />

quello di sviluppare un modello analitico tridimensionale<br />

che abbia un peso computazionale<br />

accettabile e sia facilmente implementabile su un<br />

PC. Tale strumento deve essere usato tanto in fase<br />

di analisi di strutture preesistenti, quanto in fase<br />

di sintesi, nel senso che deve essere possibile<br />

estrarre, con tempi di calcolo ragionevoli, i valori<br />

ottimali di alcune grandezze fondamentali del<br />

layout per la minimizzazione della temperature<br />

di picco del canale e della complessiva resistenza<br />

termica del chip, nel rispetto delle specifiche elettriche.<br />

Il paragrafo II di questo lavoro presenta un<br />

breve stato dell’arte dei modelli termici e nel paragrafo<br />

III viene presentata la teoria del modello<br />

analitico proposto. Il paragrafo IV è dedicato ai<br />

confronti tra i risultati ottenuti con<br />

l’implementazione del modello in un simulatore<br />

con i risultati presenti in letteratura e con dati sperimentali.<br />

La procedura di sintesi ed i risultati sono<br />

indicati nel paragrafo V, in cui viene sviluppato<br />

un esempio applicativo, mentre il paragrafo VI<br />

propone le conclusioni più importanti che si possono<br />

trarre dal lavoro svolto e dai risultati ottenuti.<br />

II.Stato dell’arte dei modelli termici<br />

L’equazione del flusso di calore per un’analisi<br />

spazio-temporale è [12]:<br />

∂ T(x, y, z, t)<br />

? c<br />

∂ t<br />

=− Q(x,y,z,T,t)<br />

che per l’analisi in condizione di regime diventa:<br />

[ ( T ) ∇T<br />

( x,y,z)<br />

] = −Q( x,y,z,T )<br />

∇ ⋅<br />

(2)<br />

k TH<br />

+<br />

∇⋅[ k TH<br />

(T )<br />

∇T(x,y,z,t)]=<br />

dove t è il tempo, k TH<br />

(T) è la conducibilità<br />

termica dipendente dalla temperatura, c è il calore<br />

specifico, r è la densità del materiale, T(x,y,z,t)<br />

è il campo termico e Q(x,y,z,T,t) è la densità<br />

spaziale di potenza dissipata che dipende sia dalla<br />

temperatura della sorgente, sia dal tempo.<br />

La soluzione è ottenibile tramite metodi e<br />

modelli analitici o numerici. I modelli numerici,<br />

che implicano la suddivisione della struttura in<br />

esame in unità volumetriche elementari, all’interno<br />

delle quali le proprietà generalmente non lineari<br />

dei materiali, prima tra tutte la conducibilità<br />

termica, possono essere considerate costanti, hanno<br />

come grande vantaggio quello di consentire<br />

analisi accurate senza ipotesi semplificative sulla<br />

struttura o sulla natura dei fenomeni o sulle proprietà<br />

dei materiali. Questo tuttavia viene ottenuto<br />

a spese di un grosso carico computazionale<br />

specie per strutture di grandi dimensioni o nel caso<br />

si sia interessati a risolvere l’eq. (1) per studiare il<br />

transitorio dei fenomeni. Di questo è facile convincersi<br />

osservando la struttura della fig. 1, che<br />

rappresenta un singolo dispositivo a geometria<br />

interdigitata per applicazioni di potenza<br />

(multifinger o multigate device), il cui die è saldato<br />

al supporto meccanico. Nel caso in cui si sia<br />

anche interessati a studiare l’interazione termica<br />

tra dispositivi contigui e l’effetto di tutti gli stati<br />

presenti effettivamente nella struttura, come, ad<br />

esempio il supporto meccanico (d) (mounting) o<br />

la saldatura (c) del substrato di <strong>GaAs</strong> con il supporto,<br />

il peso computazionale aumenta.<br />

Tra i metodi numerici più importanti che<br />

sono stati utilizzati per presentare simulatori termici<br />

per dispositivi in <strong>GaAs</strong> ricordiamo i metodi<br />

FEM (Finite-Element Method) [1], FDM (Finite-<br />

88<br />

La Comunicazione - numero unico 2000

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