filmes finos: fundamentos e aplicações - IFSC - USP
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Filmes Finos<br />
Síntese<br />
Particle Beam<br />
Plasma<br />
Photon (Laser)<br />
Thermal<br />
Deposition<br />
IBAD (sputter)<br />
MBE<br />
EB<br />
Implantation<br />
Sputtering<br />
(PE) CVD<br />
Polymerization<br />
Ion plating<br />
Chemical<br />
Evaporation<br />
Ablation<br />
Evaporation<br />
CVD<br />
(EB)<br />
Etching<br />
Milling<br />
Reactive IB<br />
Chem-assisted<br />
Sputtering<br />
Plasma<br />
Reative ion<br />
Ablation<br />
Chem-assisted<br />
Chem-assisted<br />
Surface<br />
modification<br />
Modification<br />
Texturing<br />
e-lithography<br />
Ox-Anodization<br />
Nitriding<br />
Cleaning<br />
Annealing<br />
Chem-assisted<br />
hν-lithography<br />
Chem-assisted<br />
CVD<br />
PVD
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