Micro Systeem Technologie - Innovatie, Energie & Productrealisatie

2. Geschiedenis en achtergronden Microsysteemtechnologie
Microsysteemtechnologie (MST) heeft primair zijn ontstaan in de microelektronica.
In feite begon het met de micro-elektronica vlak na WO-II, in
1948, met de uitvinding van de transistor. Dit was een revolutie ten
opzichte van de tot dan toe gebruikelijke vacuüm buis als versterkend en
schakelend element. De volgende revolutie was de uitvinding van het
integrated circuit (IC) in 1958 (Figuur 1).
Figuur 1 De Intel ® 4004 (1974) met 2300 transistoren was de 1 e
general-purpose, single-chip microprocessor.
De voortdurende verbetering van het fabricageproces heeft onder meer
geleid tot de huidige microprocessor. De microprocessor is een bekend
micro-elektronisch product, maar zeker niet het enige. Zo zijn er andere
Very Large Scale Integrating (VLSI) digitale en analoge circuits. Die
integratiegraad gaat nog steeds door. Kenmerk is een steeds grotere
integratie en verkleining van (zeer) vele transistoren op een (zeer) klein
oppervlak. De afgelopen decennia gehoorzaamt het integratietempo aan
de zo genoemde Moore’s Law. Moore’s law voorspelt voor elk anderhalf
jaar een verdubbeling van het aantal transistoren (en daarbij ook de
functionaliteit) per oppervlak tegen gelijkblijvende kosten. Op dit moment
maakt men ICs met een resolutie kleiner dan 100nm.
Een DRAM memory cel bestaat in wezen uit een transistor en een capaciteit
zodat de grootte van DRAM geheugens ook Moore’s law volgen als functie
van de tijd (Figuur 2). Had de transportsector dezelfde stormachtige
ontwikkeling doorgemaakt dan kon men nu in 5 seconden voor nog geen
50 cent naar New York reizen[10].
copy of wat is mst.doc(21-11-06) - 5/61