Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie

Inhoudopgave
1. Inleiding 3
2. Geschiedenis en achtergronden Microsysteemtechnologie 5
2.1. Het chip maak proces 6
2.2. Micromachining 7
3. De Technologie 11
3.1. Definities van MST 11
4. Domeinen van Microsysteemtechnologie 14
4.1. MST in de instrumentatie 18
4.2. MST in de medische technologie 20
4.3. MST in consumentenproducten 22
4.4. MST in het transport 24
4.5. MST in de Land & Tuinbouw en de Biotechnologie 26
4.6. MST in de ICT 27
5. The Power Factor 29
6. Informatiebewerking in MST 32
7. Ontwerp en productie van MST 34
7.1. MST ontwerpen 35
7.2. MST Systems Requirements Engineering 36
7.3. Requirement Engineering 36
7.4. User requirements 37
7.5. Andere requirements 37
7.6. Materie, energie en informatie 41
7.7. Energiedomeinen 41
7.8. Transducer technologie 43
7.9. Smart transducers 44
7.10. Interfacing 45
7.11. Omgevingsfactoren 46
8. Cases 48
8.1. Geluidsprobleem KONI schokbrekers. 48
8.2. MicroNed/TUD microsatelliet 48
8.3. Sensoren in pipeline PIG’s 48
8.4. Lenovo (IBM ) ThinkPad 49
8.5. Foto-acoustische glucosemeting 49
8.6. Smart products 49
8.7. Zelfvoorzienende bandenslijtage sensoren 50
8.8. World's Smallest Mobile Robot 50
9. Woordenlijst 51
10. Literatuur 56
10.1. Referenties 56
10.2. Waardevolle links 57
11. Bijlage I; Ambient Intelligence 59
12. Bijlage II; Betrouwbaarheid 60
13. Bijlage III; MEMS Encapsulation in FPGA’s 61
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 2/61