Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie
Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie
Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
gevoelig zijn voor nabij opgesteld ijzer of nikkel en andere magnetische<br />
velden. Maar ook kruisgevoeligheid tussen verschillende energiedomeinen<br />
spelen soms een rol. Met name temperatuur is hierbij belangrijk. In het<br />
algemeen zullen niet-thermische transducers – bijvoorbeeld een<br />
druksensor – toch ook gevoelig blijken voor thermische effecten.<br />
Een andere klasse van problemen voortkomend uit specifieke<br />
omgevingsfactoren zijn die waarbij er sprake is van inwerkingen van het<br />
van nature “open” karakter van MEMS met een al dan niet tijdelijke schade<br />
door mechanische krachten (versnelling, stoten), vocht, oxidatie en<br />
andere reacties van (agressieve) gassen en vloeistoffen.<br />
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 47/61