Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie

3. De Technologie
Bij microsystemen is het niet noodzakelijk onmiddellijk in strikte
afmetingen te denken. Het is niet zo dat de dimensies per se in het
micro(n) 1 bereik moeten liggen. Menig praktisch werkend systeem kan
orden groter zijn en wel zodanig dat men die eerder zou bemeten op de
millimeterschaal 2 . Het zijn wel kleine structuren. En ze worden steeds
kleiner. Men heeft het in dat verband zelfs al over MNT (micro- &
nanotechnologie). Als vuistregel voor een maatvoering kan bij
microtechnologie voorzichtig worden gedacht aan een technologie met een
maatvoering groter dan 100nm. Een belangrijke publicatie uit 1996
spreekt over 10_m als “mediaan” voor MST [1].
Nanotechnologie is een verzamelnaam voor allerlei technologische
ontwikkelingen die zich afspelen op ‘nanoschaal’. Dit is een schaal waarop
alleen de afmetingen van enkele atomen en moleculen er nog toe doen,
want een nanometer (nm) is maar een miljardste deel van een meter.
Nanotechnologie is geen aparte wetenschappelijke discipline, maar een
zogenoemde enabling technology, die toepassingen kent op uiteenlopende
terreinen als ICT, biomedische technologie, militaire technologie en
voedingstechnologie [9].
Er kan nog een ander belangrijk onderscheid worden gemaakt tussen
micro- en nanotechnologie. Microtechnologie komt neer op het alsmaar
verkleinen van bekende of bestaande structuren (“beeldhouwen”) terwijl
nanotechnologie kan worden voorgesteld als het opbouwen (“boetseren”)
met behulp van atomen en (sub-nano)moleculen.
Het is in deze context van belang onderscheid te maken tussen de
begrippen technologie en systeem. Het onderscheid dat hier zal worden
gehanteerd is die van elementen die volgens (met) en/of met behulp van
een bepaalde technologie zijn gefabriceerd, enerzijds, en een zinvol
samenstel (systeem) van dergelijke elementen anderzijds. Een
microsysteem bestaat dus uit 1 of meer micro elementen (Figuur 7). Bij
een systeem bestaande uit een enkelvoudige component spreekt men
over een monolithisch systeem 3 , anders betreft het een (eventueel
geïntegreerd) hybride systeem. Bij hybride systemen worden de
afzonderlijke elementen geproduceerd met de meest geschikte
technologie en vervolgens geassembleerd. Technologie is de
verzamelnaam voor de technieken, processen, procedures etc., waarmee
systemen kunnen worden gerealiseerd. Behalve een algemene notie dat
het gaat over "behoorlijk kleine" systemen en dat die systemen kunnen
worden gebouwd met behulp van micro technologieën, kan ook een
poging worden gedaan microsysteemtechnologie (MST) te definiëren.
3.1. Definities van MST
“Micro-Systeem Technologie (MST) is bekend als de technologie voor het
produceren van mechanische, fluïdise en andere (niet noodzakelijk
elektrische) systemen, op microschaal, door middel van de technologieën
die worden toegepast bij de productie van geïntegreerde schakelingen. De
1 Traditioneel “niet of vrijwel niet te zien met het blote oog”.
2 Denk alleen al aan het ruimtebeslag ten gevolge van de bounding en de packaging.
3 Vaak nog onmogelijk te maken of te duur.
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 11/61