Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie
Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie
Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
speelt niet alleen de techniek een rol, maar ook het businessmodel. Het<br />
maakt technisch en commercieel nogal wat uit of er een vloeistofdruk<br />
moet worden gemeten in een CV installatie of in een bloedvat. Helemaal<br />
aan de andere kant van het spectrum kan een domein worden onderkend<br />
op basis van de energie of signaalvorm waarin/waarop wordt gesenst of<br />
geactueerd. Voorbeelden van de energieën in het energiedomeinen zijn<br />
elektrische, thermische en mechanische energie. Daarnaast kan een<br />
parameterdomein worden beschreven. Parameters binnen het elektrische<br />
energiedomein zijn ondermeer amplitude en frequentie van stroom en<br />
spanning. Parameters binnen het thermische energiedomein zijn<br />
temperatuur en warmtestroom(dichtheid). Binnen het mechanische<br />
energiedomein liggen parameters zoals plaats, snelheid en versnelling<br />
voor de hand. Ten slotte kan een systeemdomein worden onderscheiden<br />
waar wordt beschreven hoe microsystemen op basis van de te<br />
meten/regelen parameter en de daarbij geëigende energievorm, binnen<br />
de eisen en beperkingen van de applicatie kan worden vormgegeven. Hier<br />
spelen vragen zoals fabricage en packaging, monolithisch of hybridische<br />
integratie met micro-elektronica, en interfacing. Dus bijvoorbeeld, een<br />
mechanische druksensor en versnellingsopnemer vormen het hart van een<br />
systeem dat zijn toepassing vindt als draadloze en batterijloze unit voor<br />
het bewaken van de bandenspanning in de automotive industrie.<br />
Domein Wat is dat?<br />
<strong>Energie</strong> Met welke energievorm, wat voor<br />
signaal of fenomeen wordt er<br />
gemeten?<br />
Functie Welke parameter wil ik meten?<br />
Applicatie Waar wordt het in toegepast? Door<br />
wie? Voor wie?<br />
Fabricage Welke fabricagetechnieken worden<br />
toegepast voor het maken van die<br />
sensor of actuator?<br />
Meting Hoe wordt die parameter bemeten?<br />
<strong>Systeem</strong> Integratie van aspecten uit<br />
bovenstaande domeinen, inclusief<br />
compatibiliteit, interfacing, en<br />
andere beperkingen.<br />
Tabel 1 De verschillende MST domeinen met hun betekenis.<br />
De energiedomeinen en de functiedomeinen kunnen als volgt tegenover<br />
elkaar worden gezet (Tabel 2):<br />
<strong>Energie</strong>domein Fysische parameter<br />
Elektromagnetische Straling Intensiteit, amplitude, energie,<br />
frequentie (radio..kosmisch), _, _,<br />
polarisatie, reflectantie,<br />
transmittantie, spreiding,<br />
interferentie, IR-straling<br />
Mechanisch Kracht, druk, moment, positie,<br />
verplaatsing, nabijheid, snelheid,<br />
versnelling, inertie, flow, volume,<br />
grenslaagdikte, dichtheid,<br />
viscositeit, massa, niveau, hoek,<br />
ruwheid, akoestische f en _<br />
(vibratie), vervorming,<br />
(oppervlakte)spanning<br />
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 15/61
Change language