プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.56 - 応用物理学会
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国 際 会 議 報 告<br />
5th International Conference on Plasma Nanotechnology and<br />
Science (IC-PLANTS 2012) 報 告<br />
名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 研 究 センター(PLANT) 石 川 健 治<br />
本 国 際 会 議 は「プラズマナノテクノロジー」,「 大<br />
気 圧 プラズマとバイオテクノロジー」をトピック<br />
スとして,2012 年 3 月 9 日 ( 金 )から 10 日 ( 土 )まで<br />
の 2 日 間 にわたり,98 件 の 発 表 (うちポスター79<br />
件 ),125 名 ( 外 国 より 18 名 , 日 本 107 名 )の 参<br />
加 者 が 集 まり 盛 会 となりました.<br />
今 回 チュートリアルを 含 めて 基 礎 的 な 部 分 から<br />
説 明 していただき, 出 席 者 の 方 々は 低 温 プロセス<br />
プラズマを 再 度 理 解 し 直 す 機 会 が 得 られました.<br />
プラズマの 生 成 について Chabert 教 授 (Ecole 理<br />
工 科 大 )から 低 圧 高 周 波 放 電 の 物 理 ,Graham 教 授<br />
(Queen’s 大 )より 液 体 ・ 気 体 の 大 気 圧 プラズマ,<br />
Brinkmann 教 授 (Ruhr 大 )より 容 量 性 結 合 プラズ<br />
マの 加 熱 機 構 について 講 演 いただきました.やや<br />
もすれば 複 雑 なプラズマ 生 成 について, 再 考 する<br />
機 会 と 平 易 な 説 明 を 受 けられたと 思 います.<br />
また,プラズマ 診 断 について 河 野 教 授 ( 名 古 屋<br />
大 )よりレーザートムソン 散 乱 ,Czarnetzki 教 授<br />
(Ruhr 大 )よりプラズマ 診 断 ,Goeckner 教 授 (テ<br />
キサス 大 )より 電 子 ビーム 励 起 発 光 分 光 によるプ<br />
ロセスモニタについて 講 演 いただきました.まだ<br />
まだ 新 しい 診 断 技 術 を 開 発 して 所 望 のパラメータ<br />
を 研 究 者 自 身 が 得 るさらなる 努 力 の 必 要 性 をます<br />
ます 痛 感 します.<br />
プラズマ 分 野 の 広 がりとしては, 大 野 教 授 ( 名<br />
古 屋 大 )より 核 融 合 プラズマからプラズマプロセ<br />
スへの 道 筋 , 白 谷 教 授 ( 九 州 大 )よりプラズマの<br />
揺 らぎとプラズマナノ 工 学 といった 内 容 の 講 演 を<br />
いただきました.プラズマ 研 究 の 学 術 的 に 深 化 さ<br />
せていく 興 味 深 い 試 みです.<br />
プラズマナノ 工 学 として, 殊 に 材 料 面 で 梅 原 教<br />
授 ( 名 古 屋 大 学 )より 窒 化 炭 素 膜 による 低 摩 擦 表<br />
面 ,Yoo 博 士 (NFRI)より 中 性 ビームによる 低 温<br />
GaN 成 長 , 渡 辺 教 授 ( 東 工 大 )より 熱 プラズマに<br />
よるナノ 微 粒 子 形 成 , 白 藤 教 授 ( 大 阪 市 大 )より<br />
μ 溶 液 プラズマについて 講 演 いただきました.プ<br />
ラズマのもつ 非 平 衡 反 応 場 の 有 効 性 を 議 論 できた<br />
と 思 います.<br />
さらに, 昨 今 注 目 しているプラズマの 生 体 への<br />
応 用 について,Kim 教 授 (Clemson 大 )より 大 気<br />
圧 μプラズマの 癌 治 療 への 応 用 ,Gans 教 授 (York<br />
大 )より 大 気 圧 プラズマの 健 康 器 具 への 応 用 ,<br />
Favia 教 授 (Bari 大 )よりプラズマ 処 理 表 面 の 細 胞<br />
接 着 について 講 演 いただきました.この 分 野 の 今<br />
後 の 発 展 に 向 けて,ますます 学 際 融 合 領 域 にわた<br />
り 有 益 な 議 論 と 情 報 交 換 が 必 要 で 有 り,その 一 端<br />
がなされました.<br />
若 手 から 白 井 助 教 ( 首 都 大 )より 大 気 圧 放 電 で<br />
の 気 液 界 面 に 表 れる 自 己 組 織 化 放 電 パターンにつ<br />
いて, 光 木 助 教 ( 熊 本 大 )より 光 音 響 波 診 断 , 津<br />
田 君 ( 京 都 大 )より 斜 入 射 イオンによるシリコン<br />
凹 凸 形 成 のシミュレーション, 北 崎 君 ( 九 州 大 )<br />
より 乾 燥 酵 母 へのプラズマ 照 射 による 増 進 効 果 に<br />
ついて 講 演 がありました.<br />
ますますプラズマの 学 術 的 ・ 工 学 的 な 発 展 は,<br />
やはり 世 界 の 研 究 者 との 交 流 ・ 協 力 が 欠 かせなく,<br />
その 応 用 範 囲 の 広 がりを 模 索 しつつ, 総 合 的 プラ<br />
ズマ 研 究 へ 総 力 を 挙 げた 取 り 組 みが 期 待 されます.<br />
本 会 議 の 様 子 はホームページ(*)も 参 考 にし<br />
てください. 次 回 の 2013 年 の 開 催 も 予 定 されてい<br />
ますので,プラエレ 分 科 会 会 員 の 皆 様 の 参 加 を 心<br />
よりお 待 ちしております.<br />
*http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC-2012/h<br />
ighlight.html<br />
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