Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie

processen worden door middel van (diepe) etsing van een structuur in
silicium driedimensionale vrij-bewegende structuurtjes aangebracht. Er
zijn statische- en dynamische microsystemen. Thermokoppels zijn
voorbeelden van statische microsystemen. Micromachines zijn
voorbeelden van het dynamische soort (Figuur 5). Vaak worden alleen die
technieken die gebruik maken van silicium en het productieproces van de
gewone chip gerekend tot MST/MEMS, maar er zijn anderen mogelijkheden,
zoals de miniaturisering van de fijnmechanica. Hierin wordt gestreefd de
klassieke fijnmechanische technieken op evolutionaire wijze te verfijnen
(verkleinen), zoals boren en frezen, maar ook laserbewerkingen.
Figuur 5 Een surface micromachined siliciumoppervak van een elektrostatische
micromotor.
Terwijl micro-elektronica wordt gefabriceerd met goed begrepen en
controleerbare – CMOS, Bipolar, of BICMOS – processtappen, worden de
micromechanische, -elektromechanische, -optoelectronische,
-optomechanische componenten gefabriceerd met vergelijkbare processen
waarbij met behulp van maskers selectief lokaal gedeelten van de silicon
wafer worden weggeëtst (bulk micromachining) of met depositie van
silicium en siliciumverbindingen (surface micromachining) nieuwe
structurele lagen worden toevoegd ter verkrijging van mechanische en/of
elektro- en/of optofuncties.
Figuur 6 Bulk (links) & Surface Micromachining (rechts).
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 8/61