Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie

grenslaagdikte, dichtheid,
viscositeit, massa, niveau, hoek,
ruwheid, akoestische f en _
(vibratie), vervorming,
(oppervlakte)spanning
Thermisch Temperatuur, warmtestroom
Elektrisch (statisch) Stroom, spanning, lading,
weerstand, capaciteit, zelfinductie,
diëlektrische waarde, f, t, _,
elektrische polarisatie, veldsterkte
Magnetisch (statisch) Veldsterkte, fluxdichtheid, moment,
permeabiliteit, reactantie
Chemisch Compositie, concentratie,
reactiesnelheid, toxiciteit, O2
verzadiging, viscositeit,
oxydatiereductie-potentiaal, pH,
enzymen, ionen, gas
Tabel 2 Karakterisering van de energie- en de functiedomeinen [20].
Als voor het systeemdomein de fabricage van de sensor(en) en de
eventuele actuator(en) als gegeven wordt beschouwd, resteren nog tal
van engineeringaspecten die in beschouwing moeten worden genomen. In
Tabel 3 is een poging gedaan een indicatieve opsomming van deze
aspecten te geven.
Systeemaspecten Topics
Interfacing Parameter level
Smart
IEEE 1451
Bus
Wireless
Ontwikkeling Analyse
Ontwerp
Implementatie
Testen
Embedded Processing &
Conditioning.
Software, Operating System
Hardware, CPU, I/O, Memory
Tabel 3 MST systeemaspecten (fabricage impliciet)
Er is nog een andere indeling mogelijk: die naar de gebruikte
meetmethode of het gebruikte principe (Tabel 4). Mechanische druk of
kracht kan worden gemeten met de capaciteitverandering door de
doorbuiging van een membraan, maar ook met de weerstandverandering
in bijvoorbeeld een piezo resistive materiaal.
Waarde of verandering van … meet …
Capaciteit Afstand, kracht, vocht, diëlektrische
constante
Piëzo (Ohms en Elektrisch) Kracht, buiging, torsie, druk
Hall effect (Ohms en Elektrisch) Magnetische inductie
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 16/61