プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.56 - 応用物理学会

国 内 会 議 報 告
2012 年 春 季 第 59 回 応 用 物 理 学 会 関 連 連 合 講 演 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 チュートリアル 講 演 報 告
東 北 大 学 金 子 俊 郎
応 物 学 会 では,2011 年 秋 季 講 演 会 からチュート
リアル 講 演 を 実 施 しております. 内 容 は 大 学 の 講
義 のスタイルで, 最 近 のトピックスに 繋 がる 基 礎
的 内 容 をこれから 新 たに 学 ぼうとする 学 生 や 企 業
人 を 対 象 として 講 義 を 行 っていただくことが,チ
ュートリアル 講 演 の 趣 旨 となっています.
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 では, 今 回 の
2012 年 春 季 講 演 会 から 実 施 することになり,その
第 1 回 目 のチュートリアル 講 演 として,マイクロ
プラズマの 新 領 域 を 立 ち 上 げられ,プラズマ 計 測
の 基 礎 から 最 先 端 のマイクロプラズマや 液 中 プラ
ズマの 応 用 まで 展 開 されている 橘 邦 英 先 生 ( 大 阪
電 気 通 信 大 学 )にお 願 いいたしました.チュート
リアル 講 演 は, 下 記 の 開 催 案 内 にありますように,
学 会 初 日 の 午 前 中 に 設 定 しておりまして,ここで
勉 強 することによって, 午 後 のプラズマエレクト
ロニクス 分 科 会 企 画 のシンポジウム,および 翌 日
以 降 の 一 般 講 演 での 理 解 が 深 まることを 意 図 して
おります.
日 時 :2012 年 3 月 15 日 ( 木 )9:00~12:00
題 目 :マイクロプラズマの 基 礎 と 応 用
講 師 : 橘 邦 英 ( 大 阪 電 気 通 信 大 学 )
概 要 : 大 気 圧 下 の 気 体 や 液 体 中 で 生 成 される mm
以 下 の 大 きさのマイクロプラズマは, 従 来 の 低 圧
気 体 中 で 生 成 されるマクロスケールのプラズマと
は 違 ったプラズマパラメータや, 微 小 空 間 に 起 因
する 外 部 パラメータで 特 徴 づけられる.そのよう
な 特 性 をプラズマ 本 来 の 反 応 性 , 発 光 性 , 導 電 ・
誘 電 性 と 組 み 合 わせることによって,ナノ 材 料 の
合 成 , 微 量 化 学 分 析 ,フォトニックデバイス,さ
らには 環 境 ・バイオ・ 医 療 技 術 等 の 新 しい 応 用 技
術 への 展 開 が 進 められている. 本 講 義 では,マイ
クロプラズマの 特 性 を 分 析 した 上 で, 現 在 の 各 種
マイクロプラズマ 源 とその 応 用 技 術 の 基 礎 につい
て 解 説 し, 将 来 への 発 展 性 について 展 望 する.
当 日 は, 講 演 開 始 30 分 前 から 受 講 者 が 集 まり,
事 前 予 約 と 当 日 参 加 を 含 めて, 定 員 の 70 名 を 上 回
る 約 80 人 の 受 講 者 がおり,チュートリアル 講 演 へ
の 期 待 が 大 きいことを 実 感 いたしました.
講 義 では, 放 電 の 基 礎 から 分 かりやすく 説 明 さ
れ, 特 に 電 子 衝 突 による 励 起 ・ 電 離 における 電 離
係 数 αの 意 味 ,エネルギー 分 布 関 数 の 計 算 例 ,プ
ラズマ 周 波 数 と 分 散 関 係 など, 知 っているつもり
でも 意 外 と 分 かっていない 部 分 もあり, 学 生 はも
ちろんのこと, 教 員 の 立 場 でも 大 変 勉 強 になりま
した.また, 水 中 放 電 プラズマやマイクロプラズ
マの 生 成 法 ・ 測 定 法 について 説 明 されるとともに,
その 応 用 例 についても, 薄 膜 形 成 , 表 面 処 理 , 水
浄 化 処 理 ,さらには 医 療 応 用 で 細 胞 に 対 するプラ
ズマ 照 射 の 効 果 等 , 大 変 興 味 深 い 内 容 で 講 義 して
いただきました.
将 来 展 望 として, 今 後 の 発 展 が 期 待 できる 分 野
を 挙 げていただき, 環 境 応 用 ,バイオ・ 医 療 応 用 ,
新 規 デバイス(メタマテリアル) 開 発 等 がその 候
補 であり, 従 来 の 低 圧 ・ 大 容 量 プラズマで 実 現 で
きないパラメータ 領 域 での 特 性 を 活 用 し,できる
だけ 単 純 化 した 系 での 実 験 を 行 い(モデルとの 比
較 ), 異 なった 系 でも 類 似 性 を 見 出 すことで 物 理 法
則 を 明 らかにする(サイエンスを 構 築 )ことが 重
要 であることを 強 調 されました. 最 後 に,『 新 しい
プラズマ・サイエンスの 領 域 は 創 製 できるか』
との,いまプラズマ 研 究 者 が 直 面 している 極 めて
重 要 な 課 題 を 提 起 していただき, 講 義 を 締 めくく
られました.
3 時 間 という 非 常 に 長 い 時 間 ではありましたが,
その 時 間 を 感 じさせない, 分 かりやすい, 興 味 深
い 講 義 でありました.また, 講 義 で 使 用 するテキ
ストも 大 変 丁 寧 に 作 成 していただきまして, 橘 先
生 の 本 講 義 に 対 する 熱 意 が 伝 わって 参 りました.
あらためまして,ご 講 演 いただきました 橘 先 生
と, 会 場 にお 集 まり 頂 きました 方 々に 感 謝 申 し 上
げます.
講 演 される 橘 先 生 ( 左 )と 受 講 者 ( 右 )
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