プラズマエレクトロニクス分科会会報 No.56 - 応用物理学会

プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 No.56
2012 年 ( 平 成 24 年 )6 月 発 行
市 來 、 市 川 、 向 川 、 池 田
目 次
幹 事 長 就 任 挨 拶 幹 事 長 退 任 にあたって 名 古 屋 大 学 堀 勝 1
幹 事 長 就 任 挨 拶 幹 事 長 就 任 にあたって 東 京 大 学 寺 嶋 和 夫 2
寄 稿
パワーデバイスの 最 新 動 向 (SiC パワーデバイスを 主 に) 三 菱 電 機 ( 株 ) 大 森 達 夫 3
第 10 回 プラズマエレクトロニクス 賞
第 10 回 プラズマエレクトロニクス 賞 について 名 古 屋 大 学 堀 勝 6
プラズマエレクトロニクス 賞 を 受 賞 して 河 南 農 業 大 学 趙 穎 7
研 究 室 紹 介 (その 51) 東 京 工 業 大 学 小 長 井 誠 9
研 究 紹 介 (その 3) 首 都 大 学 東 京 白 井 直 機 13
研 究 紹 介 (その 4) 岩 手 大 学 高 木 浩 一 15
海 外 の 研 究 事 情 (その 33) 九 州 大 学 堤 井 君 元 18
学 生 のためのページ すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス
反 応 性 イオンエッチング 新 潟 大 学 安 部 隆 21
国 際 会 議 報 告
4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its
Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
5th International Conference on Plasma Nanotechnology and
Science (IC-PLANTS 2012)
名 城 大 学 平 松 美 根 男 27
名 古 屋 大 学 石 川 健 治 30
2012 MRS Spring Meeting Symposium WW
Plasma Processing and Diagnostics for Life Sciences
九 州 大 学 白 谷 正 治 31
8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP2012) 東 北 大 学 寒 川 誠 二 32
国 内 会 議 報 告
2012 年 春 季 第 59 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会
第 7 回 分 科 内 招 待 講 演
「 常 識 になっていないプラズマ 現 象 2 題 (シース・ 対 流 )」
「プラズマ 応 用 ナノカーボンナノバイオトロニクス」
京 都 工 芸
繊 維 大 学
比 村 治 彦 33
i

2012 年 春 季 第 59 回 応 用 物 理 学 会 関 連 連 合 講 演 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 チュートリアル 講 演
「マイクロプラズマの 基 礎 と 応 用 」
2012 年 春 季 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 シンポジウム
カーボンナノ 材 料 プラズマプロセスの 将 来 展 望
~ 合 成 から 機 能 化 まで~
第 9 回 プラズマ 新 領 域 研 究 会
「 微 粒 子 プラズマ 応 用 の 最 前 線 」
第 10 回 プラズマ 新 領 域 研 究 会
「 大 気 圧 プラズマ 生 成 における 気 相 反 応 シミュレーション」
第 26 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 報 告
東 北 大 学 金 子 俊 郎 34
( 独 ) 産 業 技 術
総 合 研 究 所
山 田 英 明 35
九 州 大 学 内 田 儀 一 郎 37
東 北 大 学 佐 藤 岳 彦 38
室 蘭 工 業 大 学
愛 媛 大 学
佐 藤 孝 紀
神 野 雅 文
39
行 事 案 内
2012 年 秋 季 第 73 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 主 催 シンポジウム
「プラズマのバイオ・ 医 療 への 応 用 - 生 体 支 援 のためのプラズ
マ-」
京 都 工 芸
繊 維 大 学
比 村 治 彦 40
第 6 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 大 阪 大 学 唐 橋 一 浩 41
第 23 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会 ( 株 ) ソニー 辰 巳 哲 也 43
Gaseous Electronics Conference 2012 九 州 大 学 白 谷 正 治 44
第 34 回 ドライプロセス 国 際 シンポジウム
34th International Symposium on Dry Process (DPS 2012)
11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology
(APCPST) / 25th Symposium on Plasma Science for Materials
(SPSM)
( 株 ) 富 士 通
セミコンダクター
小 倉 輝 45
名 古 屋 大 学 堀 勝 先 生 47
第 30 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-30) 静 岡 大 学 永 津 雅 章 48
掲 示 板
平 成 24 年 度 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 名 簿 50
平 成 24 年 度 分 科 会 幹 事 役 割 分 担 52
平 成 24 年 度 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 ・ 委 員 53
平 成 23 年 度 後 期 および 平 成 24 年 度 前 記 活 動 報 告 54
第 11 回 プラズマエレクトロニクス 賞 受 賞 候 補 論 文 の 募 集 58
プラズマエレクトロニクス 関 連 会 議 日 程 60
東 日 本 大 震 災 で 被 災 された 方 への 会 費 免 除 のお 知 らせ 64
編 集 後 記 65
ii

幹 事 長 退 任 にあたって
~ 科 学 研 究 費 細 目 「プラズマエレクトロニクス」 創 設 に 期 待 を 込 めて~
名 古 屋 大 学 堀
勝
2 年 間 に 亘 る 幹 事 長 の 任 期 の 間 に、 分 科 会 にと
って 大 きな 出 来 事 が3つありました。この 節 目 に
幹 事 長 として 対 応 できたことは、 大 きな 喜 びであ
ります。 一 つは、2010 年 10 月 4 日 ~8 日 に、
分 科 会 と 米 国 物 理 学 会 が 主 催 する「 反 応 性 プラズ
マ/ 電 離 気 体 国 際 会 議 」を 欧 米 アジアの 合 同 会 議 と
してパリで 開 催 することができたことです。 実 行
委 員 会 は、 現 地 のパリの 方 々が 中 心 となって 運 営
するという 国 際 的 なチームが 活 動 したことは 画 期
な 出 来 事 と 言 えます。また830 件 以 上 の 講 演 発
表 が 集 まり、 世 界 中 の 参 加 者 から 素 晴 らしい 国 際
会 議 であると 称 賛 されたことは、 本 分 野 の 重 要 性
と 分 科 会 の 力 の 大 きさを 示 し、 我 国 が 今 後 のプラ
ズマ 分 野 を 国 際 的 に 牽 引 するスキームを 構 築 する
ことができたと 言 えます。 次 回 は、2014 年 に
福 岡 で 白 谷 正 治 組 織 委 員 長 ( 九 州 大 学 )の 下 で 開
催 されますので、 多 くの 皆 様 方 の 継 続 的 なご 協 力
をお 願 い 申 し 上 げます。
二 つ 目 は、2011 年 10 月 22 日 に、 野 依 記
念 学 術 交 流 館 ( 名 古 屋 大 学 )で 応 用 物 理 学 会 プラ
ズマエレクトロニクス 分 科 会 20 周 年 ( 研 究 会 創
設 25 周 年 ) 記 念 特 別 シンポジウムを 開 催 するこ
とができたことです。147 名 の 参 加 者 があり、
歴 代 の 分 科 会 幹 事 長 および 分 科 会 の 発 展 に 貢 献 さ
れてきた 方 々とともに、 若 手 研 究 者 との 懇 談 の 場
を 設 けることができました。「 温 故 創 新 」を 基 に 次
の30 周 年 に 向 けての 新 しいスタートをきること
ができたのではないかと 思 います。
三 つ 目 は、 長 年 の 念 願 であった 科 学 研 究 費 細 目
に「プラズマエレクトロ 二 クス」を 創 設 すること
ができたことです。 前 幹 事 長 の 白 谷 先 生 と 密 接 に
連 絡 を 取 り 合 って 協 力 することで、プラズマを 取
り 巻 く 他 分 野 の 研 究 者 や 当 時 応 用 物 理 学 会 会 長 で
あった 白 木 靖 寛 先 生 のご 理 解 を 得 て、23000
人 の 会 員 の 総 意 として、 応 用 物 理 学 会 が 支 援 して
いただくことができました。 諸 先 輩 が 培 ってきた
土 壌 の 中 で、 新 しい 科 研 費 細 目 が 発 芽 できたこと
は 万 感 の 思 いでした。これらの3つの 出 来 事 は、
全 て、 会 員 の 方 々のご 努 力 の 賜 物 であり、 心 から
敬 意 を 表 して、ここにお 礼 申 し 上 げます。
さて、 急 速 に 変 化 する 昨 今 の 世 界 情 勢 の 中 で、
プラズマ 科 学 技 術 が、「いつ」、「どこ」へ 行 くのか
プラズマ 研 究 者 にとっては 非 常 に 重 要 な 命 題 にな
ってきました。 過 去 を 振 り 返 れば、 今 日 の 大 規 模
集 積 回 路 の 劇 的 な 衰 退 を 代 表 とする 世 界 の 産 業 情
勢 を 予 想 することができたのかも 知 れません。グ
ローバル 化 の 中 で 急 速 に 変 化 するプラズマの 応 用
分 野 を 洞 察 しながら、 普 遍 的 なプラズマ 基 礎 研 究
を 基 軸 にダイナミックに 応 用 研 究 に 取 り 組 むこと
が 必 要 になっています。
特 に、 企 業 の 衰 退 に 伴 い、プラズマの 応 用 の 動
向 を 読 み 切 れない 場 合 は、 独 創 的 なアイデアを 秘
めていても 研 究 費 の 獲 得 が 非 常 に 困 難 になってい
ます。 未 来 を 見 据 えた 独 創 的 研 究 を 遂 行 する 上 で、
「 科 学 研 究 費 」の 獲 得 は 極 めて 重 要 です。 科 学 研
究 費 細 目 に「プラズマエレクトロニクス」が 創 設
されたことは、プラズマの 多 様 な 観 点 から 真 に 優
れた 研 究 の 申 請 が 正 しく 評 価 され、 採 択 される 可
能 性 が 高 くなることに 大 きな 意 味 を 有 していると
思 います。プラズマエレクトロニクスがアプロー
チする 基 礎 科 学 の 深 化 と 体 系 化 は、 応 用 が 如 何 に
変 化 しても 普 遍 であり、 多 くの 研 究 者 がリマイン
ドして 永 続 的 に 研 究 していくことが 不 可 欠 であり、
科 学 研 究 費 が 有 効 活 用 されることを 期 待 していま
す。さらに、 産 業 や 医 療 社 会 が 激 動 する 中 で、 各 々
の 研 究 者 が 今 後 の 応 用 プラズマを 開 拓 し、 先 導 し
ていくことが 重 要 です。 現 在 脚 光 を 浴 びているグ
リーンやライフイノベーションの 行 く 先 を 極 めて、
独 創 的 なアイデアでバラ 色 のプラズマの 未 来 を 開
拓 して 欲 しいと 思 います。
1

幹 事 長 就 任 にあたって
東 京 大 学 寺 嶋 和 夫
この 4 月 より 2 年 間 、プラズマエレクトロニク
ス 分 科 会 幹 事 長 を 務 めさせていただきます 東 京 大
学 の 寺 嶋 和 夫 です。 分 科 会 会 員 のみなさまが 分 科
会 に 入 会 されて 本 当 に 良 かったと 満 足 されるよう
精 一 杯 努 めさせていただきます。どうぞよろしく
お 願 い 申 し 上 げます。
昨 年 10 月 に 本 分 科 会 の 発 足 20 周 年 を 祝 う 記 念
講 演 会 が 名 古 屋 大 学 にて 前 幹 事 長 の 堀 先 生 ( 名 古
屋 大 学 )の 強 力 なご 尽 力 ・リーダーシップの 下 に
盛 大 に 開 催 されました。 本 分 科 会 の 前 身 であるプ
ラズマエレクトロニクス 研 究 会 の 発 足 25 周 年 も
祝 うこの 記 念 講 演 会 には、 本 分 科 会 、 研 究 会 の 立
ち 上 げに 多 大 な 貢 献 をされてこられた 会 員 のみな
さま、 幹 事 会 の 幹 事 のみなさまをはじめとして、
次 代 の 分 科 会 を 担 う 学 生 会 員 のみなさま、 若 手 の
研 究 者 、 技 術 者 の 会 員 のみなさまなど 多 岐 にわた
るみなさまにお 集 りいただき、 現 在 520 名 を 超 え
る 大 きな 集 団 にまで 発 展 した 本 会 の 活 況 をみなさ
まと 祝 うことができました。このような 分 科 会 の
隆 盛 は、 長 年 に 渡 る 会 員 のみなさまの 分 科 会 活 動
への 積 極 的 なご 参 加 ・ご 協 力 ・ご 教 授 、そして、
幹 事 会 の 幹 事 のみなさまの 会 の 運 営 へのご 尽 力 な
くして 達 成 できなかったことは 言 を 待 ちません。
この 学 会 活 動 への 積 極 的 な 参 加 という 良 き 文 化 ・
伝 統 、そして 応 用 物 理 学 会 の 多 くの 分 科 会 の 中 で
も 1,2 を 争 う 高 い 学 会 活 動 のアクテイビテイーこ
そが 時 代 を 超 えて 受 け 継 いでいくべき 本 分 科 会 の
最 大 の 財 産 だと 確 信 しております。さらにまた、
受 け 継 ぐべきものを 守 るためには、 継 続 的 な 変 革
が 必 要 とされ、 本 分 科 会 の 活 動 においてもこの 点
を 肝 に 銘 じて 進 めてまいります。 春 ・ 秋 の 学 術 講
演 会 においては 学 術 技 術 の 国 際 化 の 流 れを 迅 速 に
取 り 入 れ 応 用 物 理 学 会 内 でも 一 番 早 くの 英 語 のセ
ッションを 設 置 するとともに、この 4 月 のアメリ
カ MRS(Materials Research Society) 学 術 講 演 会 に
おける 合 同 シンポジウム(プラズマバイオ 応 用 )
の 開 催 など 国 際 化 への 対 応 を 進 めており 今 後 益 々
加 速 してまいります。また、 分 科 会 活 動 の 中 心 で
あります 各 種 の 講 習 会 ・ 研 究 会 、 例 えば、 学 生 会
員 のみなさんを 主 な 対 象 とさせていただいていま
すインキュベーションホール、 会 社 にお 勤 めの 会
員 のみなさまを 主 な 対 象 としておりますプラズマ
エレクトロニクス 講 習 会 、プラズマ 領 域 の 新 しい
研 究 領 域 を 拡 げる 野 心 的 な 研 究 者 ・ 技 術 者 の 会 員
のみなさまの 発 表 、 研 鑽 の 場 となる 新 領 域 研 究 会 、
などの 開 催 におきましても、 会 の 趣 旨 ・ 内 容 ・ 形
式 の 継 続 的 な 検 討 を 行 い、 会 員 のみなさまにとっ
て 十 二 分 の 満 足 をいただけることを 肝 に 銘 じ 担 当
幹 事 が 日 夜 議 論 し 常 にフレッシュな 会 になるよう
努 めております。 半 導 体 デバイスプロセス、 光 源
応 用 を 中 心 に 発 展 してきましたプラズマ 応 用 も 現
在 、 環 境 分 野 、 生 命 分 野 、エネルギー 分 野 などそ
の 応 用 分 野 はたいへん 多 岐 にわたるものになって
おります。このような 時 代 のニーズに 沿 った 内 容 、
また、モバイル IT 時 代 にマッチした 形 式 へのたゆ
まぬ 講 習 会 ・ 研 究 会 の 変 革 を 進 めております。
さて、 元 幹 事 長 の 白 谷 先 生 ( 九 州 大 学 )、 堀 先 生
のご 尽 力 によりこの 秋 の 文 部 科 学 省 の 科 学 研 究 費
の 申 請 分 野 の 中 の 応 用 物 理 の 分 科 の 細 目 の 一 つと
して“プラズマエレクトロニクス”が 設 定 される
ことになりました。このことは 単 に 科 学 研 究 費 の
カテゴリーについての 話 にとどまらず、 他 の 細 目 、
すなわち、 応 用 物 性 、 結 晶 工 学 、 薄 膜 ・ 表 面 界 面
物 性 、 光 工 学 ・ 光 量 子 科 学 、 応 用 物 理 学 一 般 、と
並 んで 応 用 物 理 の 中 で6つの 大 きな 分 野 のうちの
一 つとしてプラズマエレクトロニクス 分 野 が 広 く
国 民 のみなさまにも 認 知 されたことを 意 味 します。
このような 時 期 に 幹 事 長 の 重 責 をになえることに、
会 員 のみなさまに 心 より 感 謝 いたします。 今 後 、
分 科 会 の 発 展 に 全 力 で 取 り 組 みますので、 会 員 の
みなさま、 幹 事 会 のみなさまには、ご 協 力 、ご 指
導 を 賜 りますようよろしくお 願 いいたします。
2

寄 稿
パワーデバイスの 最 新 動 向 (SiC パワーデバイスを 主 に)
三 菱 電 機 株 式 会 社 パワーデバイス 製 作 所 、 大 森 達 夫
1. はじめに
プラズマエッチングの 研 究 ・ 開 発 を 始 めて 30
年 近 くになり、 徐 々にプロセスからデバイス 開
発 に 力 点 が 移 動 して、 最 近 は 次 世 代 のパワーデ
バイスである SiC パワーデバイス
開 発 と 製 品 化 が 中 心 になってきています。パ
ワーデバイスは 元 々 電 力 半 導 体 と 言 われ 10 年
程 前 までは 限 られた 研 究 者 、 技 術 者 が 中 心 の 課
題 でしたが、 最 近 の 持 続 可 能 な 社 会 の 実 現 が 緊
急 の 課 題 と 考 えられる 今 日 、 省 エネ、 省 資 源 に
貢 献 する 環 境 関 連 技 術 への 関 心 の 高 まりと、
SiC や GaN などの 新 材 料 を 用 いたパワーデバイ
スの 実 現 が 可 能 になり、 注 目 を 集 めている 分 野
です。 本 寄 稿 では、SiC パワーデバイスを 主 に
して、パワーデバイスの 最 新 動 向 について 紹 介
させていただきます。
2. パワーデバイス 概 要
電 力 制 御 のキーパーツ( 一 種 の 電 子 的 スイッ
チング 素 子 )としてパワーデバイスが 広 く 用 い
られ、 電 力 機 器 の 省 エネルギー 化 や 高 性 能 化 に
貢 献 している。 図 1 にパワーデバイスの 応 用 さ
れる 電 力 機 器 を 出 力 容 量 と 動 作 周 波 数 で 分 類 し
て 応 用 分 野 を 示 す。100VA 以 下 の PC 電 源 等 の
小 容 量 から、100MVA を 超 える 直 流 送 電 などの
電 力 機 器 を 機 器 に 適 した 数 Hz から 数 MHz の 動
作 周 波 数 で 駆 動 して、 直 流 から 直 流 、 直 流 から
交 流 、 交 流 から 交 流 、 交 流 から 直 流 の 電 力 制 御
を 行 って 機 器 の 最 適 動 作 を 実 現 している。これ
らの 製 品 に 適 用 されるパワーデバイスは、 小 容
量 のパワーMOSFET・バイポーラトランジスタ
から 中 ・ 大 容 量 の IGBT(Insulated Gate Bipolar
Transistor)、 大 容 量 のサイリスタ 等 があり、 図 2
に 示 すように 2011 年 で 約 170 億 ドルの 市 場 で 年
率 10% 程 度 の 拡 大 基 調 にある。 特 に 中 ・ 大 容 量
の IGBT は、 産 業 、 自 動 車 、 新 エネルギー、 電
車 や 家 電 製 品 に 広 く 使 われ、 今 後 も 大 きな 成 長
が 期 待 され、 国 内 メーカの 製 品 力 も 強 い 分 野 で
GCT/GTOサイリスタ
電 力
100M
・ 電 力 機 器
・ 電 車
電
10M
力
HV-IGBT/IPM/Di
・ 風 力 発 電
応 ・ 電 力
1M
・ 自 動 車
用 機 器
・モータ ・ 無 停 電 電 源
直 流 送 電 装
100K
制 御
置 サイリスタ
IGBT/IP
の 産
・ロボット
・ 溶 接 機 M
出
10K
・ 溶 接 機
業 ・ 製 鉄 DIPIPM
力
・ 汎 用 ・ 太 陽 光 発 電
容
1K
インバータ ・エアコン
量 民 ・ 電 子 レンジ
・ 冷 蔵 庫
100
生 ・ 洗 濯 機
・ 洗 濯 機
(VA) トライアック
・ 電 磁 調 理 器
鉄 鋼
10
MOSFET
100
1K
10K
100K
PC 用 電 源
動 作 周 波 数 (Hz)
電 車
1M
家 電
自 動 車
産 業
モータ
制 御
新 エネルギー
太 陽 光 発 電
洗 濯 機
エアコン
汎 用 インバーター
冷 蔵 庫
将 来 予 測
現 状
無 停 電
電 源
風 力 発 電
図 1. パワーデバイスの 応 用 分 野
3

B $
20
15
10
5
ある。
パワーデバイス 世 界 市 場 規 模
IGBTのマーケットシェア
(CY2010 世 界 )
F 社 ( 米 ) その 他
S 社
H 社
S( 独 )
0
CY 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014
MOSFET IGBT バイポーラTr レクチファイア
出 典 :IMS research 社
サイリスタ “World Market for Power Semiconductor
出 典 :WSTS 2011 年 秋 季 予 測 をベースにまとめ
Discretes & Modules- 2011 Edition”
IGBT は 電 圧 制 御 型 の MOSFET の 欠 点 である
高 耐 圧 に 伴 って 高 くなるオン 抵 抗 と、バイポー
ラトランジスタの 低 いスイッチング 速 度 という
欠 点 を、それぞれ 補 う 高 性 能 なパワーデバイス
として 入 力 段 に MOSFET を 出 力 段 にバイポー
ラトランジスタを 1 つの 半 導 体 素 子 上 に 構 成 す
るデバイスとして 研 究 が 始 まり、1980 年 代 半 ば
に 実 用 的 なデバイスとして 実 現 した。その 後 、
図 3 に 示 すように IGBT の 電 力 損 失 ( 通 電 損 失
とスイッチング 損 失 の 総 和 )の 低 減 とパワー 密
度 ( 通 電 電 流 密 度 )の 向 上 の 両 面 で 開 発 が 進 め
られ、DRAM などの 他 の Si デバイスのプロセ
ス・デバイス 技 術 を 適 用 して、プレーナ 構 造 で
の 微 細 化 (μm サイズですが) 以 降 は、トレン
チ 構 造 ,キャリア 蓄 積 層 導 入 、 薄 ウェハ 技 術 等
により, 通 電 損 失 ・スイッチング 損 失 の 低 減 ,
高 電 流 密 度 化 を 実 現 してデバイスの 世 代 をすす
めてきた。しかしながら,Si-IGBT での 低 損 失
化 が 限 界 に 近 付 きつつある 今 日 ,SiC(Silicon
Carbide) 等 の 新 材 料 によるパワーデバイスへの
期 待 が 大 きくなっている。
3. SiC パワーデバイス
SiC は Si に 比 較 して 約 3 倍 のバンドギャップ,
約 10 倍 の 絶 縁 破 壊 電 界 強 度 等 の 物 性 値 を 持 つ
ことから、 図 4 に 示 すように、Si と 同 じデバイ
ス 構 造 であってもより 高 耐 圧 で 低 抵 抗 な 特 性 実
現 が 可 能 になる。 特 に Si では 耐 圧 を 上 げるとオ
ン 抵 抗 が 増 加 して 低 電 圧 領 域 でしか 利 用 できて
F 社
図 2. パワーデバイスの 世 界 市 場
M 社
I 社 ( 独 )
’80
’85 ’90 ’95 ’00 ’05 ’08 ’10
High hfe
Bipolar Tr
1 st Gen 2 nd Gen 3 rd Gen 4 th Gen
E (Emitter)
5 th Gen 6 th Gen 7 th Gen
第 4 世 代 Trench IGBT 第 5 世 代 CSTBT
第 6 世 代 CSTBT
1μm/PT 型
0.8μm/LPT 型
0.4μm/LPT 型
n+ buffer
layer(エピ)
n+ p+
p+
n+
n+ buffer layer(エピ)
E (Emitter) G (Gate)
p
E
G
p
n- layer (エピ)
p+ substrate
第 3 世 代 Planar IGBT
3μm/PT 型
C
p+ substrate
n+ p+
p
n- layer(エピ)
C (collector)
p
n
n+ buffer layer
キャリア n- layer
蓄 積 層 (エピレス)
p+
C
いないがスイッチング 損 失 の 少 ないユニポーラ
デバイスを 600V- 3300kV 以 上 の 耐 圧 を 持 って
低 損 失 で 高 温 動 作 が 実 現 できる。ユニポーラ 素
子 として、SiC-MOSFET と SiC-SBD(Schottky
Barrier Diode)が 挙 げられる。 特 に SBD に 関 して
は 複 数 のメーカから 市 販 されており[1]、 電 力 機
器 に 適 用 されスイッチング 損 失 の 低 減 (バイポ
ーラ 起 因 の 逆 回 復 電 流 の 抑 制 )が 実 証 され 製 品
化 されている 状 況 にある。 更 に,SBD ではエピ
膜 / 基 板 品 質 の 向 上 やプロセス 改 善 等 により, 電
流 容 量 の 増 大 化 等 進 められている。
SiC-MOSFET においても,MOS 界 面 とゲート 絶
縁 膜 の 高 品 質 化 等 の 技 術 革 新 により,1.2kV の
耐 圧 特 性 を 維 持 しつつ 5mΩcm 2 以 下 の 低 いオン
抵 抗 率 が 得 られている[2]。
Si-MOSFET
ソース
n p
+
ゲート
n -
Si 基 板
ドレイン 電 極
ソース
n +
p
E
ス
イ
ッ
チ
ン
損
失 グ
G
薄 層 化
高 電 子 濃 度 化
材 料
Si
SiC
通 電 損 失
図 3. IGBT 開 発 ロードマップ
E
G
p
n
n- layer
(エピレス)
p+
SiC-MOSFET
ソース
n p
+
禁 制 帯 幅
(eV)
1.1
3.25
ゲート
n -
SiC 基 板
ドレイン 電 極
絶 縁 破 壊 強 度
(MV/cm)
0.3
3
図 4. Si-MOSFETとSiC-MOSFETの 構 造 比 較
ソース
n +
p
4

n- epilayer
p+ p+
n+ substrate
(1) Drift epilayer growth (2) p-well implantation (3) p-contact implantation
High temperature growth
Hot implantation for high dose
(~1500℃)
n+ n+ Gate oxide
n+ n+
(4) n-source implantation
Gate electrode
(5) Activation annealing
High temperature annealing
(>1700℃)
Source electrode
Drain electrode
(7) Gate electrode formation (8) Metallization
デバイス 構 造 構 築 には、 各 種 接 合 を 制 御 して
作 成 する 必 要 があるが、SiC は Si のように 不 純
物 の 拡 散 速 度 が 小 さいので 熱 拡 散 で 接 合 を 形 成
することが 困 難 であり、イオン 注 入 、エピ 成 長
技 術 等 のプロセス 技 術 を 駆 使 してデバイス 構 造
を 作 り 上 げている。SiC-MOSFET の 代 表 的 なプ
ロセスフローを 図 5 に 示 す。SiC 基 板 上 (n+)に 耐
圧 を 維 持 するための 1500℃ 程 度 の 高 温 で SiC エ
ピ 層 (n- 層 、10μm 程 度 @1.2kV 耐 圧 )を 成 長
させる(ドリフトエピ 成 長 )。イオン 注 入 により
pウエル 形 成 後 、オーミックコンタクトのため
p++になるように 高 温 基 板 状 態 で 高 濃 度 のイオ
ン 注 入 を 行 う。 次 に MOSFET の n チャネル 形 成
のためイオン 注 入 を 行 い、 活 性 化 のため 1700℃
以 上 の 高 温 で 活 性 化 アニールを 行 うが、このと
きのイオン 注 入 、 活 性 化 アニールの 工 程 で MOS
界 面 の 欠 陥 を 低 減 して 平 坦 ・ 清 浄 な 界 面 を 形 成
する SiC 特 有 のプロセスを 適 用 する。その 後 ゲ
ート 酸 化 膜 形 成 、 電 極 形 成 を 行 って
SiC-MOSFET を 形 成 する。デバイス 構 造 やプロ
セスの 工 夫 、 改 善 により 現 在 オン 抵 抗 率
1mΩcm 2 以 下 の SiC-MOSFET が 報 告 されている。
SiC-SBD と SiC-MOSFET で 構 成 される SiC イ
ンバータでは、Si-IGBT,Si-PiN-Diode で 構 成 さ
れる Si インバータに 比 較 して、 低 損 失 , 高 パワ
ー 密 度 の 実 現 が 可 能 となる。IGBT/PiN-Diode で
は、バイポーラ 起 因 の 蓄 積 電 荷 によるスイッチ
p++
p++
(6) Gate oxide formation
図 5. SiC-MOSFETのプロセスフロー
ング 損 失 の 低 減 に 限 界 があるためである。 大 容
量 の SiC-SBD と SiC-MOSFET を 適 用 した SiC
インバータを 試 作 し、Si-IGBT を 用 いた Si イン
バータに 比 べて,11kW 出 力 時 の 電 力 損 失 の
70% 低 減 を 実 証 し, 低 損 失 効 果 によりインバー
タの 体 積 を 1/4 に 小 型 化 でき,パワー 密 度
10W/cm 3 を 実 現 している[3]。SiC デバイスの 特
性 にあったインバータを 開 発 することによる 電
力 損 失 の 低 減 の 実 証 は 進 み、90%の 削 減 まで 実
証 されている( 図 6)。
◆ 大 幅 な 低 損 失 化 、 小 型 化 ( 高 パワー 密 度 化 )が 可 能
◆ 環 境 ・エネルギー 機 器 の 圧 倒 的 省 エネ 化 が 可 能
電
力
損
失
(
相
対
値
)
450
Siインバータ
300
Si
現 状
100
次 世 代
Siの 限 界 値
(80)
材 料
Si
SiC
07 年 度
実 証 値
50
禁 制 帯 幅
絶 縁 破 壊 強 度
(eV)
(MV/cm)
1.1
0.3
3.25
3
08 年 度
実 証 値 09 年 度
30 実 証 値
10
SiC
図 6. SiCデバイスの 開 発 状 況
2009 年 11 月 11 日 三 菱 電 機 ( 株 ) 広 報 発 表 資 料 より 一 部 引 用
4. おわりに
最 近 注 目 されているパワーデバイスの 最
新 状 況 を 概 説 した。 材 料 の 変 革 (Si→SiC)によ
りデバイス 特 性 が 大 幅 に 向 上 し、 今 後 の 拡 大 が
期 待 されている。
[1] http://www.infineon.com
[2] N. Miura et al., “Successful development of
1.2 kV 4H-SiC MOSFETs with the very low
on-resistance of 5mΩ·cm 2 ”, IEEE ISPSD 2006.
pp261-264.
[3] S.Nakata et al, “Substantial Reduction
of Power Loss in a 14kVA SiC-Inverter”,
Proceedings of Solid State Devices and
Materials, (SSDM2009, Sendai, Japan)
pp.820-821.
5

第 10 回 プラズマエレクトロニクス 賞
第 10 回 プラズマエレクトロニクス 賞 について
名 古 屋 大 学
堀 勝
多 数 の 応 募 の 中 から、 本 年 度 の 受 賞 として 次 の
優 れた1 件 を 選 考 しましたので、 報 告 いたします。
受 賞 論 文
論 文 名 Effects of N2–O2 Gas Mixture Ratio on
Microorganism Inactivation in Low-
Pressure Surface Wave Plasma
著 者 名 Ying Zhao, Akihisa Ogino, and
Masaaki Nagatsu
雑 誌 名 Japanese Journal of Applied Physics
50 (2011) 08JF05.
受 賞 者 ( 現 所 属 )
趙 穎 ( 河 南 農 業 大 学 、 中 国 )
荻 野 明 久 ( 静 岡 大 学 )
永 津 雅 章 ( 静 岡 大 学 )
受 賞 理 由
従 来 、プラズマ 滅 菌 の 分 野 においては、プラズ
マを 照 射 して 効 果 を 見 るなどの 現 象 論 的 なアプロ
ーチしかされていなかった。 申 請 者 である 永 津 教
授 を 中 心 とする 本 論 文 著 者 グループは、 励 起 酸 素
原 子 による 芽 胞 菌 のエッチング 現 象 が 確 かに 起 こ
っていることを、 副 産 物 である H2O と CO2 の 四
重 極 質 量 分 析 器 による 直 接 観 測 で 明 らかにした。
また、 酸 素 と 窒 素 のガス 混 合 比 を 変 化 させること
で、 酸 素 ラジカルによるエッチングと、 窒 素 分 子
からの 紫 外 線 照 射 による DNA 損 傷 の 効 果 を 区 別
して 詳 細 に 調 べ、これらの 相 乗 効 果 が 重 要 である
ことも 明 らかにした。プラズマ 滅 菌 ・ 殺 菌 のメカ
ニズムを 詳 細 に 検 証 した 点 が 高 く 評 価 でき、 実 際
の 医 療 関 係 や 食 品 関 係 の 産 業 応 用 の 観 点 からも 極
めて 有 用 な 論 文 である。また、その 他 の 関 連 論 文
もプラズマ 医 療 ・バイオ 分 野 への 貢 献 が 大 きい。
さらに、 本 論 文 の 著 者 らは、 新 しい 分 野 である
プラズマ 医 療 の 研 究 を 日 本 国 内 において 牽 引 する
役 割 を 果 たしており、プラズマエレクトロニクス
分 科 会 がこの 分 野 の 発 展 のイニシアチブを 取 り、
研 究 者 人 口 の 増 加 を 推 進 できる 原 動 力 にもなり、
先 駆 者 としてのリーダーシップを 発 揮 されている
と 考 えられ、その 意 図 を 明 示 する 観 点 からも、 本
論 文 はプラズマエレクトロニクス 賞 に 相 応 しいと
考 えられる。
第 10 回 プラズマエレクトロニクス 賞 選 考 委 員 会
関 根 誠 ( 委 員 長 、 名 古 屋 大 学 )
金 子 俊 郎 ( 東 北 大 学 )
白 谷 正 治 ( 九 州 大 学 )
白 藤 立 ( 大 阪 市 立 大 学 )
藤 原 伸 夫 ( 三 菱 電 機 )
藤 山 寛 ( 長 崎 大 学 )
毎 年 、12 月 25 日 にプラズマエレクトロニク
ス 賞 への 応 募 の 締 め 切 りがございます。 本 分 野 で
は、 大 学 および 企 業 から 多 数 の 優 れたご 発 表 がな
されていますので、 皆 様 方 の 奮 っての 応 募 をお 願
いいたします。 賞 の 応 募 規 約 については、 本 会 報
の 掲 示 板 、および 分 科 会 のホームページに 記 載 し
ていますので、 熟 読 して 頂 きますようお 願 い 致 し
ます。
6

プラズマエレクトロニクス 賞 を 受 賞 して
河 南 農 業 大 学 (Henan Agricultural University, China) 趙 穎 (Ying Zhao)
( 静 岡 大 学 荻 野 明 久 , 永 津 雅 章 )
1. Introduction
First, I am very surprised that we could receive the
Plasma Electronics Award in the 2011 fiscal year, we
are all proud of that. Taking this opportunity, I would
like to express my sincere gratitude to my supervisor
Professor Masaaki Nagatsu for continuous support
during my study. His guidance, encouragement and
suggestion helped me all the way during my research
and up to writing of this paper. Second, I am very
grateful to all the members of our laboratory for our
collaboration, but most of all, to associate professor
Akihisa Ogino for his help in experiments, and his
technical support throughout my experiments. Third,
during my study I have to collaborate with many
colleagues for whom I have great regard, and I wish to
extend my warmest thanks to all those who have
helped me with my work. I would like to make a
special reference to Dr. Changlun Chen, Dr. Liang Bo
Liang, Dr. Qiang Ma, Dr. I. Motrescu(Ami) and Dr. J.
Watanabe. Our discussions helped me in many ways
such as to solve problems in experiments, analyze
complex data, write and publish papers, and make
wonderful presentations. I am also grateful to
Mr.Tomoda for the SEM analysis.
I have graduated from Shizuoka University in
March 2011 and I am now working in Henan
Agricultural University of China as an associate
professor now. The experience of my PhD study in
Japan will be never forgotten. I am very proud of that I
can participate in this professional group and make my
dream come true.
2. Research
Our research efforts were motivated by both a desire
to understand the mechanisms whereby plasma affects
the cells of microorganisms and by exciting prospects
of using plasma in the biomedical field[1,2]. In my
PhD work, we used the surface-wave plasma (Fig. 2)
to measure the by-products which came from through
plasma-microorganism interaction during plasma
irradiation process using the multiple ion detection
(MID) system of QMS and vacuum shutter system.
Fig. 2 Schematic view of experimental setup of the
surface-wave plasma device[3].
Fig. 1 Group photo of Nagatsu lab members
We investigated the germicidal efficiency of
biological indicator to clarify the mechanisms of
plasma etching effect. Analyses of SWPs with
different gas species for sterilization were carried out
to make clear the relation between N 2 /O 2 plasma
7

characterization and bacteria destruction as the aspect
of inactivation mechanism via the synergetic effect
due to radicals and VUV/UV photons in N 2 /O 2
plasma[4]. The main results of the works mentioned
above are summarized as follow:
・In air-simulated plasma, the lethal damage is caused
by both effects, etching effect due to radical species
and VUV/UV photons, with highest efficacy.
・The MID (multiple ion detection) measurement of
QMS and shutter control system proved useful for
monitoring the bacteria degradation process, the
signals of H 2 O and CO 2 as main by-products
expressed a well defined corresponding to erosion of
bacteria by oxygen radicals, as shown in Fig.3.
Fig. 3 Time evolution of QMS signals for H 2 O and
CO 2 components during plasma irradiation[3].
・The higher input power was used, the more rapid
inactivation of the spores was observed.
・In N 2 /O 2 plasma, the best etching efficiency was in
the case of 90% O 2 /10% N 2 plasma, and etching
efficiency in rich oxygen mixture plasma were better
than pure O 2 plasma.
・As for the efficient inactivation of spores, we found
that the optimum gas mixture ratio was between 30
and 80%, as shown in Fig. 4. This result apparently
shows that the spores are inactivated by the synergetic
effect due to etching and VUV/UV photons.
3. Future Scope
Although much work has been done, there are still
many tasks needed to do. The understanding of the
interaction of plasma with living cells in general, and
with bacterial cell in particular, requires a careful
investigation which probes the effects on the cellular
and sub-cellular levels. So, an in-depth or systematic
study on the specific effects of the plasma on
sub-cellular components such as nucleoid, cytoplasm,
ribosome, etc. has yet to emerge. A lot of careful work
requiring collaborative efforts between plasma
physicists, microbiologists, and biochemists remains
to be done. Our goal in the study of low-temperature
plasma sterilization is to develop a commercial plasma
sterilizer for medical application.
Fig.4 Survival curves for G. stearothermophilus
samples exposed to N 2 /O 2 plasma 20s and 60s,
respectively, as a function of oxygen mixture ratio [3].
References
[1] M. Nagatsu, F. Terashita, and Y. Koide: Jpn. J.
Appl. Phys. 42 (2003) 856.
[2] M. Nagatsu, F. Terashita, H. Nonaka, L. Xu, T.
Nagata, and Y. Koide: Appl. Phys. Lett. 86 (2005)
211502.
[3] Y. Zhao, A. Ogino, M. Nagatsu, Jpn. J. Appl. Phys.
50 (2011) 08JF05.
[4] Y. Zhao, A. Ogino, M. Nagatsu, Appl. Phys. Lett.,
98 (2011) 191501.
8

研 究 室 紹 介 (その47)
東 京 工 業 大 学 大 学 院 理 工 学 研 究 科
小 長 井 ・ 宮 島 研 究 室 、 教 授 小 長 井 誠 *
1. 太 陽 電 池 研 究 の 事 はじめ
わたしの 恩 師 は、 高 橋 清 先 生 ( 東 工 大 名 誉 教 授 )
です。 昭 和 47 年 、 私 が 学 部 を 卒 業 して、 修 士 課 程
に 進 学 したある 日 のこと、 高 橋 先 生 が 私 を 呼 び 止
められ、“ 小 長 井 君 、 太 陽 電 池 の 研 究 をやってみな
いか”と 言 われました。わたしは、すでに
AlGaAs/GaAs ヘテロ 接 合 トランジスタのテーマで
研 究 を 行 っておりましたが、3 端 子 素 子 のトラン
ジスタより、2 端 子 素 子 の 太 陽 電 池 の 方 が 簡 単 だ
から、すぐに 成 果 は 出 るだろうと 思 い、 両 方 のデ
バイスを 研 究 対 象 としました。ところが、 実 際 に
は、トランジスタの 研 究 は、その 後 、10 年 程 度 で
終 了 し、 太 陽 電 池 がライフワークとなりました。
太 陽 電 池 は、 基 本 的 には 半 導 体 pn 接 合 であり 動 作
を 理 解 することは 難 しくないのですが、 太 陽 電 池
開 発 は、 大 面 積 で 高 性 能 、しかも 低 コスト 化 が 必
須 という 非 常 に 挑 戦 的 な 課 題 だったのです。
これまでに、GaAs をはじめとして、アモルファ
ス Si、 微 結 晶 Si、Cu(InGa)Se 2 、CdTe、 結 晶 Si 系 、
量 子 ドット 太 陽 電 池 と、ほとんどすべての 太 陽 電
池 材 料 系 において、 変 換 効 率 を 高 めるための 研 究
開 発 を 展 開 してきました。
2. 太 陽 電 池 産 業 の 現 状 と 研 究 開 発 課 題
現 在 、 化 石 燃 料 ならびに 原 子 力 に 替 わる 新 エネ
ルギー 源 として 太 陽 光 発 電 が 注 目 されており、 期
待 度 は 非 常 に 高 いのですが、いま、わが 国 の 太 陽
電 池 産 業 はタイヘン 苦 しい 状 況 に 置 かれています。
一 番 の 理 由 は、 中 国 企 業 による 安 価 なシリコン 太
陽 電 池 の 大 量 生 産 とその 世 界 戦 略 です。また、 欧
州 を 中 心 とした 経 済 危 機 から、 欧 州 のマーケット
の 成 長 率 をこれまでのように 高 水 準 に 維 持 するの
が 難 しい 状 況 となっていることも 原 因 の 一 つです。
そこで、 小 長 井 ・ 宮 島 研 究 室 では、 太 陽 電 池 製
造 企 業 と 直 結 する near-term の 研 究 課 題 と、ター
ンキー 装 置 では、すぐに 真 似 できないような
long-term の 革 新 技 術 開 発 を 行 っています。
さらに、この 4 月 末 より、 福 島 復 興 プロジェク
トの 一 つとして 文 部 省 「 革 新 的 エネルギー 研 究 開
発 拠 点 形 成 事 業 -ナノワイヤー 太 陽 電 池 」の 研
究 総 括 を 務 めることになりました。
これらの 次 世 代 、あるいは 革 新 的 太 陽 電 池 製 造
技 術 の 根 幹 となるものがプラズマプロセスです。
「プラズマ」 分 野 には、 応 用 物 理 学 会 の 中 でも 特
に 先 進 的 でしかも 活 発 な(ラジカルな) 研 究 者 が
多 く 集 まっておられます。 最 近 、プラズマ CVD に
よるアモルファス Si あるいは、 微 結 晶 Si に 係 わ
っている 会 員 数 は、 技 術 の 成 熟 とともに 減 少 傾 向
にありますが、 太 陽 電 池 を 世 界 に 負 けない 真 に 強
い 分 野 に 育 てていくには、プラズマ 分 野 における
革 新 技 術 開 発 こそが 必 要 不 可 欠 なのです。 日 本 の
太 陽 電 池 技 術 のいっそうの 向 上 のため、 多 くの 会
員 が 革 新 的 太 陽 電 池 研 究 開 発 に 加 わっていただけ
れば 幸 いです。
3. 太 陽 電 池 技 術 開 発 のポイント
太 陽 光 発 電 技 術 開 発 の 目 標 は、 発 電 コストを 7
円 /kWh レベルまで 下 げることです。 発 電 コストを
下 げるには、 製 造 コストが 安 いことは 言 うまでも
ありませんが、 太 陽 電 池 のエネルギー 変 換 効 率 が
非 常 に 高 いことが 必 要 不 可 欠 です。 詳 しくは、 文
献 の(1)を 参 照 してください。また、 遠 い 将 来 のこ
とを 考 えると、2050 年 には、 世 界 中 で 10~20TW
(テラ W。10~20 兆 W) 規 模 の 太 陽 光 発 電 システ
ムの 導 入 が 必 要 となるでしょう。これだけの 量 の
太 陽 電 池 を 導 入 するには、 従 来 のシリコン 太 陽 電
池 に 比 べ、 使 用 する 材 料 が 1/1000 と 少 なく、しか
も 変 換 効 率 の 高 い 薄 膜 太 陽 電 池 の 開 発 が 必 要 不 可
欠 です。 高 効 率 化 研 究 は、 材 料 開 発 ・ 評 価 、デバ
イス 物 理 、プロセス 研 究 など、 多 くの 基 盤 的 な 学
* 現 在 、 応 用 物 理 学 会 会 長
9

図 1 東 工 大 小 長 井 研 究 室 における 太 陽 電 池 研 究 開 発 の 流 れ
問 分 野 を 含 む 領 域 でもあります。 以 下 で、 簡 単 に
これまでのシリコン 系 薄 膜 太 陽 電 池 に 関 する 当 研
究 室 の 取 り 組 みを 紹 介 いたします。
4.Si 薄 膜 太 陽 電 池
一 般 に Si 太 陽 電 池 と 言 えば、 厚 さが 200m 程
度 の 結 晶 シリコン 太 陽 電 池 を 指 しています。 一 方 、
薄 膜 太 陽 電 池 は、 従 来 技 術 によるシリコン 太 陽 電
池 とは 異 なり、 必 要 とする 発 電 層 が 非 常 に 薄 くな
っています。 例 えばシリコン 薄 膜 では、その 必 要
とする 厚 さは、 従 来 型 の 1/1000 の 0.3m 程 度 と
なっています。またプラズマ CVD 法 により 200℃
付 近 の 非 常 に 低 温 で、しかも 数 平 方 メートルサイ
ズの 大 面 積 ガラス 基 板 の 上 に 製 造 できるため、 本
質 的 に 低 コスト 化 が 可 能 で、しかも 量 産 性 に 優 れ
ています。しかし、 薄 膜 系 の 変 換 効 率 は、 従 来 型
に 比 べると 半 分 以 下 と 低 い 状 況 にありました。そ
こで、 長 年 に 亘 り、Si 薄 膜 太 陽 電 池 の 変 換 効 率 を
アップさせる 研 究 に 取 り 組 んできました。 特 に、
界 面 制 御 に 関 する 新 技 術 開 発 、 凹 凸 を 有 する 光 閉
じ 込 め 効 果 を 有 する 新 しい 透 明 導 電 膜 の 開 発 など
をとおして、 薄 膜 太 陽 電 池 の 高 効 率 化 に 大 きく 貢
献 しました。
実 際 には、 図 1 に 示 すように 1980 年 からアモル
ファス Si 太 陽 電 池 開 発 に 着 手 しました。1983 年 、
アモルファス 太 陽 電 池 の 変 換 効 率 が p/i 界 面 で 制
限 されていることを 見 出 し、その 解 決 法 として、
界 面 に 傾 斜 組 成 を 有 するバッファ 層 を 挿 入 するこ
とを 提 案 しました。アモルファス 太 陽 電 池 におけ
るバッファ 層 技 術 は、すでに 広 く 実 用 化 されてい
ます。 現 在 では、アモルファス Si と 微 結 晶 Si の
タンデム 太 陽 電 池 で 13%の 変 換 効 率 を 得 るに 至
っています。 高 速 堆 積 が 必 要 な 微 結 晶 Si は、 周 波
数 60MHz の VHF-PCVD 法 で 製 膜 しています。
10

一 方 、ナローバンドギャップとしてアモルファ
ス SiGe へ 寄 せる 期 待 が 高 まっていましたが、 欠 陥
密 度 が 多 く、 高 品 質 化 が 大 きな 課 題 となっていま
した。このような 状 況 の 中 で、 水 素 希 釈 をすると
高 品 質 化 が 可 能 なことを 見 出 し、a-Si/a-SiGe タ
ンデムセルでその 有 効 性 を 実 証 しました(1987
年 )。
現 在 、 当 研 究 室 には、シリコン 薄 膜 を 製 膜 する
ためのマルチチャンバープラズマ CVD 装 置 が4 台
あります。 図 2 は、アモルファス Si/ 微 結 晶 Si タ
ンデム 太 陽 電 池 を 製 膜 しているプラズマ CVD 装 置
です。 現 在 の 悩 みは、こうしたプラズマ CVD 装 置
が 非 常 に 高 価 なことです。これは 製 造 現 場 でも 課
題 となっています。 真 空 装 置 メーカーには、 低 価
格 化 の 努 力 をお 願 いしたいところです。
集 光 型 薄 膜 フルスペクトル 太 陽 電 池 の 研 究 開 発 」
を 受 託 しており、 産 学 連 携 のコンソーシアムで 変
換 効 率 40%を 目 指 した 薄 膜 フルスペクトル 太 陽
電 池 開 発 を 展 開 中 です。 現 在 、7 年 計 画 の 5 年 目
にあたります。 薄 膜 系 5 接 合 タンデム 構 造 のイメ
ージを 図 3 に 示 します。
ガラス 基 板
透 明 導 電 膜 (フルスペクトル 対 応 )
第 1セル 禁 制 帯 幅 2.2eV
第 2セル 禁 制 帯 幅 1.7eV
第 3セル 禁 制 帯 幅 1.4eV
オプティカルカップリング
第 4セル 禁 制 帯 幅 1.1eV
第 5セル 禁 制 帯 幅 0.6eV
図 3 薄 膜 で 40% 以 上 の 変 換 効 率 を 狙 う 5 接 合 構
造 の 例 。 第 1 セル:a-Si 1-x O x , a-Si 1-x C x , a-Si 1-x
N x , Ag(InGa)Se 2 など。 第 2 セル:a-Si, SiGe
など。 第 3 セル:a-SiGe, Si 量 子 ドット,
Cu(InGa)Se 2 など。 第 4 セル: 微 結 晶 Si,
Cu(InGa)Se 2 など。 第 5 セル: 微 結 晶 SiGe, Ge,
CuInTe 2 など。
図 2 アモルファス Si/ 微 結 晶 Si タンデム 太 陽 電
池 用 マルチチャンバープラズマ CVD 装 置 。
5. 超 高 効 率 を 目 指 す 薄 膜 フルスペクトル
太 陽 電 池
薄 膜 太 陽 電 池 の 変 換 効 率 は、どこまで 向 上 させ
ることが 可 能 でしょうか。 原 理 的 には、 禁 制 帯 幅
の 大 きい 方 (2.2eV)から、 小 さい 方 (0.6eV)まで
高 品 質 の 光 吸 収 層 が 作 製 可 能 であれば、5 接 合 太
陽 電 池 で 40% 以 上 の 変 換 効 率 の 達 成 が 可 能 とな
ります。 現 在 、 当 研 究 室 では、NEDO「 新 エネルギ
ー 技 術 研 究 開 発 革 新 的 太 陽 光 発 電 技 術 研 究 開 発
( 革 新 型 太 陽 電 池 国 際 研 究 拠 点 整 備 事 業 ) 低 倍 率
5 接 合 をすべて 薄 膜 シリコン 系 で 構 成 しようと
すると、 第 1 層 目 は 禁 制 帯 幅 が 2 eV 以 上 の
a-Si 1-x O x 、a-Si 1-x C x あるいは a-Si 1-x N x などが 開 発
の 対 象 となります。 第 2 層 目 の 光 吸 収 層 材 料 とし
ては a-Si が 有 力 です。 禁 制 帯 幅 1.4 eV 付 近 の 第
3 層 目 の 材 料 として Si 系 量 子 ドットの 開 発 を 精 力
的 に 進 めています。 第 4 層 目 には、 微 結 晶 Si が 有
望 です。 最 下 層 となる 第 5 層 目 としては Ge 薄 膜 や
カルコパイライト 系 薄 膜 を 考 えています。これま
でに、アモルファス Si をトップセル、Cu(InGa)Se 2
をボトムセルに 用 いた 波 長 スプリッティングセル
で 18%を 超 す 変 換 効 率 が 得 られています。
11

6. 福 島 復 興 プロジェクトと 革 新 的 太 陽 電 池 開 発
いま 早 急 なる 立 ち 上 げを 行 っているのは、 福 島
復 興 プロジェクト、「 革 新 的 エネルギー 研 究 開 発 拠
点 形 成 事 業 -ナノワイヤー 太 陽 電 池 」です。ま
だ 詳 しくは 公 表 できないのですが、 概 要 は 以 下 の
通 りです。
現 在 、25% 程 度 の Si 太 陽 電 池 の 変 換 効 率 を 30%
以 上 まで 向 上 させるための 革 新 的 太 陽 電 池 として、
シリコンナノワイヤー 太 陽 電 池 の 研 究 を 行 う、と
いう 内 容 です。 現 在 のシリコン 太 陽 電 池 の 性 能 は、
シリコンの 禁 制 帯 幅 1.1eV で 制 限 されており、
30% 以 上 の 変 換 効 率 領 域 を 目 指 すには、ナノテク
ノロジーを 用 いた 禁 制 帯 幅 制 御 が 必 要 不 可 欠 です。
本 事 業 では、ナノメートルサイズの 径 を 有 するシ
リコンワイヤーを 形 成 するための 革 新 技 術 を 確 立
し、バンドギャップ 制 御 されたナノワイヤー 太 陽
電 池 と、 高 効 率 ヘテロ 接 合 型 シリコン 太 陽 電 池 と
をタンデム 化 することにより、シリコン 系 太 陽 電
池 では 未 踏 の 30% 以 上 のエネルギー 変 換 効 率 達
成 を 目 指 すものです。 具 体 的 な 構 造 を 図 4 に 示 し
ます。このプロジェクトは 5 年 間 の 予 定 ですので、
興 味 のある 方 は、 小 長 井 宛 、 直 接 、ご 連 絡 いただ
ければ 幸 いです。
7.おわりに
本 稿 では、 小 長 井 ・ 宮 島 研 究 室 で 実 施 している
Si 薄 膜 太 陽 電 池 と 革 新 型 太 陽 電 池 の 研 究 内 容 を
中 心 に 紹 介 いたしましたが、このほか 直 近 の 課 題
としてヘテロ 接 合 型 バルク Si 太 陽 電 池 の 研 究 開
発 を 行 っております。プラズマ CVD 法 による SiO
や 3C-SiC を 用 いた 新 型 ヘテロ 接 合 太 陽 電 池 で
700mV を 超 す 開 放 電 圧 を 得 るに 至 っています。ヘ
テロ 接 合 太 陽 電 池 は、わが 国 が 誇 る 強 い 太 陽 電 池
の 一 つですが、これもまた 1980 年 以 降 、 産 官 学 共
同 で 展 開 してきたプラズマ CVD に 関 する 基 礎 研 究 、
応 用 研 究 の 大 きな 成 果 の 一 つであります。
最 後 になりますが、 当 研 究 室 は、7 月 末 までに
は、 図 5 に 示 す 新 棟 ( 環 境 エネルギーイノベーシ
ョン 棟 )に 引 っ 越 し 予 定 です。EEI 棟 は、 約 600kW
の 太 陽 電 池 で 覆 われており、100kW の 燃 料 電 池
も 備 えるなど、 最 新 の 創 エネ、 省 エネ 技 術 を 取 り
入 れた 建 物 となっています。
図 5 約 600kW の 太 陽 電 池 が 取 り 付 けられた 環
境 エネルギーイノベーション 棟
図 4 変 換 効 率 30% 以 上 を 狙 う Si ナノワイヤー
太 陽 電 池 と 結 晶 Si 太 陽 電 池 のタンデム 構 造
の 例 。
参 考 文 献
(1) 小 長 井 誠 、“ 薄 膜 シリコン 太 陽 電 池 の 高 効 率 化
技 術 ”、 応 用 物 理 第 79 巻 、 第 5 号
(2010)pps.393 -403
(2)http://www.mext.go.jp/b_menu/boshu/detail/
1320247.htm
12

研 究 紹 介 (その3)
首 都 大 学 東 京 プラズマ 応 用 研 究 室
理 工 学 研 究 科 電 気 電 子 工 学 専 攻 白 井 直 機
はじめに
本 研 究 室 は、 杤 久 保 文 嘉 教 授 の 下 、 修 士 課 程 学
生 6 名 、 学 部 学 生 3 名 、 助 教 の 白 井 で 構 成 されて
います。 詳 しい 研 究 室 の 紹 介 についてはプラズマ
エレクトロニクス 分 科 会 会 報 No. 51にて 紹 介 され
ています。 私 自 身 は、 学 生 時 代 を 東 京 工 業 大 学 で
過 ごし、2009 年 より 首 都 大 学 東 京 の 助 教 として 採
用 して 頂 きました。 学 生 時 代 は、 大 学 院 修 士 課 程
から 博 士 課 程 までの 5 年 間 、 指 導 教 員 であった 石
井 彰 三 教 授 が 特 定 領 域 研 究 「マイクロプラズマ」
に 参 画 していたため、そのプロジェクトの 中 で 研
究 を 進 めることができました。そこでは 拡 大 レン
ズを 接 続 したカメラで 微 小 な 空 間 に 生 成 される
様 々なマイクロプラズマの 観 測 を 行 ってきました。
肉 眼 で 見 ると 光 の 点 にしか 見 えないプラズマが 拡
大 レンズを 通 してみると 様 々な 構 造 をもつことが
観 測 されることに 大 変 興 味 を 持 ちました。そうい
った 実 験 を 続 ける 中 で 観 測 されたのが、 今 回 紹 介
させて 頂 く 自 己 組 織 化 模 様 でした。
研 究 内 容
大 気 圧 プラズマの 中 でも 特 に 液 体 を 利 用 したプ
ラズマの 研 究 を 行 っています。 液 体 を 利 用 する 方
法 は 色 々ありますが、 我 々は 液 体 を 電 極 として 水
液 体 を 電 極 とした 放 電 の 歴 史 は 古 く、100 年 以 上
前 に 既 に 手 法 は 提 案 されていますが[1]、 近 年 の 大
気 圧 プラズマ 生 成 法 の 進 歩 により、 様 々な 応 用 へ
の 展 開 が 期 待 されています。
我 々は 大 気 圧 空 気 中 で 安 定 に 放 電 を 形 成 するた
めに 穴 径 500m 程 度 の 微 細 な 穴 をもつ 金 属 ノズ
ル 電 極 よりヘリウムを 電 極 間 に 導 入 して、 液 体 電
極 と 金 属 電 極 間 に 直 流 電 圧 を 印 加 することで 放 電
を 形 成 します。これまでに NaCl 水 溶 液 を 陰 極 と
して 用 いた 時 に 放 電 電 流 を 増 加 させると 水 面 から
黄 色 い Na の 発 光 が 観 測 されることを 見 出 し、こ
ういった 液 中 からの 発 光 は 放 電 の 極 性 、 水 温 に 影
響 することを 明 らかにしてきました[2]。
液 体 を 陽 極 として 放 電 を 生 成 すると、 電 極 間 距
離 を 10 mm 程 度 まで 広 げた 状 態 で、 電 流 を 増 加
させていくと、 図 1 に 示 すように 陽 極 上 に 自 己 組
織 化 された 発 光 が 形 成 されます。 放 電 の 自 己 組 織
化 は 液 体 の 導 電 率 によって 様 々な 模 様 になります。
陽 極 として 濃 度 1%の NaCl ( 導 電 率 :12 mS/cm)を
用 いた 場 合 、20 mA の 電 流 では 液 体 陽 極 表 面 にリ
ング 状 の 発 光 が 形 成 されます。 電 流 を 増 加 すると
リングは 2 重 構 造 となり、その 外 側 には 複 数 の 微
小 スポットが 現 われ、さらに 電 流 を 増 加 すると 多
数 の 微 小 スポットが 動 き 回 るような 模 様 になりま
す。 図 2 に 液 体 陽 極 放 電 の 電 流 電 圧 特 性 に 自 己 組
織 化 が 観 測 される 条 件 を 示 します。 図 からわかる
金 属 陰 極
液 体 陽 極
図 1 液 体 陽 極 放 電 において 水 面 に 形 成 される 自 己 組 織 化 模 様 の 発 光
13

(a) 水 道 水 (b) NaCl 溶 液 1%
図 2. 電 流 電 圧 特 性 と 自 己 組 織 化 現 象 の 発 生 条 件
ように 自 己 組 織 化 模 様 は 電 極 間 距 離 が 広 く、 電 流
が 高 いときほど 観 測 され 易 いです。また、ヘリウ
ム 流 量 を 大 きくすると、 模 様 は 現 れ 難 くなります。
これらのことから 自 己 組 織 化 の 形 成 される 条 件 は
電 極 間 のヘリウムの 割 合 が 影 響 していると 推 定 さ
れます。また、 図 3 に 示 すように 液 体 の 濃 度 を 変
化 させたり、 液 体 の 代 わりに 金 属 平 板 を 用 いた 際
にも 様 々な 模 様 が 観 測 されました。 液 体 表 面 上 に
様 々な 模 様 が 形 成 される 現 象 についてはいくつか
の 報 告 があります[3]。また 非 平 衡 プラズマの 自 己
組 織 化 現 象 は、ホローアノード 型 直 流 放 電 [4]や、
交 流 電 圧 駆 動 の 誘 電 体 バリア 放 電 [5]でも 報 告 さ
れていますが、 本 研 究 の 事 例 を 含 め、 自 己 組 織 化
が 起 こる 原 理 は 完 全 には 理 解 されていません。
しかしながら、 数 学 の 分 野 では 反 応 拡 散 方 程 式
を 解 くことで 様 々なパターン 形 成 が 現 れることが
知 られています[6]。 実 際 に 我 々の 研 究 室 でも、 方
程 式 を 解 いたところ、 様 々なパターンが 現 れるこ
とは 確 認 しました。また 20 年 ほど 前 の 文 献 を 見 る
と、 金 属 電 極 表 面 にパターンが 現 れることを 示 し
た 文 献 もあります[7]。 現 在 、 我 々は 他 分 野 や 過 去
の 研 究 について 十 分 調 査 したのちに、 我 々が 示 し
た 水 面 に 現 れるパターン 形 成 メカニズムの 解 明 や
応 用 法 について 検 討 しているところです。
最 後 に
この 10 年 で 携 帯 電 話 やパソコン 等 、あらゆる 電
化 製 品 が 目 覚 ましい 勢 いで 進 化 してきました。プ
ラズマエレクトロニクスの 分 野 でも、 私 が 学 部 4
年 生 の 頃 初 めてプラズマの 研 究 に 触 れた 頃 と 比 べ
ると、 当 時 は 考 えもしなかったプラズマの 生 成 法 、
応 用 が 見 られます。そういった 目 覚 ましい 発 展 を
牽 引 しているのが、プラズマエレクトロニクス 分
科 会 であることは 間 違 いありません。 私 自 身 は、
学 生 時 代 は 特 定 領 域 研 究 「マイクロプラズマ」に
関 わることができ、 助 教 として 着 任 した 現 在 は、
杤 久 保 教 授 の 下 、 新 学 術 領 域 研 究 「ナノ 界 面 プラ
ズマ」のプロジェクトにも 参 加 させて 頂 いていま
す。こういった 非 常 に 恵 まれた 環 境 下 で 研 究 でき
ることに 感 謝 しながら、 今 まで 進 めてきた 気 液 界
面 での 大 気 圧 プラズマの 諸 現 象 について 更 に 解 明
を 進 めるとともに、 新 たな 研 究 についても 模 索 し
ながら 日 々 精 進 してまいりたいと 思 います。プラ
ズマエレクトロニクス 分 科 会 の 皆 様 には 今 後 とも
ご 指 導 、 御 鞭 撻 を 賜 りますようにお 願 い 申 し 上 げ
ます。
参 考 文 献
[1] J. Gubkin, Ann. Phys. Chem. N. F. 32 (1887) 114
[2] N. Shirai et al., Plasma Sources Sci. Technol. 20
(2011) 2652.
[3] T. Verreycken et al., J. Appl. Phys. 105 (2009)
083312.
(a) NaCl 溶 液 2% (b) 金 属 陽 極
図 3. 陽 極 材 料 による 自 己 組 織 化 模 様 の 違 い
( 放 電 電 流 は 全 て 50 mA)
[4] K. Schoenbach et al., Plasma Sources Sci. Technol. 13
(2004) 177.
[5] T. Shirafuji et al., Appl. Phys. Lett. 83 (2003) 2309.
[6] 栄 伸 一 郎 他 , パターン 形 成 の 数 理 , 講 談 社
[7] K. G. Müller, Phys. Lev. 37 (1988) 4836,
14

研 究 紹 介 (その4)
電 気 で 農 業 ・ 食 品 産 業 をより 強 く ~かみなりキノコなど~
岩 手 大 学 工 学 部 高 木 浩 一
1.なぜ, 電 気 を 農 業 へ 利 用 するの
日 本 の 農 業 は 国 内 生 産 額 が 約 8 兆 円 で, 中 国 ,
アメリカ,インド,ブラジルに 次 ぐ5 位 ( 先 進 国
中 2 位 )の 生 産 を 誇 る.ここ 40 年 で 基 幹 的 農 業 従
事 者 は 約 1/5 になったものの,1 人 当 たりの 生 産
量 は5 倍 に 増 加 している. 加 えて,キノコや 果 樹 ,
酪 農 など 付 加 価 値 の 高 い 農 産 物 への 展 開 も, 生 産
高 を 上 げる 一 因 となっている.
日 本 の 高 い 農 業 生 産 性 を 支 えているのが 科 学 技
術 になる.これらは 肥 料 や 土 壌 改 良 剤 , 農 業 機 械 ,
近 年 では 野 菜 工 場 システムなどの 開 発 につながっ
ていて, 生 産 性 の 向 上 に 貢 献 している. 加 えて 近
年 では, 光 や 電 気 を 農 業 に 活 用 する 技 術 開 発 が 注
目 されている. 岩 手 大 学 で 進 める 人 工 かみなりを
活 用 したキノコ 栽 培 も, 農 業 への 電 気 高 度 活 用 の
1つとなる.ここでは,かみなりキノコを 中 心 に,
電 気 の 農 業 や 食 品 業 界 への 利 用 について 述 べる.
2. 電 気 刺 激 でのキノコ 増 産
図 1に, 電 圧 印 加 前 後 の,きのこ 菌 糸 の 変 化 の
様 子 を 示 す. 菌 糸 に 電 界 が 加 わると, 菌 糸 の 内 部
が 負 電 位 を 持 つためクーロン 力 や, 誘 電 分 極 等 に
よる 力 がかかる.このため, 菌 糸 が 動 き,その 一
部 は 木 の 繊 維 との 間 のせん 断 応 力 等 により, 断 裂
など 損 傷 を 受 ける( 矢 印 部 ).これらはキノコへの
刺 激 として 働 き, 膜 状 菌 糸 やキノコ 原 基 の 形 成 な
どを 引 き 起 こす.このメカニズムについては, 菌
糸 が 分 泌 する 疎 水 性 たんぱく 質 (ハイドロホビン)
を,ポリメラーゼ 連 鎖 反 応 (PCR)を 用 いた 解 析
などで 確 認 できる.
キノコ 菌 糸 が 十 分 に 成 長 したホダ 木 や 菌 床 (お
が 粉 を 固 めたもの)にパルス 電 圧 を 印 加 すること
で, 上 記 のメカニズムで 子 実 体 (キノコのかさ)
形 成 を 促 進 できる. 図 2に,シイタケのホダ 木 に
パルス 高 電 圧 を 加 え, 子 実 体 形 成 の 違 いを 観 察 し
た 結 果 を 示 す. 写 真 より, 電 気 刺 激 を 施 したホダ
10 m
10 m
図 1 電 圧 印 加 前 後 の 菌 糸 の 電 子 顕 微 鏡 写 真
( 上 : 電 圧 印 加 なし, 下 :あり)
図 2 電 気 刺 激 の 有 無 によるシイタケ 生 育 の 比 較
( 上 : 電 圧 印 加 なし, 下 :あり)
木 に, 数 多 くのシイタケが 確 認 できる. 図 3に,
ホダ 木 一 本 当 たりのシイタケの 収 穫 量 の 比 較 を 示
す.パルス 電 圧 の 印 加 条 件 は, 電 圧 印 加 なし( 図
中 control と 表 示 ),50,90,125 kV×1 回 ,50kV
×50 回 印 加 とした. 縦 軸 は 各 条 件 におけるホダ 木
15

図 5 放 電 の 有 無 によるコマツナの 生 育 の 比 較 ( 左 :
比 較 区 , 中 央 :バブリングのみ, 右 : 放 電 あり)
図 3 印 加 電 圧 の 条 件 によるシイタケの 収 量 変 化
一 本 あたりの 収 穫 量 を 表 し,4シーズン 分 の 収 量
の 合 計 である. 全 体 をみると 50 kV×50 回 印 加 条
件 において 最 も 収 穫 量 が 多 く, 印 加 なしの 条 件 の
約 1.9 倍 の 収 穫 となる. 電 圧 印 加 の 条 件 中 では 125
kV で 収 穫 量 が 最 も 少 なく, 電 気 刺 激 に 適 した 電 圧
の 大 きさがあることがわかる.
3. 植 物 の 成 長 促 進
高 電 圧 で 植 物 の 発 芽 を 早 めることができる. 発
芽 した 植 物 の 成 長 には, 窒 化 イオンなどの 栄 養 分
が 欠 かせない. 逆 に 病 気 を 引 き 起 こす 雑 菌 は 不 活
性 化 させることが 望 ましい. 高 電 圧 電 源 として 短
パルス 電 圧 を 用 いると, 図 4に 示 すように, 水 や
土 の 中 でも 安 定 して 放 電 させることができる.こ
の 放 電 により, 窒 素 イオンが 生 成 され,これは 水
に 溶 けて 植 物 の 栄 養 になり,また 雑 菌 は 減 る.
図 5に,コマツナ 栽 培 で 散 布 する 蒸 留 水 に,30
分 ほど 放 電 をあて,コマツナの 生 育 を 比 較 したも
のを 示 す. 図 より, 水 中 放 電 により, 生 育 が 促 進
されていることがわかる. 乾 燥 重 量 の 比 較 では,
比 較 区 の 0.146 g に 対 して,0.934 g と 6.4 倍 の 収 量
増 加 になっている. 放 電 で 水 中 に 発 生 するイオン
は,NO - 2 で 0.68 ppm,NO - 3 で 7.17 ppm であった.
図 4 水 中 放 電 の 様 子
このとき, 水 中 の 一 般 生 菌 数 も, 対 数 値 で 5.72 か
ら,1.85 CFU/mL と 大 きく 減 少 した.
4. 食 品 保 存 や 成 分 抽 出 への 利 用
青 果 物 や 食 品 を 長 時 間 放 置 すると, 腐 敗 細 菌 ,
真 菌 , 酵 母 など 微 生 物 によって, 有 機 物 が 分 解 さ
れる, 腐 敗 が 起 こる.このため, 青 果 物 や 食 品 の
鮮 度 を 長 時 間 にわたり 保 つためには, 腐 敗 菌 の 不
活 性 化 および 殺 菌 が 必 要 になる. 高 電 圧 を 用 いた
腐 敗 菌 の 不 活 性 化 や 殺 菌 の 場 合 , 一 般 には,パル
ス 高 電 界 により, 腐 食 菌 の 細 胞 膜 に 穴 をあける( 電
気 穿 孔 法 )などを 利 用 する. 図 6に, 食 品 保 管 庫
のもみ 殻 (ダスト)を 静 電 捕 集 機 に 通 過 させ, 印
加 電 圧 を 変 えた 時 の, 捕 集 もみ 殻 の 菌 数 を,PCA
培 地 での 一 般 生 菌 数 ,PDA 培 地 でのカビ・ 酵 母 数
として 評 価 した 結 果 を 示 す. 一 般 生 菌 数 で 比 較 し
ても,またカビ 数 で 比 較 した 場 合 でも, 電 圧 印 加
により, 減 少 していることがわかる.なおこの 際
の 放 電 部 の 消 費 電 力 は 1mW 以 下 ,またオゾンの
発 生 は 0.1ppm 以 下 であり, 実 用 に 耐 えうる 数 値
になっている.このほか,エチレンガスのように
果 物 の 成 熟 を 早 めるガスの 分 解 を 行 い, 混 載 輸 送
Log CFU/mL
6 Total aerobic bacterial counts
Molds and yeast counts
5
Molds counts
ND : Not detected
4
Detection limit : 10 CFU/mL
3
2
1
ND ND
0
0 1.5 3.0 4.5 6.0
Input voltage -V S [kV]
図 6 放 電 の 有 無 によるコマツナの 生 育 の 比 較
( 左 : 比 較 区 , 中 央 :バブリングのみ, 右 : 放 電 あり)
16

を 可 能 にする 装 置 にも,コロナ 放 電 などは 有 効 に
働 く.これは 農 水 省 のプロジェクトの 一 環 として
委 託 研 究 を 進 めている.
食 品 加 工 においても 果 汁 抽 出 効 率 の 改 善 や, 抽
出 時 の 成 分 の 制 御 にも,パルス 電 圧 が 利 用 できる.
図 7に,ワイン 醸 造 前 処 理 としてブドウ 表 皮 にパ
ルス 電 界 をかけた 場 合 のポリフェノール 抽 出 量 の
変 化 を 示 す. 印 加 電 界 は 40, 50, 60 kV/cm であり,
パルス 幅 は 約 140 ns であり,これを 繰 り 返 し 20
pps(pulses per second)で,30 分 間 印 加 している.
いずれの 条 件 においても, 電 圧 を 印 加 することで,
ポリフェノールの 抽 出 量 は 約 20% 増 加 している
ことがわかる. 図 8に, 出 力 電 圧 の 最 大 値 が 60 kV
時 のコントロール 区 と 実 験 区 のブドウの 皮 の 細 胞
内 写 真 を 示 す.Control 区 に 対 し, 実 験 区 の 細 胞 内
は,ポリフェノールを 含 む 色 素 が 外 へ 流 出 してい
るのが 確 認 できる.メカニズムは 電 気 穿 孔 となる.
5. 今 後 の 展 開 ;どう 技 術 を 普 及 させる
これらの 技 術 を 生 産 現 場 に 普 及 させるためには,
1) 操 作 など 簡 便 で 安 価 な 装 置 の 開 発 ,2) 導 入
事 例 を 増 やしつつ 効 果 検 証 ,3) 経 済 的 メリット
( 費 用 対 効 果 )の 改 善 ,などが 必 要 になる.キノ
コ 増 産 用 電 源 は, 現 在 2 社 から 販 売 されている.
一 例 を 図 9に 示 す.20 機 ほどがキノコ 生 産 現 場 で
用 いられている. 生 産 現 場 のデータも 増 え, 収 穫
の 時 期 が 早 まること, 平 均 的 に 1.4 倍 ( 現 場 によ
っては2 倍 以 上 )の 増 収 などが 確 認 されている.
高 価 なキノコについても, 霊 芝 を 用 いた 実 験 では,
すでに2 倍 弱 の 収 量 増 加 を 確 認 している.
かみなりキノコは, 学 術 や 農 業 生 産 への 利 用 以
外 に, 科 学 教 育 の 教 材 としての 利 用 価 値 も 高 い.
例 えば,“ 言 い 伝 えに 潜 む 科 学 ”といった 切 り 口
(2010 年 サイエンスアゴラ)や, 生 物 や 科 学 の 不
思 議 といった 切 り 口 が 可 能 である.このような 切
り 口 で, 現 在 , 全 国 で5 校 程 度 の 農 業 ・ 工 業 高 校
で, 課 題 研 究 などに 利 用 されている.また, 岩 手
や 近 隣 県 でのサイエンス 教 室 や, 小 中 高 校 への 出
前 授 業 ( 今 年 度 は 20 回 程 度 実 施 )でも 好 評 で,そ
の 様 子 はテレビ 放 映 もされている.イベントの 様
子 を 図 10 に 示 す.
最 後 に, 本 研 究 は, 多 くの 教 育 ・ 研 究 機 関 , 企
業 や NPO の 方 々と,いっしょに 取 り 組 んでいま
す. 本 研 究 を 支 えてくださっている 多 くの 方 々に,
この 場 をお 借 りして, 深 く 謝 意 を 表 します.
40 50 60
Electric field [kV/cm]
図 7 印 加 電 界 に 対 する 未 処 理 溶 液 (Control)と
電 界 印 加 溶 液 (PEF)のポリフェノール 抽 出 量 の 比 較
図 9 友 信 工 機 ( 株 ) 製 のキノコ 刺 激 用 電 源
盛 岡 市 こども 科 学 館
図 8 パルス 電 界 の 印 加 の 有 無 によるブドウ 皮 の 細 胞 の 光
学 顕 微 鏡 画 の 比 較 ( 左 : 印 加 なし, 右 :60kV 印 加 )
図 10 盛 岡 市 こども 科 学 館 でのサイエンスショー
17

海 外 の 研 究 事 情 (その33)
連 合 王 国 ケンブリッジ 滞 在 記
九 州 大 学 堤 井 君 元
はじめに
2006 年 6 月 から 2007 年 3 月 まで、イギリスの
ケンブリッジ 大 学 (University of Cambridge)に 留
学 しました。 今 頃 になってその 滞 在 記 を 書 く 機 会
を 頂 戴 しましたが、 記 憶 が 薄 れていること、 当 時
とはだいぶヨーロッパの 経 済 事 情 が 異 なることを
ご 了 承 下 さい。
元 来 、 文 科 省 の 在 外 研 究 員 制 度 へ 応 募 するつも
りでしたが、その 制 度 自 体 が 廃 止 されたため、そ
れに 替 わる 文 科 省 「 海 外 先 進 研 究 実 践 支 援 」に 応
募 し、 採 択 されました。 採 択 通 知 が 4 月 、 開 始 年
度 の 3 月 末 までに 帰 国 することが 条 件 でした。 担
当 講 義 をキャンセルできなかったので、 約 10 ヶ 月
の 間 、Visiting Researcher として 短 期 留 学 をしまし
た。
住 居 探 し
大 学 関 係 者 の 退 去 シーズンは 通 常 7 月 ですが、
その 少 し 前 の 5 月 末 にケンブリッジへ 到 着 したた
め、 住 居 探 しは 困 難 を 極 めました。 一 方 7 月 以 降
の 家 探 しは 容 易 です。それまでの 二 ヶ 月 は 転 々と
移 り 住 みました。
最 初 に、あるカレッジのゲストハウスに 滞 在 し
ました。 寝 室 とシャワーのみで、 食 事 もほぼ 外 食
となりましたが、 花 々に 囲 まれた 美 しい 寮 舎 で 学
寮 生 活 を 間 近 にして 過 ごせました。ケンブリッジ
の 学 生 生 活 は 独 特 なスタイルなので、これは 得 が
たい 体 験 でした。
続 いて、やや 郊 外 にある 瀟 洒 なアパートの 一 室
を 間 借 りしました。 簡 素 で 経 済 的 で、 英 語 も 上 達
する 環 境 でしたが、 生 活 のすべてのものを 家 主 に
貸 してもらう 状 況 に 気 疲 れしてしまい、 早 々に 次
へ 移 りました。
その 後 、 別 のカレッジのゲストハウスに 滞 在 し、
キッチン・ 洗 濯 機 が 共 同 の 生 活 を 経 て、7 月 下 旬
にようやくケンブリッジ 大 学 教 職 員 住 宅 に 入 居 す
ることが 出 来 ました。ここは 6 月 末 から 徐 々に 空
きがでます。それ 以 外 にも 不 動 産 屋 を 介 して 郊 外
のアパートを 見 に 行 ったり、 日 本 人 のキレイ 好 き
を 当 てこんで、 年 代 物 のお 宅 を 留 守 番 代 わりに 貸
すという 話 があったりで、 様 々な 物 件 がありまし
たが、 教 職 員 住 宅 は 管 理 人 が 常 駐 していること、
担 当 職 員 がいること、 広 さに 対 して 家 賃 が 安 いこ
とが 決 め 手 でした。ケンブリッジの 家 賃 は 一 般 に
高 いです。イギリスでは、 家 賃 の 他 に 住 民 税 のよ
うなもの(Council Tax)が 発 生 するので、その
確 認 も 必 要 です。
Accommodation Service が 大 学 の 事 務 局 にあり、
住 居 の 斡 旋 を 受 けられます。 大 学 所 有 の 複 数 の 住
宅 のほか、 民 間 のアパートや 一 戸 建 ても 紹 介 して
もらえます。 日 本 出 発 前 にEメールで 手 続 きを 進
められますが、 私 の 場 合 、 時 期 的 に 良 い 物 件 がな
く、 到 着 後 に 粘 り 強 くスタッフと 交 渉 することに
なりました。 大 学 を 通 して 物 件 のオーナーと 連 絡
を 取 り、 契 約 を 進 めるには 携 帯 電 話 が 必 須 です。
契 約 に 際 しては、 大 抵 当 地 の 銀 行 口 座 を 求 められ
ます。 私 は 速 やかに 口 座 を 開 くために、 大 学 から
紹 介 状 を 用 意 してもらいました。 民 間 の 不 動 産 屋
の 利 用 は、 一 般 に 高 くつくうえ、 交 渉 や 契 約 手 続
きが 難 解 でした。インターネット 上 のクチコミも
役 立 ちました。
日 常 生 活
当 時 は1ポンド= 約 240 円 でしたので、 物 価 は
とても 高 く 感 じました。 現 地 では1ポンド=1 米
ドルの 感 覚 のようです。 日 常 生 活 全 般 は 住 居 探 し
に 比 べれば 楽 でした。 物 品 は 急 いで 買 わず、 日 本
からさほど 持 って 行 かなくても 事 足 りました。ケ
ンブリッジは 歩 くか、 自 転 車 で 用 の 済 む 街 です。
入 居 した 教 職 員 住 宅 は 街 の 北 西 部 に 位 置 し、 路 線
バスも 本 数 が 少 なかったですが、 日 ごろはすぐ 隣
の 敷 地 にある 大 学 の 研 究 室 に 通 うので 不 便 とは 思
18

図 1 ケンブリッジ 市 街 の 風 景
図 2 ケム 川 の 風 景
いませんでした。 週 末 は 自 転 車 で 郊 外 のスーパー
へ 買 い 物 に 行 きました。7 月 頃 には 退 去 者 の 不 用
品 のセールが 教 職 員 住 宅 の 掲 示 板 に 載 りますので、
自 転 車 や 電 化 製 品 を 安 値 で 譲 ってもらいました。
食 品 については、 米 、 和 風 調 味 料 、 薄 切 り 肉 、
豆 腐 などを 韓 国 系 の 店 で 購 入 していました。Mill
Road という 通 りの「ソウルプラザ」という 店 でし
たが、 現 在 も 営 業 しているようです。 街 中 には 大
きなショッピングモールが 二 つもありましたが、
品 物 を 増 やせない 身 としては、ウィンドウショッ
ピングに 時 間 を 費 やす 程 度 でした。ロンドンへ 日
帰 りが 可 能 なので、 買 出 しや 米 飯 の 外 食 がしたい
ときは、 日 本 食 料 品 店 やチャイナタウンへ 足 を 延
ばしました。
ケンブリッジの 水 道 水 は 石 灰 質 を 多 く 含 む 水 で、
そのままでは 飲 みにくいため、 飲 料 水 を 買 ってい
ました。またお 湯 は、 給 湯 器 のタンク 容 量 が 風 呂
好 きの 日 本 人 にはやや 小 さいです。 夜 間 電 力 をタ
イマーで 管 理 して 使 うよう 勧 められましたが、 手
動 スイッチで 必 要 な 都 度 使 って 不 便 を 感 じません
でした。 共 同 生 活 の 場 合 は、 他 の 人 より 湯 を 多 く
使 いがちなので 配 慮 が 必 要 です。
研 究 生 活
ケンブリッジ 大 学 には、アモルファスカーボン
とダイヤモンドの 分 野 で 著 名 な 三 名 の 研 究 者 、す
なわち Prof. Bill Milne、Prof. Gehan Amaratunga、
Prof. John Robertson がいます。 以 前 から 三 名 がト
ロイカ 体 制 でグループ 運 営 をしていましたが、 私
の 留 学 の 少 し 前 に、ラマン 分 光 で 有 名 な Dr.
Andrea Ferrari が 加 わりました。 私 は Robertson 教
授 に、 持 参 できる 研 究 費 は 無 いことを 伝 えたうえ
で、ホストを 依 頼 し、 快 諾 していただきました。
ちなみにケンブリッジ 大 学 からは、 授 業 料 相 当 分
の 支 払 いを 要 求 されましたが、Robertson 教 授 の 取
り 計 らいで 免 除 してもらいました。
Robertson 教 授 の 所 属 する Electronic Devices and
Materials Group, Electrical Engineering Division,
Department of Engineering は、 当 初 ケンブリッジ 大
学 中 心 部 Trumpington Street の 古 い 校 舎 にあると
聞 いていたのですが、 訪 問 してみるとその 校 舎 は
もぬけの 殻 となっており、 街 外 れの JJ Thomson
Avenue の 新 しい 校 舎 “Center for Advanced
Photonics and Electronics(CAPE)”に 移 転 したばか
りでした。CAPE にはいくつかの 研 究 グループが
入 居 しており、 共 同 でクリーンルームを 運 営 し、
セミナー 等 を 開 催 していました。 校 舎 内 にはクリ
ーンルームを 管 理 する 技 術 スタッフが 五 名 ほどお
り、 安 全 管 理 や 機 器 管 理 を 一 括 して 行 っていまし
た。 教 員 自 らが 機 器 の 組 み 立 てや 修 理 をする 大 半
の 日 本 の 大 学 とは 大 違 いです。CAPE に 学 生 は 150
人 ほどいましたが、 半 分 強 は Ph.D. 候 補 生 です。
出 身 別 では、 中 国 が 約 4 割 、イタリアが 約 2 割 、
東 欧 ・ 中 欧 が 約 1 割 、インドが 約 1 割 、 残 りはイ
ギリス(いわゆるアングロサクソン 人 など)、ロシ
ア、 韓 国 など、 日 本 は 私 一 人 でした。なお CAPE
の 隣 には 情 報 系 研 究 グループの 校 舎 があり(うち
ひとつは Bill Gates Building)、イギリスや 北 欧 の
19

を 無 事 発 表 することが 出 来 ました。この 場 を 借 り
て 両 先 生 に 改 めてお 礼 申 し 上 げます。
図 3 CAPE の 前 に 佇 む 筆 者
学 生 が 多 く、 女 子 学 生 の 比 率 も 高 いことが 特 徴 的
でした。
Roberson 教 授 のグループは、 長 らくアモルファ
スカーボンやシリコン 膜 に 関 する 研 究 を 行 ってい
ましたが、2000 年 代 以 降 はカーボンやシリコンの
ナノ 構 造 体 の 研 究 にシフトしていました。 私 はプ
ラズマを 利 用 したナノ 構 造 体 の 形 成 に 取 り 組 みま
したが、 諸 々の 事 情 で 期 待 したような 結 果 成 果 が
得 られませんでした。 時 間 がないので 途 中 から 方
針 を 転 換 し、 物 性 評 価 にも 取 り 組 みました。 一 つ
は 電 界 放 出 です。 丁 度 イギリスに 来 る 前 、 品 質 の
良 い 立 方 晶 窒 化 ホウ 素 の 形 成 に 成 功 していたので、
その 電 界 放 出 特 性 について 調 べました。もう 一 つ
は 紫 外 線 ラマン 分 光 です。Ferrari 講 師 ( 当 時 )に
依 頼 し、リーズ 大 学 にてナノダイヤモンドの 紫 外
線 ラマン 分 光 を 測 定 させてもらいました。その 後 、
両 先 生 の 支 援 を 受 けることで、それらの 研 究 成 果
むすび
約 10 ヶ 月 の 短 期 間 でしたが、 日 本 の 大 学 の 職 務
を 離 れて、 研 究 に 打 ち 込 めるのは 大 変 貴 重 な 体 験
でした。とは 言 うものの、 日 本 に 数 名 の 指 導 学 生
を 残 していたので、トラブルが 気 がかりで 完 全 に
離 れることはできませんでしたが。 朝 から 夜 まで、
月 曜 日 から 週 末 まで、 時 間 があっという 間 に 過 ぎ
ました。サッカーのワールドカップを、CAPE 内
の 大 型 テレビで 大 騒 ぎしながら 観 たのはいい 思 い
出 です。 指 導 学 生 がいない 若 いうちに 行 くのも 良
いですが、ある 程 度 将 来 の 研 究 方 向 が 定 まってか
ら 行 くのも 良 いと 思 います。
ケンブリッジ 大 学 は、 世 界 中 から 学 生 や 研 究 者 、
そしてその 家 族 も 含 めて 大 勢 受 け 入 れていますの
で、 多 くの 催 しがあり、 好 奇 心 さえあれば 交 流 に
事 欠 かないと 思 います。また、 大 学 以 外 にも、 教
会 、 日 本 人 会 などの 交 流 会 も 多 く、 各 所 の 掲 示 板
などで 催 しが 告 知 されていました。 家 族 連 れでも
安 心 して 暮 らせる 街 です。
ケム 川 を 挟 んで、 由 緒 あるカレッジとチャペル
が 立 ち 並 ぶ 石 畳 の 街 は、 荘 厳 で 美 しいです。 多 く
の 緑 に 囲 まれ、 騒 がしい 車 も 少 ないです。 生 活 は
日 本 よりも 少 し 不 便 ですが、 静 かで、その 簡 素 さ
が 心 地 良 いです。 日 常 の 雑 事 から 少 し 逃 れて、 研
究 や 自 分 に 向 き 合 うことができます。 静 かな 古 い
街 並 に、 若 い 学 生 と、 世 界 中 から 来 た 研 究 者 が 醸
す 不 思 議 な 活 気 が 流 れます。 素 晴 らしい 経 験 がで
きるでしょう。
20

学 生 のためのページ
すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクス
反 応 性 イオンエッチング
新 潟 大 学 安 部 隆
反 応 性 イオンエッチング(Reactive Ion
Etching : RIE) 法 は、 大 規 模 集 積 回 路 (Large
Scale Integration : LSI) 分 野 や 微 小 電 気 機 械
システム(Micro Electro Mechanical Systems :
MEMS) 分 野 などの 微 細 加 工 において 特 に 正 確 に
凹 凸 を 作 る 必 要 性 があるプロセスに 採 用 されてい
る。この RIE 法 の 本 質 を 理 解 しうまく 使 いこなせ
ることは、 卒 業 研 究 において RIE を 利 用 して、こ
れらの 分 野 のセンサ・デバイスの 研 究 をするため
だけでなく、 将 来 、 会 社 で 生 産 やプロセス 装 置 の
開 発 の 現 場 に 従 事 する 上 でもとても 重 要 である。
本 稿 では, 上 記 の 分 野 の 学 生 だけでなく 本 法 を 利
用 して 微 細 加 工 を 行 っている 幅 広 い 分 野 の 学 生 を
対 象 に、 数 式 や 専 門 的 な 用 語 を 用 いずに 初 等 力 学
レベルの 知 識 で 理 解 できるようにその 原 理 と 利 用
例 についての 解 説 を 試 みる。
1. RIE の 基 本 的 構 成
1.1 RIE 装 置
RIE 法 1)は、ガスをプラズマ( 電 離 気 体 )、 光 あ
るいはイオンビームで 活 性 化 ( 励 起 )させエッチ
ングを 行 う 種 々のドライエッチング 法 の 中 でプラ
ズマエッチング 法 として 大 別 されている。 特 に、
このプラズマエッチング 法 において、ウェハ( 被
加 工 材 )を 負 の 電 位 とし、プラズマ 中 に 含 まれる
ハロゲン 化 物 イオンなどのイオンをウェハに 垂 直
に 入 射 させて 行 うエッチング 法 のことを RIE と
定 義 している。 本 法 は、プラズマ 中 で 発 生 したラ
ジカルの 被 加 工 材 への 吸 着 による 表 面 での 化 学 的
なエッチング 作 用 と 負 電 位 で 加 速 されたイオンに
よる 物 理 的 なエッチング 作 用 が 相 乗 した 効 果 を 特
徴 として 持 つ( 図 1)。ゆえに、 正 確 に 希 望 の 凹 凸
形 状 に 制 御 するためには、これらの 効 果 のバラン
スを 科 学 する 視 点 が 不 可 欠 である。 図 2 に 代 表 的
な RIE 装 置 の 構 成 図 を 示 す。 反 応 容 器 の 中 に 一 対
の 平 行 電 極 を 配 置 し、 片 方 を 接 地 し、 他 方 の 電 極
にコンデンサーを 介 して 高 周 波 電 圧 を 印 加 できる
構 成 である。 図 に 示 すように 接 地 された 反 応 容 器
自 体 が 電 極 の 場 合 もある。 減 圧 した 反 応 容 器 中 に
ガスを 導 入 し 高 周 波 を 印 加 させて 放 電 すると、コ
ンデンサー 部 では 高 周 波 の 周 波 数 に 対 応 した 電 界
方 向 の 変 化 によりコンデンサー 中 の 電 子 が 充 放 電
を 繰 り 返 すことになる。ここで、コンデンサーの
放 電 時 間 及 びイオンの 応 答 速 度 ( 詳 しくは 1.2 節
参 照 )よりも 早 いサイクルの 高 周 波 電 源 ( 例 えば、
13.56 MHz)を 使 用 するとコンデンサーは 常 に 負
電 位 の 状 態 になる。つまり、このコンデンサーと
直 結 した 陰 極 には 正 電 荷 を 有 するイオンが 加 速 し
衝 突 し 電 極 上 にあるウェハのエッチングが 進 行 す
ることになる。アース 電 位 に 対 して 直 流 成 分 の 電
位 差 のことを 自 己 バイアス 電 位 と 呼 んでいる。こ
の 自 己 バイアス 電 位 は 前 述 のエッチングの 物 理 的
効 果 と 化 学 的 な 効 果 を 制 御 する 重 要 な 因 子 の 一 つ
である。
図 1 RIE の 基 本 的 機 構
21

図 2 典 型 的 な RIE 装 置 の 構 成 図
1.2 RIE の 代 表 的 なプラズマ 源
前 節 でご 紹 介 した 装 置 構 成 は、 平 行 平 板 型 RIE
装 置 と 呼 ばれており、 最 も 代 表 的 なエッチング 装
置 である。 図 3 に 反 応 性 イオンエッチングに 採 用
されているその 他 の 代 表 的 なプラズマ 源 を 示 す。
平 行 平 板 プラズマ(Capacitively Coupled
Plasma : CCP) 1) に 加 えて、マグネトロンプラズマ
(Magnetron Plasma) 2) 、 電 子 サイクロトロン 共 鳴
(Electron-Cyclotron- Resonance : ECR)プラズマ
3) 、 誘 導 結 合 プラズマ(Inductively Coupled
Plasma : ICP) 4) が 代 表 的 なプラズマ 源 として 有
名 である。その 他 にはヘリコン 波 プラズマや 表 面
波 プラズマなどが 知 られている。
図 3 代 表 的 なプラズマ 源 (a) マグネトロン
(b) ECR (c) ICP
マグネトロンプラズマの 基 本 構 成 は 平 行 平 板 型 が
ベースである 場 合 が 多 い。 磁 力 線 により 荷 電 粒 子
を 閉 じ 込 める 効 果 によりプラズマが 高 密 度 化 し
CCP よりも 低 圧 力 下 ( 数 十 mtorr)でも 放 電 が 安 定
になる 特 徴 がある。これは、 低 圧 力 下 ではガスの
平 均 自 由 行 程 が 長 くなるために 衝 突 確 率 が 低 下 し
電 離 し 難 くなるが、 荷 電 粒 子 は、 磁 力 線 の 周 りを
回 転 運 動 するために 衝 突 確 率 が 高 くなり 放 電 しや
すくなるためである。マグネトロン RIE は 簡 単 な
装 置 構 成 で 中 程 度 の 高 密 度 なプラズマ(10 10 cm -3
程 度 )を 実 現 できる。ECR プラズマは、 磁 界 の 存
在 下 で 電 子 のサイクロトロン 周 波 数 に 相 当 する
GHz 帯 のマイクロ 波 を 照 射 し 電 子 を 円 運 動 させ
てイオンに 衝 突 させて 生 成 させるプラズマである。
プラズマ 中 のイオンと 電 子 ( 陽 子 の 約 1836 分 の 1
の 質 量 )は、その 質 量 が 少 なくとも 三 桁 、イオン 種
によっては 四 桁 以 上 異 なる。 高 周 波 中 の 荷 電 粒 子
の 運 動 エネルギーは 周 波 数 の 自 乗 と 質 量 に 反 比 例
するため、イオンと 電 子 では 加 速 され 追 従 できる
周 波 数 帯 が 大 きく 異 なる。 追 従 できる 周 波 数 の 限
界 は、イオンは 数 MHz ( 当 然 ながらイオン 種 に 依
存 )であるが、 電 子 は 約 GHz( 磁 場 が 0.875T では
2.45 GHz)で 大 きな 違 いがある。このような 特 徴
を 利 用 すれば、 異 なる 周 波 数 帯 の 高 周 波 を 印 加 す
る 箇 所 を 空 間 的 に 分 離 することでイオンと 電 子 を
別 々に 選 択 しそのエネルギーを 制 御 することがで
きる。なお、 使 用 する 電 源 の 周 波 数 は 電 波 法 で 制
限 があるために 何 でも 使 用 してよい 訳 ではなく、
ISM(Industry-Science-Medical)バンドと 言 われ
る 産 業 ・ 科 学 ・ 医 療 分 野 で 汎 用 的 に 割 り 当 てられ
た 周 波 数 の 電 源 を 使 用 することが 多 い。
ECR プラズマでは、イオンを 引 き 込 む 部 分 (セル
フバイアスを 制 御 する 部 分 )とプラズマを 生 成 す
る 部 分 が 空 間 的 に 分 離 しているために 制 御 性 に 優
れている。しかし、 大 きな 電 磁 石 と 冷 却 機 器 を 使
用 するなど 装 置 が 大 型 化 する 問 題 がある。 最 近 は、
永 久 磁 石 を 用 いた 小 型 の 装 置 も 市 販 されている。
ICP は、プラズマ 生 成 部 に、 誘 導 コイルを 使 用 し
ており、コイルの 周 期 的 な 電 界 の 変 化 に 対 応 した
電 磁 誘 導 によりプラズマ 中 の 電 子 が 加 速 されて 放
電 するプラズマである。ICP を 用 いた RIE も、イ
オンを 引 き 込 む 部 分 が 独 立 であり 制 御 性 に 優 れて
いる。 本 プラズマは、 誘 導 コイルを 設 置 するだけ
22

で、 小 型 でかつ 高 密 度 なプラズマ(10 11 cm -3 )が 発 生
できるために、 新 分 野 の MEMS などでも 高 速 エ
ッチング 加 工 に 多 用 されている(2 章 参 照 )。
1.3 RIE を 制 御 する 因 子 とその 効 果
RIE を 制 御 する 因 子 とその 効 果 を 理 解 すること
は 生 産 の 現 場 で 特 に 重 要 である。センサ・デバイ
スの 性 能 を 左 右 するエッチング 不 良 は 量 産 中 に 発
生 することもあり 迅 速 な 対 応 が 求 められるためで
ある。また、 新 規 材 料 のプロセスの 開 発 において
も 研 究 指 針 を 決 定 する 上 で 重 要 である。この 場 合
は、 被 加 工 材 に 対 して 揮 発 性 の 反 応 生 成 物 を 生 成
するか 否 かが 重 要 である。RIE を 制 御 するための
代 表 的 な 因 子 は、 真 空 度 、セルフバイアス 電 圧 (イ
オンを 引 き 込 む 電 極 の 電 源 パワー)、 温 度 ( 反 応 生
成 物 の 蒸 気 圧 と 関 連 )、プラズマ 密 度 ( 生 成 部 電 源
のパワー)、ガス 流 量 および 排 気 特 性 である。それ
ぞれの 効 果 は、 装 置 定 数 に 依 存 するために 定 量 的
な 議 論 が 不 可 能 である。ここでは、 定 性 的 にその
効 果 について 解 説 する。
真 空 度 は、 平 均 自 由 工 程 と 物 理 的 なエッチング 効
果 により、 加 工 断 面 形 状 の 垂 直 性 や 被 加 工 面 粗 さ、
マスク 材 料 との 選 択 比 とそれに 伴 う 形 状 変 化 など
と 関 連 してくる 因 子 である。エッチング 速 度 につ
いては、 酸 化 物 のような 物 理 的 な 効 果 が 重 要 な 材
料 の 場 合 は、バイアスがなくても 自 発 的 にエッチ
ングが 進 むシリコンのような 材 料 と 比 較 し、 低 圧
側 でエッチング 速 度 のピークがある。
セルフバイアス 電 圧 は、イオンのエネルギーを 高
め、 化 学 的 なエッチング 効 果 との 相 乗 作 用 により
エッチング 速 度 および 選 択 比 の 向 上 とつながる 因
子 である。しかし、 高 すぎる 場 合 は、エッチング
速 度 は 高 くなるが、 物 理 的 なエッチング 効 果 によ
り、 選 択 比 低 下 とそれによるマスク 材 の 端 面 の 後
退 により 加 工 断 面 形 状 がテーパ 形 状 になるなどの
課 題 が 発 生 する。また、 急 激 な 温 度 上 昇 により、
ウェハと 熱 膨 張 係 数 の 大 きく 違 うマスク 材 料 を 用
いた 場 合 には 亀 裂 が 入 ることもある。このような
課 題 に 加 えて、ウェハの 冷 却 能 を 考 慮 して 印 加 す
る 高 周 波 電 圧 の 上 限 を 決 定 しないと 陰 極 周 辺 を 構
成 する 材 料 の 熱 膨 張 係 数 の 違 いにより 部 品 が 破 損
する 場 合 もあるので 注 意 すべきである。
温 度 は、 被 加 工 材 の 反 応 生 成 物 の 蒸 気 圧 によって
は 特 に 重 要 な 因 子 である。LSI や MEMS のウェ
ハプロセスでは、Si や SiO2 が 代 表 的 な 被 加 工 材
であるために、これらと 揮 発 性 のガスを 生 成 する
ハロゲン 化 合 物 が 使 用 される。CF4 や SF6 のよう
なエッチングガスを 用 いたフッ 素 プラズマによる
Si のエッチングでは、-90℃ 以 下 まで 冷 却 しない
限 り 等 方 的 なエッチング 効 果 によりマスク 下 のア
ンダーエッチが 入 る 5) 。これを 防 ぐには、 例 えば、
C4F8, C3F8, CHF3 ガスのような 反 応 生 成 物 とし
てテフロン 系 の 高 分 子 が 発 生 するガスを 単 独 ある
いは 添 加 することで 側 面 を 保 護 し 方 向 性 ( 異 方 性 )
のある 加 工 を 行 うことができる。 当 然 ながら、 側
面 保 護 膜 が 形 成 される 場 合 は、 加 工 断 面 のテーパ
形 状 が 温 度 に 依 存 する。
プラズマ 密 度 は、プラズマ 源 の 選 定 で 大 きく 左 右
される 因 子 である。しかし、 同 じプラズマ 源 を 使
用 しても 条 件 や 使 い 方 によっては 効 果 的 に 放 電 さ
れていない 場 合 もある。ICP や ECR プラズマを
使 用 するとプラズマ 密 度 が 平 行 平 板 と 比 較 し 二 桁
程 度 高 い 値 (10 11 cm -3 )となることが 知 られている。
これらのプラズマを 有 効 に 扱 うには 圧 力 の 最 適 化
も 重 要 である。 数 mtorr 程 度 の 低 圧 下 でも 安 定 に
放 電 できるために MEMS 分 野 で 重 要 な 高 アスペ
クト 比 を 持 つパターンや LSI 分 野 で 重 要 な 1μm
以 下 の 微 細 なパターンの 加 工 に 適 している。ICP
では、 誘 導 コイルに 流 す 高 周 波 電 源 と 自 己 バイア
ス 電 圧 を 制 御 可 能 とするウェハに 印 加 する 高 周 波
電 源 の 周 波 数 が 同 一 の 場 合 は 位 相 整 合 が 放 電 の 安
定 性 で 重 要 である。これは、 一 方 の 電 源 周 波 数 自
体 を 他 方 と 変 えることでも 解 決 できる。 本 プラズ
マでは、 誘 導 コイルに 流 す 電 力 を 調 整 することで
自 己 バイアス 電 圧 とは 独 立 に 制 御 可 能 な 高 密 度 プ
ラズマを 実 現 できる。
ガス 流 量 は、 排 気 特 性 とも 密 接 に 関 係 した 因 子 で
ある。プラズマ 中 には、 電 離 で 発 生 したラジカル、
イオン 以 外 に 電 離 していないガスも 存 在 する。ガ
ス 流 量 の 増 加 は、ラジカル、イオンの 増 加 により
高 エッチング 速 度 となるが、 希 釈 する 効 果 もあり
最 適 値 が 存 在 する。また、 排 気 特 性 の 悪 い 装 置 で
は、 同 じガス 流 量 でも、 反 応 生 成 物 の 滞 留 時 間 が
長 くなり、ウェハへの 再 付 着 により、マイクログ
ラス 生 成 による 表 面 粗 さの 増 加 、エッチング 速 度
の 低 下 などの 現 象 が 発 生 する。 壁 面 や 被 加 工 材 に
23

残 留 した 水 分 子 などの 吸 着 ガスの 影 響 も 無 視 でき
ない。 以 上 に 述 べたように、ガス 流 量 だけの 因 子
で 説 明 できない 現 象 が 発 生 する。エッチング 量 が
数 百 μm も 必 要 とする 場 合 もある MEMS 分 野 で
は、 排 気 特 性 はデバイス 加 工 時 間 、 加 工 形 状 の 再
現 性 に 関 わる 重 要 な 因 子 である。
2. RIE の 利 用 例
2.1 半 導 体 プロセスへの 利 用
半 導 体 プロセスでの 基 本 的 な 被 加 工 材 料 は、 半 導
体 材 料 (Si、Poly-Si)、 絶 縁 膜 材 料 (SiO2、Si3N4
など)および 配 線 用 金 属 材 料 (Al、Cu など)であ
る。これらの 材 料 の 直 接 加 工 あるいは 化 学 機 械 研
磨 (CMP)などの 工 程 で 埋 め 込 むトレンチ 形 成 な
どの 間 接 加 工 において RIE の 原 子 レベルでの 制
御 性 が 活 躍 している。 半 導 体 材 料 の 加 工 において
は、これらの 材 料 と 揮 発 性 の 生 成 物 を 発 生 する
CF4 などが 使 用 されている。 絶 縁 膜 材 料 では、
CHF3などの Si 上 で 堆 積 膜 を 形 成 するガスが 使 用
される 場 合 が 多 い。これは、 下 地 Si やマスク 材 料
との 選 択 性 が 要 求 されることが 多 いためである。
CHF3 プラズマは、H を 含 み C-C 結 合 を 形 成 しや
すいために 高 分 子 を 形 成 し 被 加 工 材 上 に 堆 積 する。
この 堆 積 物 は SiO2 上 では 酸 化 され 保 護 膜 となら
ないが Si 上 では 保 護 膜 となり 高 い 選 択 性 が 得 ら
は 単 独 ガスだけが 使 用 される 場 合 もあるが 反 応 系
をより 精 密 に 制 御 するために Ar や H2などを 添 加
することも 多 い。 特 に、PZT、ZnO などの 難 加 工
性 の 機 能 性 材 料 の 加 工 や 特 に 選 択 比 を 高 くする 必
要 がある 加 工 では、 多 成 分 のガスを 使 用 しその 割
合 調 整 で 最 適 化 する 取 り 組 みが 数 多 く 行 われてい
る。
2.2 Si-MEMS プロセスへの 利 用
MEMS プロセスは、 表 面 マイクロマシニング
とバルクマイクロマシニングの 二 つに 大 別 されて
いる( 図 4) 8) 。 表 面 マイクロマシニングは、 加 速 度
センサや 振 動 ジャイロに 代 表 される 構 造 体 の 厚 さ
が 数 μm 程 度 の 機 械 要 素 からなるデバイス 作 製
の 代 表 的 手 法 であり、LSI プロセスと 共 通 なプロ
セスが 多 く、 制 御 要 素 である LSI との 集 積 化 の 点
でも 優 れている。 基 本 的 な 材 料 として Si が 入 手 性 、
機 械 特 性 及 び LSI の 加 工 技 術 を 転 用 できるなどの
観 点 から 使 用 されている。 本 手 法 の 作 製 プロセス
は、 高 温 で 熱 処 理 し 応 力 緩 和 した 絶 縁 膜 上 のシリ
コンを 微 細 加 工 し、 絶 縁 膜 を 部 分 的 に 除 去 ( 犠 牲
層 エッチング)することで、 可 動 構 造 、 振 動 子 な
どからなる 機 械 的 要 素 のマイクロ 構 造 体 を 形 成 す
ることができる。Texas Instruments 社 のデジタ
ルミラーデバイスや Analog Devices 社 の 加 速 度
センサなどの 成 功 例 が 知 られている。
れる 6) 。 同 様 の 効 果 は、CF4 などにおいても H2
を 添 加 することによって 得 られる。H が 存 在 しな
くても F/C の 比 が 低 く 高 分 子 となりやすい C3F6
や C4F8 を 利 用 しても 選 択 性 が 向 上 することが 知
られている 7) 。なお、 絶 縁 膜 上 の Si を 選 択 的 に 加
工 する 場 合 は、ある 程 度 の 選 択 性 は 容 易 に 得 られ
るが 特 に 高 選 択 性 が 要 求 される 場 合 は HBr など
を 使 用 する。 金 属 材 料 では、SiCl4、Cl2、BCl3 や
HBr などが 使 用 される。これらのエッチングガス
を 使 用 しても 反 応 生 成 物 の 揮 発 性 が 低 いためにエ
ッチング 時 の 温 度 を 高 温 にする 場 合 が 多 い。なお、
RIE での 配 線 加 工 において 塩 素 系 ガスの 使 用 はそ
の 加 工 性 の 面 、 安 全 面 や 装 置 負 荷 の 面 で 望 ましく
ないために 下 地 材 料 をフッ 素 系 エッチングガスに
よる RIE で 加 工 し、 金 属 材 料 を 堆 積 し、CMP で
仕 上 げる 方 法 が 開 発 されている。エッチングガス
図 4 表 面 マイクロマシニング(a)とバルクマイ
クロマシニング(b)
バルクマイクロマシニングは、 十 μm から 時 に
は 数 百 μm のウェハを 貫 通 加 工 したバルク 構 造
24

体 を 作 製 する 技 術 であり、 比 較 的 に 加 工 性 の 優 れ
た Si でも 通 常 の RIE 技 術 では 加 工 が 困 難 である。
従 って、 従 来 は、 湿 式 の 結 晶 異 方 性 エッチング 技
術 が 使 用 されてきた。 近 年 、MEMS 特 有 の RIE
プロセスとそれに 対 応 した 装 置 が 開 発 され 使 用 さ
れるようになってきた。この 特 有 の 技 術 が、 深 掘
り 反 応 性 イオンエッチング(Deep Reactive Ion
Etching : DRIE) 法 と 呼 ばれる 手 法 であり、バル
ク 加 工 に 必 要 な 高 速 エッチング、 高 選 択 比 そして
高 アスペクト 形 状 を 実 現 する 手 法 である。DRIE
で 採 用 されている 手 法 は 大 きく 分 けて3つある。
最 も 代 表 的 な 手 法 が Boschプロセスと 呼 ばれる 手
法 であり、 保 護 膜 堆 積 用 (C4F8)とエッチング 用
(SF6)のガスを 時 間 的 に 交 互 に 切 り 替 えて 反 応 容
器 に 導 入 しプラズマを 発 生 する 技 術 である 9) 。 図
5 にそのエッチングのプロセスを 示 す。1.3 節 で
述 べたように Si との 反 応 生 成 物 は 揮 発 性 が 高 く
常 温 では 等 方 的 なエッチングを 示 す。このままで
は、 方 向 性 ( 被 加 工 面 に 対 して 法 線 方 向 )のある
加 工 は 不 可 能 であるが、まず、 次 のサイクルで 保
護 膜 となるフルオロカーボン 膜 を 堆 積 させる 工 程
を 導 入 することで 被 加 工 材 全 面 に 保 護 膜 を 形 成 し、
さらにその 次 のプロセスで 下 面 の 保 護 膜 だけが 選
択 的 に 除 去 されることで 方 向 性 のある 加 工 が 実 現
できる。 本 エッチングでは、 低 圧 でプロセスが 行
われているので、イオンビームは 側 面 でなく 電 界
方 向 が 法 線 となる 底 面 に 選 択 的 に 照 射 されイオン
アシストによるエッチングが 進 行 する。
図 5 Bosch プロセスの 概 略 図 ( 文 献 10より)
その 他 の 手 法 として、エッチング 用 ガスである
SF6だけを 使 用 し Si ウェハを 冷 却 して DRIE を 実
現 する 手 法 、 保 護 膜 形 成 用 ガスと 混 合 してその 割
合 を 調 整 することで 垂 直 形 状 を 実 現 する 手 法 が 知
られている。 冷 却 する 手 法 は、Si との 反 応 生 成 物
の 蒸 気 圧 に 着 目 した 技 術 で LSI プロセスの 研 究 に
おいて 既 知 の 技 術 である。この 方 法 では、ウェハ
の 温 度 を-90℃ 以 下 まで 冷 却 する 必 要 があり、 冷 却
機 構 やウェハの 出 し 入 れに 時 間 を 要 するなど 実 用
面 で 不 都 合 が 多 い。
DRIE で 作 製 する 形 状 には、アスペクトが 50
を 超 えるような 場 合 もあり、さらには 同 一 ウェハ
内 で 多 様 なサイズのパターンの 同 時 形 成 が 求 めら
れる 場 合 もあることから DRIE プロセスの 再 現 性
の 維 持 はとても 難 しい。 特 に、 加 工 プロセスのメ
カニズムに 密 接 に 関 与 している 有 機 材 料 のフルオ
ロカーボンの 形 成 とそのエッチング 耐 性 は、 無 機
材 料 と 比 較 し 反 応 性 が 高 く 温 度 に 敏 感 であるため、
ウェハの 冷 却 ( 貼 付 けの 良 否 も 含 む)や 反 応 容 器
の 温 度 制 御 がとても 重 要 になる。また、 高 アスペ
クト 比 を 持 つことから 予 想 されるように 小 さな 孔
を 加 工 する 場 合 に 見 られるマイクロローディング
効 果 も DRIE でもよく 見 られ 大 きな 問 題 になる。
この 対 策 として、プロセスレシピをエッチングの
進 行 とともに 変 えていくなどの 方 法 が 開 発 されて
いる。
2.3 その 他 材 料 の MEMS プロセスへの 利 用 10)
半 導 体 プロセスと 大 部 分 の MEMS プロセスは、
基 本 的 に 半 導 体 材 料 (Si、Poly-Si)、 絶 縁 膜 材 料
(SiO2、Si3N4 など)を 被 加 工 材 として 想 定 したプロ
セスである。 一 方 、これらの 分 野 以 外 の 研 究 者 に
とっては、Si にこだわる 理 由 がない 場 合 もあり、
ガラス、セラミックスやポリマーといった 材 料 の
加 工 が 必 要 な 場 合 も 多 い。 半 導 体 装 置 としての
RIE 装 置 は 汚 染 防 止 とプロセスの 再 現 性 維 持 のた
めにこのような 材 料 の 導 入 は 考 えられないし、 比
較 的 高 価 である 本 装 置 を 別 の 材 料 専 用 で 導 入 する
ことも 経 済 的 に 考 え 難 い。そのような 中 で、 各 種
ガラス 材 料 は、 光 学 機 器 やバイオ・ 化 学 系 機 器 の
開 発 などの 産 業 上 の 需 要 に 加 えて、 種 々の 化 学 組
成 を 有 する 材 料 への RIE 法 の 適 用 の 可 能 性 を 検
討 するモデルとして 興 味 深 い 材 料 である。 加 工 プ
25

ロセスの 最 適 化 は、 基 本 的 には 1 章 で 学 んだ RIE
の 原 理 を 元 に 以 下 に 述 べるように 絞 っていくこと
ができる。まず、 主 成 分 である SiO2 の 酸 素 との
結 合 を 切 り 反 応 を 進 めさせるためには 物 理 的 なエ
ッチング 効 果 を 強 める 必 要 がある。SF6 あるいは
C4F8 ガスをエッチングガスとして 用 いて、Si と 比
較 してかなり 高 い 自 己 バイアス 下 ( 数 百 V)でかつ
低 圧 下 ( 数 m から 数 十 mtorr)でエッチングを 行
う。 組 成 中 に 上 記 ガスと 沸 点 が 高 い 不 揮 発 性 の 反
応 生 成 物 が 生 成 する 元 素 の 割 合 が 多 い 場 合 は、 上
記 の 物 理 的 なエッチング 効 果 が 重 要 なのはもちろ
んであるが、さらに、 表 面 粗 さの 改 善 、エッチン
グ 速 度 の 向 上 のために 排 気 特 性 の 優 れた 装 置 を 使
用 する 必 要 がある。このように 最 適 化 をしたとし
ても、 図 6 に 示 すようにガラスの 種 類 ( 組 成 の 違
い)に 対 応 した 各 々のガラスに 特 有 の 加 工 形 状 と
なる。 反 応 生 成 物 の 蒸 気 圧 の 低 さが 本 質 な 課 題 で
あり、 極 端 な 高 温 度 でのプロセス、 揮 発 性 を 可 能
な 限 り 高 くできるエッチングガスの 採 用 が 重 要 で
ある。 未 知 の 材 料 の 加 工 の 研 究 に 際 しても 基 本 的
には1 章 に 記 した 原 理 を 元 に 微 視 的 な 視 点 で 検 討
していくと 最 適 化 がうまくいくことが 多 いのでそ
のような 機 会 があればぜひ 試 してみていただきた
い。
ソーダライム
石 英
パイレックス
20μm
20μm
図 6 SF6 ガスを 用 いた DRIE による 各 種 ガラス
のエッチング 結 果 の 違 い( 文 献 10 より)
3. まとめ
本 稿 では、 数 式 を 使 わずに 微 視 的 な 視 点 を 与 え
て RIE 技 術 の 勘 所 を 理 解 できるように 努 めたつ
もりであるが、やはり、 現 象 の 背 景 にある 理 論 を
学 んでおくと 未 知 の 現 象 の 解 釈 と 課 題 解 決 をする
上 で 盤 石 となることは 間 違 いない。RIE は 数 多 く
ある 道 具 の 一 つでしかないと 考 える 学 生 さんにと
っては 本 稿 の 内 容 だけで 十 分 な 可 能 性 もあるが
所 々にある 専 門 用 語 や 数 値 の 本 質 的 意 味 を 学 び、
本 技 術 の 巧 みさを 知 っていただくためにさらに 深
く 学 んでほしいと 思 う。
参 考 文 献
1) N. Hosokawa et al., Jpn.J.Appl.Phys., 13
(1974)435.
2) Y. Horiike et al., Jpn.J.Appl.Phys., 20
(1981)L817.
3) S. Matuo et al., Jpn.J.Appl.Phys., 21
(1982)L4.
4) 菅 井 、 応 用 物 理 、63(1994) 559.
5) 田 地 、 応 用 物 理 、59(1990)1428.
6) K.Nojiri et al,Extnded Abstracts of the 21st
Conference on Solid State Devices and
Materials (1989) 153.
7) Y. Iriyama et al, J. Polym.Sci., A,
Polym.Chem., 30(1992)1731.
8) M.エルベンスポーク 他 、シリコン 加 工 の 基 礎 、
Springer 社 (2001).
9) 式 田 他 監 修 、「マイクロ・ナノデバイスのエ
ッチング 技 術 」シーエムシー 出 版 (2009).
10) 安 部 、MEMS におけるプラズマエッチングの
展 開 、 第 22 回 プラズマエレクトロニクス 講 習
会 、63.
26

国 際 会 議 報 告
4th International Symposium on Advanced Plasma Science
and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
(ISPlasma2012)
名 城 大 学 平 松 美 根 男
ISPlasma は、 文 部 科 学 省 の 支 援 を 受 け、 東 海 広 域
ナノテクものづくりクラスター 事 業 の 一 環 として、 当
地 域 に 国 際 競 争 力 を 有 する 先 進 プラズマナノ 科 学 研 究
拠 点 を 形 成 するために 2009 年 から 毎 年 開 催 されてい
る 国 際 会 議 である。 今 回 はその 4 回 目 として、2012
年 3 月 4 日 から 5 日 間 にわたり 中 部 大 学 にて 開 催 され
た。プラズマ 分 野 で 長 い 歴 史 と 研 究 実 績 を 有 する 東 海
地 域 に 国 内 外 から 優 れた 研 究 者 が 集 い、 先 進 プラズマ
科 学 、 窒 化 物 半 導 体 とナノ 材 料 への 応 用 、 産 業 界 への
技 術 移 転 の 仕 組 み 作 りについて 広 く 議 論 するとともに、
最 新 の 研 究 成 果 を 発 表 して 分 野 を 超 えて 活 発 に 情 報 交
換 を 行 った。
プラズマを 中 心 としてその 応 用 分 野 の 窒 化 物 半 導 体
やナノ 材 料 分 野 を1つの 学 会 で 議 論 できることから、
数 多 く 国 際 会 議 がある 中 で、プラズマを 中 心 とする 異
分 野 交 流 の 国 際 会 議 として 認 知 されつつある。 会 議 全
体 の 参 加 者 数 は 年 々 増 加 しており、 今 回 は 800 名 を 超
えた。この 参 加 者 数 はプラズマ 関 連 の 国 際 会 議 として
はかなり 大 きな 部 類 に 入 るものと 考 えられる。また 発
表 件 数 は 全 体 で 464 件 であり、 その 内 訳 は、 基 調 講
演 ・ 招 待 講 演 ・チュートリアル 等 43 件 、 一 般 口 頭 発
表 46 件 ( 含 レイトニュース)、ポスター 発 表 375 件
であった。またそれらの 内 、 海 外 からの 発 表 は、 全 体
のおよそ 半 分 にあたる 218 件 であり、 韓 国 ・ 台 湾 ・ 中
国 などのアジアを 中 心 に、 海 外 における 本 会 議 の 知 名
度 が 徐 々に 高 まりつつある。
関 連 する 主 な 分 野 は 以 下 の 通 りである。
(1) プラズマ 科 学 :プラズマ 源 、 先 進 プラズマ 計 測 技
術 、モデリングとシミュレーション、エッチング
プロセス、 薄 膜 成 膜 プロセス、フレキシブルエレ
クトロニクス、バイオ/ 医 療 用 プラズマ、クリー
ンエネルギー 用 プラズマ、ナノ 材 料 用 プラズマ
(2) 窒 化 物 半 導 体 :GaN および 関 連 材 料 の 結 晶 成 長 、
窒 化 物 MBE 成 長 、 評 価 技 術 、デバイスプロセス、
光 デバイス、 電 子 デバイス
(3) ナノ 材 料 :ナノカーボン 材 料 、ポーラス 材 料 、 表
面 改 質 / 表 面 機 能 化 、コンポジット/ 傾 斜 機 能 材
料 、ナノパーティクル/ナノワイア/ナノロッド、
エネルギー 応 用 向 けナノ 材 料
(4) 産 学 官 連 携
今 回 、 新 たな 試 みとして、 本 会 議 の 前 日 をチュート
リアルに 充 てた。 若 手 への 基 礎 知 識 の 供 与 というより
も、 異 分 野 の 理 解 を 深 め、 分 野 間 融 合 による 新 たな 価
値 創 造 を 目 的 としており、プラズマ 科 学 ・ 窒 化 物 半 導
体 ・ナノ 材 料 の 各 々の 分 野 で 活 躍 する 研 究 者 やベテラ
ンにも 有 意 義 となるよう、 基 礎 から 最 先 端 の 動 向 を 含
んだ 講 義 が 行 われた。 海 外 からの 参 加 者 ・ 第 一 線 で 活
躍 する 研 究 者 が 多 く 聴 講 していたのは 特 徴 的 であった。
チュートリアル 講 演 者 は 以 下 の 通 りである。プラズマ
科 学 :ルール 大 学 ボッフム 校 ・Czarnetzki 教 授 (ドイ
ツ)および 名 古 屋 大 学 ・ 河 野 教 授 、 窒 化 物 半 導 体 : 名
古 屋 大 学 ・ 天 野 教 授 およびサウスカロライナ 大 学 ・
Khan 教 授 (アメリカ)、ナノ 材 料 : 成 均 館 大 学 ・Han
教 授 ( 韓 国 )および 名 城 大 学 ・ 平 松 。
初 日 午 前 は、 三 浦 幸 平 メモリアルホールにて、 初 回
からの 組 織 委 員 長 である 名 古 屋 大 学 ・ 堀 教 授 よる 先 進
プラズマナノ 基 盤 技 術 に 基 づく 東 海 広 域 知 的 クラスタ
ー 創 成 事 業 の 成 果 と 展 望 について 講 演 が 行 われた。 引
き 続 き 中 部 大 学 ・ 飯 吉 総 長 による 特 別 講 演 " How to
Bring the Power of the Sun down to the Earth
~Fusion Plasma and Solar Energy Research~"、 立 命
館 大 学 ・SNU・ 名 西 教 授 による 基 調 講 演 "Importance
of Advanced Plasma for Frontier Nitride
27

Semiconductor Technologies"、ノートルダム 大 学 ・
Kamat 教 授 による 基 調 講 演 "Light Energy
Conversion with Nanostructure Assemblies" が 行 わ
れた。
午 後 からは、3 つの 会 場 にわかれて、プラズマ 科 学 、
窒 化 物 半 導 体 およびナノ 材 料 のそれぞれのセッション
で、 招 待 講 演 と 一 般 講 演 による 最 新 の 話 題 に 対 して 専
門 性 の 高 い 活 発 な 議 論 が 繰 り 広 げられた。パラレルセ
ッション 方 式 の 発 表 は 3 日 目 まで 行 われ、 午 後 の 初 め
にポスター 発 表 が 組 み 込 まれていた。
本 会 議 の 特 徴 は、 分 野 間 融 合 セッションである。こ
れまで 続 けて 実 施 してきたパネルディスカッションに
繋 がる2つの 融 合 セッション( 産 学 官 連 携 と 窒 化 物 半
導 体 セッション: 後 述 )に 加 え、「プラズマ 援 用 結 晶 成
長 」、「カーボン 先 端 材 料 」、および「グリーンイノベー
ション」の 融 合 セッションが 企 画 された。「プラズマ 援
用 結 晶 成 長 」セッションでは、カリフォルニア 大 学 サ
ンタバーバラ 校 ・Speck 教 授 による 基 調 講 演 、また「カ
ーボン 先 端 材 料 」セッションでは、NASA Ames・
Meyyappan 氏 による 基 調 講 演 および 産 総 研 ・ 長 谷 川
氏 による 招 待 講 演 が 行 われ、 最 終 日 にもかかわらず 活
発 な 議 論 が 交 わされた。
異 分 野 融 合 の 目 玉 として 行 われた3つのパネルディ
スカッションは 以 下 の 通 りである。 第 1 は、 産 学 官 連
携 に 焦 点 をあてたもので、「 持 続 的 発 展 を 目 指 した 国 際
研 究 拠 点 形 成 」をテーマに、VTT Finland・Koljonen
氏 、YRP 国 際 連 携 研 究 所 ・ 大 森 氏 、ITRI・Tai 氏 、テ
クノ・インテグレーション・ 出 川 氏 、 産 業 タイムズ・ 泉
谷 氏 による 講 演 のあと、5 氏 に 名 古 屋 大 学 ・ 堀 教 授 を
パネリストに 加 え、 名 古 屋 工 業 大 学 ・ 小 竹 教 授 をモデ
レータとしてパネルディスカッションが 行 われた。 一
般 の 人 にも 幅 広 く 聴 講 できるよう、 関 連 する 講 演 も 含
めた 産 学 官 連 携 セッション 全 体 を 参 加 費 無 料 とすると
ともに、 同 時 通 訳 をつけることでより 深 く 内 容 を 理 解
できるよう 配 慮 がなされた。Tai 氏 により 紹 介 された
台 湾 の ITRI (Industrial Technology Research
Institute) の 例 が 印 象 的 であった。ITRI は 市 場 ニー
ズの 調 査 を 非 常 に 重 視 しており、ニーズ 先 行 で 国 際 競
争 できるように、 国 内 企 業 群 と 大 学 で 共 同 開 発 および
ビジネス 協 力 するためのプラットフォームの 形 成 、そ
れらを 使 ったプロジェクトの 遂 行 まで 手 掛 けている。
ITRI はスピンアウトしてベンチャー 企 業 をかなり 創
出 しており、 台 湾 の 勢 いと 熱 意 を 感 じた。ITRI は、フ
ィンランドの VTT や 昨 年 度 の IMEC のオープンイノ
ベーションの 仕 組 みとは 大 きく 戦 略 が 異 なり、 一 時 代
前 の 元 気 があった 日 本 の 戦 略 にも 似 ている 点 もあるが,
拠 点 形 成 には 市 場 ニーズの 徹 底 調 査 と 迅 速 に 意 思 決 定
できる 仕 組 みの 必 要 性 も 示 唆 された。この 他 にも、 行
政 の 役 割 、ジャーナリストの 目 、 人 材 教 育 など、 様 々
な 観 点 から 拠 点 のあり 方 について 議 論 され、 充 実 した
討 論 が 行 われた。 大 学 などの 研 究 機 関 のほかに、 企 業 、
行 政 等 からも 多 くの 参 加 者 があり、その 意 味 で 本 パネ
ルディスカッションは 大 変 有 意 義 であった。
第 2のパネルディスカッションは「プラズマ 科 学 と
窒 化 物 半 導 体 」である。 異 分 野 融 合 セッションの1つ
である「 先 端 窒 化 物 半 導 体 デバイス」において、
CEA-Grenoble・Daudin 教 授 、 北 海 道 大 学 ・ 橋 詰 教
授 、 東 芝 ・ 齋 藤 氏 らによる 講 演 が 行 われ、 続 いて、 窒
化 物 半 導 体 デバイスとプラズマプロセスとの 関 わりに
焦 点 を 当 て、 名 古 屋 大 学 ・ 天 野 教 授 をモデレータに、
「プラズマ 科 学 と 窒 化 物 半 導 体 III 窒 化 物 半 導 体 デ
バイスにおけるプラズマプロセスの 重 要 性 と 課 題 」に
ついてパネルディスカッションが 行 われた。 窒 化 物 半
導 体 電 子 デバイスの 特 徴 (サウスカロライナ 大 学 ・
Khan 教 授 )、SiC との 比 較 ( 京 都 大 学 ・ 須 田 教 授 )、
MOS 構 造 の 可 能 性 ( 北 海 道 大 学 ・ 橋 詰 教 授 )など 基
礎 的 な 物 性 に 関 する 議 論 、および 同 材 料 を 用 いた 横 型
および 縦 型 デバイスの 優 位 性 を 示 す 例 ( 名 古 屋 工 業 大
学 ・Selvaraj 氏 、 東 芝 ・ 齋 藤 氏 、 豊 田 中 研 ・ 加 地 氏 )
について 詳 しい 議 論 がなされた。また 最 後 に 同 材 料 を
用 いたデバイスの 将 来 展 望 の 議 論 ( 立 命 館 大 学 ・
SNU・ 名 西 教 授 )が 熱 心 に 行 われた。 今 回 のディスカ
ッションでは、 窒 化 物 関 係 者 にとって 極 めて 有 意 義 な
議 論 であったばかりでなく、 他 の 分 野 の 関 係 者 にとっ
ても、 窒 化 物 デバイスのプロセス 技 術 における 現 状 と
課 題 が 明 らかになり、 分 野 を 超 えた 融 合 の 第 一 歩 とな
った。
最 終 日 には、「 先 進 プラズマナノテクノロジーが 拓 く
グリーンイノベーション」というテーマでパネルディ
スカッションが 行 われた。 前 半 は、アリゾナ 州 立 大 学 ・
Nemanich 教 授 、 千 葉 大 学 ・ 吉 川 教 授 、 産 総 研 ・Svrcek
28

博 士 、 東 京 工 業 大 学 ・ 野 崎 准 教 授 による 講 演 が 行 われ
た。 続 いて、 野 崎 准 教 授 をモデレータとし、パネリス
トとして 東 京 大 学 ・ 神 原 准 教 授 ,NASA・Meyyappan
博 士 、Nemanich 教 授 、Svrcek 博 士 の4 名 を 迎 えて 討
論 が 行 われた。 最 初 に 神 原 准 教 授 より、プラズマ 技 術
を 応 用 した 二 次 電 池 開 発 に 関 するショートプレゼンテ
ーションがあった。パネリストや 会 場 から 活 発 な 質 疑
応 答 の 後 、パネルディスカッションへと 移 行 した。パ
ネルディスカッションではモデレータの 野 崎 准 教 授 が
用 意 したプラズマ 技 術 とグリーンケミストリーの 融 合
に 関 する 幾 つかのテーマに 沿 って、 各 パネリストの 専
門 的 見 地 からコメントを 頂 き、パネリスト 間 及 び 会 場
からの 質 疑 応 答 を 行 った。セッションを 通 して 活 発 な
質 疑 応 答 ・コメントが 寄 せられた。 今 回 のディスカッ
ションは、グリーンケミストリーへのプラズマ 技 術 応
用 にとって 極 めて 有 意 義 な 議 論 となった。
今 回 よりプラズマ 科 学 、 窒 化 物 半 導 体 ならびにナノ
材 料 のそれぞれの 分 野 における 最 優 秀 発 表 賞 を 選 定 す
ることになり、 最 後 に 表 彰 式 が 行 われた。 選 考 の 結 果 、
首 都 大 学 東 京 ・ 杤 久 保 教 授 がプラズマ 科 学 分 野 の 最 優
秀 発 表 賞 ( 口 頭 発 表 部 門 )の 最 初 の 受 賞 者 となった。
受 賞 者 は 以 下 の 通 りである。
Best Presentation Award (Oral)
・Plasma Science
F. Tochikubo, Tokyo Metropolitan University
・Nitride Semiconductors
F. Fukuyo, Mie University
・Nanomaterials
A. Al-Zubaidi, Nagoya Institute of Technology
Best Presentation Award (Poster)
・Plasma Science
K. Kamataki, Kyushu University
・Nitride Semiconductors
T. Takimoto, Tokyo Metropolitan University
・Nanomaterials
K. Makihara, Nagoya University
次 回 の ISPlasma2013 は、 名 古 屋 大 学 において 開 催
され、 例 年 よりも1ヶ 月 早 く、2013 年 1 月 28 日 ~2
月 1 日 の 予 定 である。
29

国 際 会 議 報 告
5th International Conference on Plasma Nanotechnology and
Science (IC-PLANTS 2012) 報 告
名 古 屋 大 学 プラズマナノ 工 学 研 究 センター(PLANT) 石 川 健 治
本 国 際 会 議 は「プラズマナノテクノロジー」,「 大
気 圧 プラズマとバイオテクノロジー」をトピック
スとして,2012 年 3 月 9 日 ( 金 )から 10 日 ( 土 )まで
の 2 日 間 にわたり,98 件 の 発 表 (うちポスター79
件 ),125 名 ( 外 国 より 18 名 , 日 本 107 名 )の 参
加 者 が 集 まり 盛 会 となりました.
今 回 チュートリアルを 含 めて 基 礎 的 な 部 分 から
説 明 していただき, 出 席 者 の 方 々は 低 温 プロセス
プラズマを 再 度 理 解 し 直 す 機 会 が 得 られました.
プラズマの 生 成 について Chabert 教 授 (Ecole 理
工 科 大 )から 低 圧 高 周 波 放 電 の 物 理 ,Graham 教 授
(Queen’s 大 )より 液 体 ・ 気 体 の 大 気 圧 プラズマ,
Brinkmann 教 授 (Ruhr 大 )より 容 量 性 結 合 プラズ
マの 加 熱 機 構 について 講 演 いただきました.やや
もすれば 複 雑 なプラズマ 生 成 について, 再 考 する
機 会 と 平 易 な 説 明 を 受 けられたと 思 います.
また,プラズマ 診 断 について 河 野 教 授 ( 名 古 屋
大 )よりレーザートムソン 散 乱 ,Czarnetzki 教 授
(Ruhr 大 )よりプラズマ 診 断 ,Goeckner 教 授 (テ
キサス 大 )より 電 子 ビーム 励 起 発 光 分 光 によるプ
ロセスモニタについて 講 演 いただきました.まだ
まだ 新 しい 診 断 技 術 を 開 発 して 所 望 のパラメータ
を 研 究 者 自 身 が 得 るさらなる 努 力 の 必 要 性 をます
ます 痛 感 します.
プラズマ 分 野 の 広 がりとしては, 大 野 教 授 ( 名
古 屋 大 )より 核 融 合 プラズマからプラズマプロセ
スへの 道 筋 , 白 谷 教 授 ( 九 州 大 )よりプラズマの
揺 らぎとプラズマナノ 工 学 といった 内 容 の 講 演 を
いただきました.プラズマ 研 究 の 学 術 的 に 深 化 さ
せていく 興 味 深 い 試 みです.
プラズマナノ 工 学 として, 殊 に 材 料 面 で 梅 原 教
授 ( 名 古 屋 大 学 )より 窒 化 炭 素 膜 による 低 摩 擦 表
面 ,Yoo 博 士 (NFRI)より 中 性 ビームによる 低 温
GaN 成 長 , 渡 辺 教 授 ( 東 工 大 )より 熱 プラズマに
よるナノ 微 粒 子 形 成 , 白 藤 教 授 ( 大 阪 市 大 )より
μ 溶 液 プラズマについて 講 演 いただきました.プ
ラズマのもつ 非 平 衡 反 応 場 の 有 効 性 を 議 論 できた
と 思 います.
さらに, 昨 今 注 目 しているプラズマの 生 体 への
応 用 について,Kim 教 授 (Clemson 大 )より 大 気
圧 μプラズマの 癌 治 療 への 応 用 ,Gans 教 授 (York
大 )より 大 気 圧 プラズマの 健 康 器 具 への 応 用 ,
Favia 教 授 (Bari 大 )よりプラズマ 処 理 表 面 の 細 胞
接 着 について 講 演 いただきました.この 分 野 の 今
後 の 発 展 に 向 けて,ますます 学 際 融 合 領 域 にわた
り 有 益 な 議 論 と 情 報 交 換 が 必 要 で 有 り,その 一 端
がなされました.
若 手 から 白 井 助 教 ( 首 都 大 )より 大 気 圧 放 電 で
の 気 液 界 面 に 表 れる 自 己 組 織 化 放 電 パターンにつ
いて, 光 木 助 教 ( 熊 本 大 )より 光 音 響 波 診 断 , 津
田 君 ( 京 都 大 )より 斜 入 射 イオンによるシリコン
凹 凸 形 成 のシミュレーション, 北 崎 君 ( 九 州 大 )
より 乾 燥 酵 母 へのプラズマ 照 射 による 増 進 効 果 に
ついて 講 演 がありました.
ますますプラズマの 学 術 的 ・ 工 学 的 な 発 展 は,
やはり 世 界 の 研 究 者 との 交 流 ・ 協 力 が 欠 かせなく,
その 応 用 範 囲 の 広 がりを 模 索 しつつ, 総 合 的 プラ
ズマ 研 究 へ 総 力 を 挙 げた 取 り 組 みが 期 待 されます.
本 会 議 の 様 子 はホームページ(*)も 参 考 にし
てください. 次 回 の 2013 年 の 開 催 も 予 定 されてい
ますので,プラエレ 分 科 会 会 員 の 皆 様 の 参 加 を 心
よりお 待 ちしております.
*http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC-2012/h
ighlight.html
30

国 際 会 議 報 告
2012 MRS Spring Meeting
Symposium WW
Plasma Processing and Diagnostics for Life Sciences
九 州 大 学 白 谷 正 治
応 用 物 理 学 会 と MRS の 合 同 シンポジウム
Symposium WW: Plasma Processing and Diagnostics
for Life Sciences が,2012 年 4 月 9 日 〜4 月 12 日
に San Francisco のマリオットホテルで 開 催 されま
した.プラズマのバイオ 応 用 に 関 する 研 究 が, 従
来 の 細 胞 等 にプラズマ 照 射 を 行 い,その 結 果 を 調
べるという 時 代 から,バイオアッセイ,ESR,ラジ
カル 計 測 等 から 得 られる 知 見 をもとに,プラズマ
と 生 体 物 質 の 相 互 作 用 の 詳 細 を 議 論 する 時 代 に 移
り 変 わったことを 明 瞭 に 示 したシンポジウムとな
りました. 特 に,プラズマ, 材 料 分 析 ,バイオ 研
究 者 , 医 療 関 係 者 等 の 異 分 野 の 研 究 者 が, 適 度 の
割 合 で 参 加 して, 深 い 議 論 が 行 えたところに 特 長
があります.また, 日 本 からの 講 演 内 容 は, 極 め
て 高 いレベルであると 感 じました.このように,
今 回 の 新 しい 試 みは 成 功 であったといえます.
初 日 に Tutoral 講 演 3 件 ,2−4 日 目 に 招 待 講 演
19 件 , 一 般 口 頭 講 演 27 件 ,ポスター 講 演 13
件 の 発 表 がありました(http://mrs.org/s12-
program-ww/).プログラムとアブストラクトは,
ホームページ 上 で 誰 でも 無 料 で 閲 覧 できます.ま
た,e-proceedings が 発 行 されます.e-proceedings
は,MRS 会 員 は 無 料 で 閲 覧 できます. 複 数 のシン
ポジウムを 横 断 したパネルディスカッション”
The Future of Biomaterials Research: The Next 10
Years”が4 月 9 日 に 開 催 されました(http://mrs.org/
s12-biomedical -research/).
Tutoral 講 演 では,Fridman (Drexel Univeristy),
Favia ,(University of Bari) 榊 田 (AIST)の3 名 がプ
ラズマのバイオ 応 用 について 現 在 までの 知 見 をま
とめて 報 告 しました.Fridman は,バイオ 応 用 の
プラズマ 源 ,プラズマ 医 療 に 関 して,Favia はバイ
オ 応 用 のための 表 面 コーティングに 関 して, 榊 田
はプラズマ 止 血 に 関 して 力 点 を 置 いて 解 説 を 行 い
ました.
以 下 には, 特 に 印 象 的 な 点 のみ 述 べさせて 頂 き
ます. 先 ず,バイオフィルムとプラズマとの 相 互
作 用 について 活 発 な 議 論 がなされたのが 印 象 的 で
した.バイオフィルムは, 微 生 物 により 形 成 され
る 構 造 体 ”コロニー”であり, 様 々な 微 生 物 がその
中 で 様 々な 情 報 伝 達 を 行 いながらコミュニティを
形 成 している. 人 間 の 作 る 町 と 同 様 に,バイオフ
ィルムにも, 発 生 ・ 発 展 ・ 衰 退 の 変 遷 がある.そ
の 変 遷 にプラズマ 照 射 が 及 ぼす 影 響 については 未
解 明 の 点 が 多 く, 今 後 の 重 要 な 研 究 テーマの 一 つ
であると 思 われます.
また,MRSA やプリオン 等 の 除 去 が 難 しい 生 体
物 質 にプラズマが 有 効 であることも 示 されつつあ
ります. 外 科 医 からは,プラズマ 止 血 やプラズマ
メスが, 他 の 方 法 に 比 べて 低 侵 襲 性 であり 術 後 の
問 題 点 が 極 めて 少 ない 点 が 強 調 されました. 米 国
では, 実 際 に 人 間 の 医 療 に 適 用 されており, 日 本
でも 早 急 に 各 種 の 制 約 をクリアして, 実 用 に 供 す
ことが 出 来 れば 良 いと 強 く 思 いました.
プラズマ, 材 料 分 析 ,バイオ 研 究 者 , 医 療 関 係
者 等 の 異 分 野 の 研 究 者 との 共 同 研 究 が 非 常 に 多 く,
単 独 で 研 究 を 進 めるのには, 限 界 が 有 ると 思 われ
ます. 異 分 野 の 研 究 者 と 上 手 く 協 調 しスピード 感
を 持 って 研 究 を 進 めることが 重 要 だと 思 われます.
次 回 は, 応 用 物 理 学 会 と MRS の 合 同 シンポジ
ウムとして 2013 年 9 月 16 日 〜9 月 20 日 に 同 志 社
大 学 での 応 用 物 理 学 会 で 開 催 する 準 備 を 進 めてお
ります. 積 極 的 な 投 稿 と 御 支 援 をお 願 い 申 し 上 げ
ます.
31

国 際 会 議 報 告
8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
(JSPP2012) 報 告
東 北 大 学 寒 川 誠 二
本 国 際 会 議 は、EU における 電 子 衝 突 などの 基
礎 研 究 と 日 本 の 応 用 研 究 の 融 合 およびプラズマプ
ロセスのデータベースの 構 築 を 目 指 して 慶 應 義 塾
大 学 ・ 真 壁 教 授 により 企 画 されてスタートし、2
年 に 一 度 EU と 日 本 で 交 互 に 開 催 されてきた。 今
回 で 第 8 回 目 となり、 大 阪 大 学 ・ 浜 口 教 授 が 実 行
委 員 長 として 2012 年 1 月 16 日 から 18 日 の 3 日
間 にわたり、 奈 良 の 東 大 寺 総 合 文 化 センターで 開
催 された。 今 回 のテーマは「プラズマと 表 面 のた
めの 原 子 分 子 データベース」とし、74 件 の 講 演 ( 特
別 講 演 1 件 、 招 待 講 演 30 件 、 一 般 口 頭 講 演 8 件 、
ポスター 発 表 35 件 )と 77 名 の 参 加 者 ( 一 般 62
名 、 学 生 15 名 )が 集 まり、プラズマ 固 体 相 互 作
用 に 関 する 議 論 を 深 めた。
Bowden 教 授 ( 英 Open 大 )から、 多 結 晶 ダイ
ヤモンドからのマイクロ 放 電 に 関 する 講 演 があっ
た。Hsu 教 授 ( 国 立 台 湾 大 )からは、 大 気 圧 プラ
ズマジェットに 関 する 講 演 があった。リチウムイ
オン 電 池 に 使 う Li4Ti5O12 の 合 成 を、 大 気 圧 プラ
ズマジェットを 用 いて 行 うというものである。
Czarnetzki 教 授 ( 独 Ruhr 大 )からは、アフター
グローにおける 電 子 温 度 緩 和 過 程 に 関 する 講 演 が
あった。 電 子 - 中 性 粒 子 衝 突 過 程 より 電 子 -イオン
衝 突 過 程 のほうが 重 要 になるとする 内 容 である。
また、Mason 教 授 ( 英 Open 大 )から 特 別 講 演 と
して、プラズマプロセスのためのデータベースの
現 状 についての 講 演 があった。US National
Research Council Board の 報 告 (1996)による
と、プラズマプロセスは 未 だに 初 歩 的 なレベルに
とどまっており、 試 行 錯 誤 に 頼 っており、プラズ
マの 物 理 ・ 化 学 に 関 する 理 解 が 重 要 であると 指 摘
されている。また、この 課 題 に 対 してデータベー
スが 構 築 されてきたが、いったん 構 築 されるとメ
ンテナンスされなくなり 古 くなってしまう 問 題 が
指 摘 されており、その 解 決 策 として、ネット 上 で
ブログなどを 用 いてコミュニティによって 常 にメ
ンテナンスされるデータベースの 可 能 性 について
議 論 された。また、 韓 国 National Fusion
Research Institute の DCPP (Data Center for
Plasma Properties)、 日 本 の 核 融 合 科 学 研 究 所 の
データベースについても 報 告 があった。その 他 、
京 都 大 、 東 北 大 、 大 阪 大 および 九 州 大 から 最 先 端
のプラズマプロセスに 関 する 講 演 もあり、 将 来 の
ナノテクノロジーおよびバイオテクノロジーに 関
するプラズマプロセスの 役 割 に 関 して 活 発 な 議 論
が 交 わされました。
現 在 、ナノテクノロジー、バイオテクノロジー
の 発 展 は 目 覚 しいのもがあり、その 中 でのプラズ
マプロセスの 重 要 性 は 益 々 大 きくなっている。し
かし、プラズマプロセスが 産 業 に 大 きく 貢 献 して
いくためには、そのデータベース 化 が 必 要 不 可 欠
であり、 世 界 的 な 連 携 の 中 で 実 行 していくことが
極 めて 重 要 であることを 本 会 議 を 通 して 感 じた。
本 国 際 会 議 を 一 つのきっかけにして、そのような
流 れが 加 速 することが 期 待 される。
次 回 は 2014 年 の 初 め 頃 にスロベニアで 開 催 さ
れる 予 定 となっている。ふるってのご 参 加 を 期 待
する。
( 写 真 ) 会 議 後 、 奈 良 東 大 寺 の 前 で、
慶 応 大 学 ・ 真 壁 教 授 と 招 待 講 演 者
32

国 内 会 議 報 告
2012 年 春 季 第 59 回 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会
第 7 回 分 科 内 招 待 講 演 報 告
京 都 工 芸 繊 維 大 学 比 村 治 彦
2008 年 より 企 画 ・ 実 施 されてきているプラズマエ
レクトロニクス 分 科 内 招 待 講 演 の 第 7 回 目 が、2012
年 春 季 第 59 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会 にて 行 われ
ました。 今 回 は 定 年 でご 退 職 されるお 二 人 の 先 生 か
ら、 学 会 2 日 目 の 午 前 後 半 の 時 間 帯 に30 分 ずつご 講
演 頂 きました。
河 野 明 廣 先 生 ( 名 大 )
「 常 識 になっていないプラズマ 現 象 2 題 (シース・
対 流 )」11:15 ~ 11:45
河 野 先 生 は「シース」から 話 されました。 流 体 モ
デルの 支 配 方 程 式 からスタートされており、これを
磁 場 なし 下 での 無 衝 突 条 件 で 解 かれています。 一 般
に、 考 えている 系 においての 偏 微 分 方 程 式 の 解 を 得
るためには、 準 中 性 条 件 などを 境 界 にて 決 める、つ
まり 境 界 条 件 が 必 要 です。 先 生 は、このときシース
端 での 電 場 の 値 の 与 え 方 でシースの 厚 みが 変 わる
シースエッジ(プレシースの 端 )をプラズマエッジ
(ボーム 速 度 に 達 するところ.ここからイオン 密 度
と 電 子 密 度 がずれ 始 める)と 定 義 し、 一 方 、イオン
シースの 端 をシースエッジ( 電 子 密 度 はない.イオ
ン 速 度 はボーム 速 度 の1.7 倍 )と 呼 んだらいいこと
を 提 案 されてこられましたが、 先 生 曰 く、この 考 え
方 は 学 会 では 受 け 入 れられていないとのことです。
この 点 に 対 する 思 いが、 本 講 演 の 表 題 に 表 れている
感 じがします。 講 演 には 衝 突 性 シースの 話 もありま
したが、ここでは 省 略 させて 頂 きます。
つづいて、プラズマ 中 での 対 流 生 成 の 可 能 性 につ
いて 議 論 なされました。 例 えばマイクロ 波 によるプ
畠 山 力 三 先 生 ( 東 北 大 )
「プラズマ 応 用 ナノカーボンナノバイオトロニク
ス」11:45 ~ 12:15
続 きまして、 畠 山 先 生 がいつものようにエネルギ
ッシュにお 話 を 始 められました。 微 細 化 の 限 界 を 突
破 するためにナノカーボン、 特 にフラーレンやカー
ボンチューブが 盛 んに 研 究 されていますが、それら
をプラズマ 屋 がプラズマテクノロジーを 用 いて 実
現 するという、まさに 職 人 と 思 わずうなるような 畠
山 ワールドに 引 き 込 まれました。
ご 講 演 は、これまで 畠 山 先 生 が 最 前 線 に 立 って 切
り 開 いてこられたと 言 っていい 多 種 多 様 な 研 究 開
発 内 容 が 盛 り 込 まれていました。しかもそれらほぼ
全 ての 研 究 に 対 しまして、 現 在 の 国 家 戦 略 として 掲
げられているグリーンイノベーションとライフイ
ノベーションに 密 接 に 関 係 づき、しかも 極 めてイン
パクトの 強 い 標 題 が 与 えられていました。この 点 に
おきましても、 畠 山 先 生 が 研 究 力 だけを 持 たれてい
るのではなく、プロデューサーとしての 手 腕 をもっ
て、 学 術 分 野 におけるプラズマ 科 学 の 位 置 づけに 心
血 を 注 いでこられてきた 事 を 感 じ 取 れました。
いくつか 列 挙 させていただきますと、「 新 規 プラ
ズマ 生 成 ・ 制 御 法 の 開 発 による 進 化 高 品 質 ナノカー
ボンの 創 生 、 電 子 内 包 プラーレンベースのナノエレ
クトロニクス・ナノバイオメディカル 技 術 の 開 発 、
グリーン・ライフ 双 機 能 創 出 の 新 しいナノ・バイオ
融 合 科 学 、プラズマナノバイオトロニクス、ナノエ
コプラズトロニクス」などです。 畠 山 先 生 のご 講 演
ラズマでは、 局 所 的 に 加 熱 される 領 域 がある 一 方 で, は30 分 ではなく、チュートリアルと 同 じく 講 義 2コ
壁 は 冷 却 されています.このように 大 きな 温 度 勾 配 マ 分 の3 時 間 でお 伺 いしたい 大 変 豊 富 な 内 容 でした。
のある 場 ですが、シミュレーションによるとプラン 最 後 に、 定 年 退 職 前 の 非 常 にご 多 忙 な 中 を 早 稲 田
ドル 数 が1/16より 小 さいと 定 常 流 れができること 大 まで 足 をお 運 びくださり、ご 講 演 下 さりました 両
になり、この 値 が 非 現 実 的 であることから 定 常 対 流 先 生 に 深 く 御 礼 申 し 上 げると 共 に、 講 演 会 場 にお 集
はおこらないと 予 想 されることを 述 べられていま まり 頂 き、 熱 心 にご 聴 講 頂 きました 会 員 各 位 に 感 謝
した。
いたします。
33

国 内 会 議 報 告
2012 年 春 季 第 59 回 応 用 物 理 学 会 関 連 連 合 講 演 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 チュートリアル 講 演 報 告
東 北 大 学 金 子 俊 郎
応 物 学 会 では,2011 年 秋 季 講 演 会 からチュート
リアル 講 演 を 実 施 しております. 内 容 は 大 学 の 講
義 のスタイルで, 最 近 のトピックスに 繋 がる 基 礎
的 内 容 をこれから 新 たに 学 ぼうとする 学 生 や 企 業
人 を 対 象 として 講 義 を 行 っていただくことが,チ
ュートリアル 講 演 の 趣 旨 となっています.
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 では, 今 回 の
2012 年 春 季 講 演 会 から 実 施 することになり,その
第 1 回 目 のチュートリアル 講 演 として,マイクロ
プラズマの 新 領 域 を 立 ち 上 げられ,プラズマ 計 測
の 基 礎 から 最 先 端 のマイクロプラズマや 液 中 プラ
ズマの 応 用 まで 展 開 されている 橘 邦 英 先 生 ( 大 阪
電 気 通 信 大 学 )にお 願 いいたしました.チュート
リアル 講 演 は, 下 記 の 開 催 案 内 にありますように,
学 会 初 日 の 午 前 中 に 設 定 しておりまして,ここで
勉 強 することによって, 午 後 のプラズマエレクト
ロニクス 分 科 会 企 画 のシンポジウム,および 翌 日
以 降 の 一 般 講 演 での 理 解 が 深 まることを 意 図 して
おります.
日 時 :2012 年 3 月 15 日 ( 木 )9:00~12:00
題 目 :マイクロプラズマの 基 礎 と 応 用
講 師 : 橘 邦 英 ( 大 阪 電 気 通 信 大 学 )
概 要 : 大 気 圧 下 の 気 体 や 液 体 中 で 生 成 される mm
以 下 の 大 きさのマイクロプラズマは, 従 来 の 低 圧
気 体 中 で 生 成 されるマクロスケールのプラズマと
は 違 ったプラズマパラメータや, 微 小 空 間 に 起 因
する 外 部 パラメータで 特 徴 づけられる.そのよう
な 特 性 をプラズマ 本 来 の 反 応 性 , 発 光 性 , 導 電 ・
誘 電 性 と 組 み 合 わせることによって,ナノ 材 料 の
合 成 , 微 量 化 学 分 析 ,フォトニックデバイス,さ
らには 環 境 ・バイオ・ 医 療 技 術 等 の 新 しい 応 用 技
術 への 展 開 が 進 められている. 本 講 義 では,マイ
クロプラズマの 特 性 を 分 析 した 上 で, 現 在 の 各 種
マイクロプラズマ 源 とその 応 用 技 術 の 基 礎 につい
て 解 説 し, 将 来 への 発 展 性 について 展 望 する.
当 日 は, 講 演 開 始 30 分 前 から 受 講 者 が 集 まり,
事 前 予 約 と 当 日 参 加 を 含 めて, 定 員 の 70 名 を 上 回
る 約 80 人 の 受 講 者 がおり,チュートリアル 講 演 へ
の 期 待 が 大 きいことを 実 感 いたしました.
講 義 では, 放 電 の 基 礎 から 分 かりやすく 説 明 さ
れ, 特 に 電 子 衝 突 による 励 起 ・ 電 離 における 電 離
係 数 αの 意 味 ,エネルギー 分 布 関 数 の 計 算 例 ,プ
ラズマ 周 波 数 と 分 散 関 係 など, 知 っているつもり
でも 意 外 と 分 かっていない 部 分 もあり, 学 生 はも
ちろんのこと, 教 員 の 立 場 でも 大 変 勉 強 になりま
した.また, 水 中 放 電 プラズマやマイクロプラズ
マの 生 成 法 ・ 測 定 法 について 説 明 されるとともに,
その 応 用 例 についても, 薄 膜 形 成 , 表 面 処 理 , 水
浄 化 処 理 ,さらには 医 療 応 用 で 細 胞 に 対 するプラ
ズマ 照 射 の 効 果 等 , 大 変 興 味 深 い 内 容 で 講 義 して
いただきました.
将 来 展 望 として, 今 後 の 発 展 が 期 待 できる 分 野
を 挙 げていただき, 環 境 応 用 ,バイオ・ 医 療 応 用 ,
新 規 デバイス(メタマテリアル) 開 発 等 がその 候
補 であり, 従 来 の 低 圧 ・ 大 容 量 プラズマで 実 現 で
きないパラメータ 領 域 での 特 性 を 活 用 し,できる
だけ 単 純 化 した 系 での 実 験 を 行 い(モデルとの 比
較 ), 異 なった 系 でも 類 似 性 を 見 出 すことで 物 理 法
則 を 明 らかにする(サイエンスを 構 築 )ことが 重
要 であることを 強 調 されました. 最 後 に,『 新 しい
プラズマ・サイエンスの 領 域 は 創 製 できるか』
との,いまプラズマ 研 究 者 が 直 面 している 極 めて
重 要 な 課 題 を 提 起 していただき, 講 義 を 締 めくく
られました.
3 時 間 という 非 常 に 長 い 時 間 ではありましたが,
その 時 間 を 感 じさせない, 分 かりやすい, 興 味 深
い 講 義 でありました.また, 講 義 で 使 用 するテキ
ストも 大 変 丁 寧 に 作 成 していただきまして, 橘 先
生 の 本 講 義 に 対 する 熱 意 が 伝 わって 参 りました.
あらためまして,ご 講 演 いただきました 橘 先 生
と, 会 場 にお 集 まり 頂 きました 方 々に 感 謝 申 し 上
げます.
講 演 される 橘 先 生 ( 左 )と 受 講 者 ( 右 )
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国 内 会 議 報 告
2012 年 春 季 応 用 物 理 学 関 係 連 合 講 演 会 シンポジウム
カーボンナノ 材 料 プラズマプロセスの 将 来 展 望
~ 合 成 から 機 能 化 まで~
( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所 山 田 英 明
当 分 科 会 企 画 で、 表 記 シンポジウムが 3 月 15
日 に 早 稲 田 大 学 に 於 いて 開 催 された。カーボン 系
材 料 は、グラフェンやナノチューブ(CNT)など
比 較 的 新 規 な 材 料 から、ダイヤモンド、 特 にダイ
ヤモンド・ライク・カーボン(DLC)など、より
実 用 に 近 い 材 料 まで 多 種 多 様 だが、 全 てプラズマ
を 用 いて 合 成 可 能 な 点 が 共 通 している。 本 シンポ
ジウムでは、プラズマと 結 びつきの 深 いこれらの
カーボン 系 材 料 の 合 成 技 術 及 びその 機 能 化 に 関 し
て 第 一 線 で 活 躍 する 研 究 者 による 講 演 が 行 われた。
講 演 会 場 は 300 人 程 度 収 容 可 能 だったが、 立 ち 見
が 出 る 程 盛 況 で、 質 疑 応 答 も 活 発 であった。 関 心
の 高 さに 加 え、 複 数 領 域 からの 参 加 があったこと
が 要 因 の 一 つと 思 われる。 本 シンポジウムでは、6
件 の 招 待 講 演 者 に 加 え、 一 般 講 演 投 稿 者 の 中 から
希 望 があった1 件 の 講 演 が 行 われた。 以 下 に、そ
れぞれの 講 演 の 概 要 をまとめる。
斎 藤 氏 ( 産 総 研 )から、e-DIPS 法 と 呼 ばれる
気 相 ( 流 動 ) 法 による CNT の 高 速 ・ 大 量 合 成 技
術 、 及 び、その 半 導 体 としての 機 能 特 性 を 確 認 し
た 研 究 結 果 が 紹 介 された。 実 際 に 合 成 されていく
様 子 が 動 画 で 示 され、およそ 5 cm 径 の CNT 凝 集
体 が 180 m/hr 程 度 の 速 度 で 成 長 する、 大 量 合 成
技 術 として 極 めて 高 いポテンシャルを 見 せ 付 けた。
作 製 方 法 としては、スプレーで 噴 射 された 原 料 液
( 触 媒 =フェロセンを 含 むトルエンなどの 液 体 炭
化 水 素 )とキャリアガス 中 のエチレンの 2 種 類 の
炭 素 源 を 加 熱 し、CNT が 気 相 で 析 出 する。 長 さと
直 径 とが CNT の 機 能 を 左 右 する 重 要 な 制 御 パラ
メータであるとし、 講 演 では、ガスの 種 類 やその
分 解 する 領 域 の 制 御 、 及 び、エチレンガスの 流 量
の 制 御 による、 直 径 及 びカイラリティの 制 御 が 達
成 した 結 果 が 紹 介 された。 直 径 の 違 いはバンドギ
ャップの 違 いに 影 響 し、トランジスタのオフ 電 流
の 大 きさの 違 いとして 現 れることを 示 した。 一 方 、
光 吸 収 スペクトルを 用 いて、CNT の 直 径 を 比 較 的
簡 易 に 同 定 する 技 術 が 既 に ISO にて 技 術 仕 様 と
して 採 用 されているとのことであった。 大 竹 教 授
( 東 工 大 )からは、カーボン 系 材 料 の 中 で 最 も 実
用 技 術 に 近 い、DLC コーティング 技 術 及 びそのト
ライボロジー 特 性 について 紹 介 された。「 硬 い」 一
方 で、 相 手 も 自 分 も 傷 が 付 き 難 い 点 が DLC だけ
が 持 つ 特 長 である 点 や、グラフェンや CNT、 単 結
晶 ダイヤモンド 合 成 と 異 なり、イオンビームプロ
セス(イオン 衝 撃 が 必 須 )である 特 徴 などが 紹 介
された。 後 者 については DLC 業 界 では 広 く 知 ら
れた 点 とのことだが、Sp2(グラフェン・CNT)
や Sp3(ダイヤモンド) 構 造 作 製 が 必 要 としない
イオン 衝 撃 を DLC が 何 故 必 要 とするのかは 未 解
明 とのことであった。タングステンメッシュによ
るマスクを 用 いて DLC を 賽 の 目 上 に 合 成 するこ
とで 磨 耗 特 性 を 飛 躍 的 に 改 善 した。 更 に、メッシ
ュサイズや 表 面 の 機 能 化 などにより 更 なる 改 善 が
可 能 ということであった。DLC は、 製 法 ・ 膜 質 な
ど、 定 義 に 依 っては 極 めて 広 い 範 疇 のカーボン 材
料 を 含 む。 実 用 が 近 いこともあり、ニューダイヤ
モンドフォーラム(http://www.jndf.org/、 後 述 の
川 原 田 教 授 が 会 長 )により 標 準 化 へ 向 けての 活 動
中 とのことであった。 金 氏 ( 産 総 研 )からは、 表 面
波 プラズマを 用 いたグラフェンの 大 面 積 合 成 技 術
が 紹 介 された。 熱 CVD と 比 して 低 温 で 合 成 可 能
であり、 且 つ 高 い 電 子 温 度 ・ 密 度 を 達 成 できる 点
から、 表 面 波 プラズマの 優 位 であるとして、 既 に
A3 サイズのグラフェンシートを Roll-to-Roll で 作
製 できる 装 置 の 開 発 を 紹 介 した。また、 作 製 した
グラフェンシートを 透 明 タッチパネルとして 実 際
に 利 用 できる 試 作 機 を 示 し、 材 料 合 成 からアウト
プットとなる 製 品 にまで 幅 広 いアクティビティが
35

紹 介 された。グラフェン 量 産 機 としての 難 点 とし
て、Roll-to-Roll 機 構 を 真 空 チャンバ 中 に 格 納 する
などを 挙 げた。CNT と 並 び 大 量 合 成 技 術 が 確 立 さ
れつつあるので、 今 後 は、コスト 低 減 と 品 質 向 上
などが 課 題 となると 思 われる。 堀 教 授 ( 名 大 )か
らは、カーボンナノウォールの 合 成 とその 機 能 化
について 紹 介 された。グラフェンが 基 材 に 対 して
垂 直 に 配 向 しており、 各 々のグラフェンシートの
エッジが 密 集 して 露 出 している 点 から、エッジが
使 用 可 能 な 点 などが 特 長 とした。 同 教 授 らは、ノ
ーベル 賞 受 賞 へと 繋 がるグラフェンシート 作 製 と
電 気 的 特 性 に 関 する 英 国 研 究 者 による 発 表 と 同 時
期 である 2004 年 に、 既 に 触 媒 を 使 用 せずにグラ
フェン 合 成 に 成 功 していたという。カーボンナノ
ウォールの 形 態 (シートの 直 線 性 など)や、 密 集
度 (ウォール 同 士 の 間 隔 )、に 加 え 電 気 的 特 性 など
を 合 成 条 件 に 依 ってある 程 度 自 由 に 制 御 できるこ
とを 示 した。 表 面 積 の 高 さを 利 用 して 燃 料 電 池 へ
の 応 用 が 紹 介 され、 超 臨 界 状 態 を 用 いることで、
作 成 後 のナノウォール 表 面 に TiO2 を 高 い 分 散 性
で 付 着 させることが 可 能 であることが 紹 介 された。
この TiO2 はルチル 型 ではなく、アナターゼ 型 と
して 選 択 的 に 形 成 されているとのことであった。
「 第 2 のノーベル 賞 」に 期 待 したい。 川 原 田 教 授
( 早 大 )からは、 同 教 授 が 20 年 余 かけて 取 り 組
んできた、プラズマ CVD を 用 いたダイヤモンド
合 成 技 術 、 及 び、CNT 合 成 技 術 、また、これらの
電 子 デバイス 応 用 について 紹 介 された。ECR プラ
ズマを 用 いた 合 成 装 置 や、マイクロ 波 を 導 入 する
同 軸 アンテナの 先 端 で 放 電 する( 先 端 放 電 型 ) 合
成 装 置 などの 開 発 を 行 ってきた。また、その 折 の
プラズマ 診 断 について 触 れ、エチレンの 光 吸 収 強
度 が 合 成 速 度 と 良 く 対 応 しているとした。SiC や
Ir 上 のダイヤモンドのヘテロエピタキシャル 成 長
についても 触 れ、やはり 核 生 成 のためにはバイア
スが 必 要 とした。 先 に 述 べた 先 端 放 電 型 合 成 装 置
を 用 いたリモートプラズマにより、CNT の 合 成 も
可 能 とした。 同 位 体 制 御 ガスを 用 いて、CNT の 成
長 は 先 端 ではなく 触 媒 金 属 側 から 持 ち 上 がる 様 に
して 進 行 していること 示 す 結 果 を 示 した。 電 子 デ
バイス 応 用 研 究 例 としては、ダイヤモンドに 関 し
ては 表 面 伝 導 層 を 利 用 した 高 周 波 デバイスやバイ
オセンサへの 応 用 、CNT については、 微 細 配 線 へ
の 応 用 などが 紹 介 された。 酒 井 氏 ( 東 芝 、LEAP)
からは、 次 世 代 超 低 消 費 電 力 デバイスを 達 成 する
ための、CNT を 用 いた 3 次 元 配 線 技 術 の 確 立 を
目 指 した 研 究 開 発 の 現 状 について 紹 介 された。こ
れは 2010 年 から METI プロジェクトとして 開 始
され、 昨 年 より NEDO プロジェクト(100 億 円 /
年 規 模 )として 継 続 実 施 されており、 早 期 の 実 用
化 を 目 指 している。TIA-nano(つくば)にあるΦ
300 mm ラインを 用 いて 実 施 されている。 次 々 世
代 の 不 揮 発 性 メモリの 高 集 積 化 において、 線 幅 の
縮 小 に 伴 う 高 抵 抗 化 を 抑 制 するため、Cu と 比 較
すると、 微 細 化 に 伴 う 抵 抗 の 上 昇 が 少 ない CNT/
グラフェンに 期 待 し、その 制 御 されたプロセスに
取 り 組 んでいるという。サブミクロン 径 のトレン
チ 内 に CNT を 成 長 させる 技 術 や、 段 差 を 起 点 と
してグラフェンシートを 選 択 的 に 成 長 する 技 術 な
どが 紹 介 された。 加 藤 助 教 ( 東 北 大 )は、 合 成 時
間 や 触 媒 金 属 組 成 の 選 択 から、カイラリティ 制 御
を 試 みた 結 果 が 紹 介 された。 上 記 した 手 法 により、
熱 力 学 的 に 安 定 な(6,5)のカイラリティを 持 った
CNT を 選 択 的 に 成 長 させられることを 示 した。し
かしながら、 成 長 時 間 が 限 定 されることから、
CNT 長 さの 制 御 が 難 点 で、 今 後 の 課 題 とした。 更
に、 合 成 条 件 の 最 適 化 による、SiO2 上 への 高 品 質
グラフェンシートへ 直 接 合 成 した 例 が 紹 介 された。
SiO2 上 へ Ni 薄 膜 を 塗 布 し、プラズマ 相 で 生 成 さ
れたカーボン 源 がこの 薄 膜 内 を 拡 散 した 後 に
SiO2 上 へグラフェンシートとして 析 出 するとい
う“マイルド”な 合 成 条 件 が 重 要 とした。 作 製 し
たリボン 状 のグラフェンシートのエッジのみへ、
室 温 下 で 選 択 的 に 化 学 修 飾 することに 成 功 した 様
子 を 示 した。これにより、 電 気 的 特 性 の 制 御 にも
成 功 したとした。
追 記 : 本 シンポジウムは、 金 子 先 生 ( 東 北 大 )
を 中 心 に、 栗 原 先 生 ( 東 芝 )、 佐 藤 先 生 ( 東 北 大 )、
安 部 先 生 ( 新 潟 大 )、 坪 井 先 生 (アルバック)、 比
村 先 生 ( 京 都 工 繊 大 )、 平 松 先 生 ( 名 城 大 )、 及 び、
小 職 を 含 む 担 当 幹 事 間 での 議 論 を 元 に 企 画 ・ 実 施
されたことを 付 記 致 します。また、 開 催 に 当 り、
金 子 先 生 と 共 に 司 会 のご 協 力 頂 いた 須 田 先 生 ( 豊
橋 技 科 大 )と、ご 参 加 頂 いた 皆 様 に 御 礼 申 し 上 げ
ます。
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国 内 会 議 報 告
第 9 回 プラズマ 新 領 域 研 究 会 「 微 粒 子 プラズマ 応 用 の 最 前 線 」
九 州 大 学 内 田 儀 一 郎
第 9 回 プラズマ 新 領 域 研 究 会 「 微 粒 子 プラズマ
応 用 の 最 前 線 」を 平 成 22 年 度 11 月 19、20 日 の 両
日 、 核 融 合 科 学 研 究 所 ( 岐 阜 県 土 岐 市 )で 開 催 し
ました。 第 12 回 微 粒 子 プラズマ 研 究 会 に 応 用 セッ
ションを 設 けさせて 頂 き、 共 同 開 催 とさせて 頂 き
ました。 土 日 の 休 日 にもかかわらず 32 名 ( 国 内
28 名 、 外 国 4 名 )が 参 加 し、 最 新 の 微 粒 子 プラズ
マに 関 する 研 究 発 表 、 並 びに 活 発 な 討 論 を 行 うこ
とができました。 研 究 会 では 5 名 の 講 師 の 先 生 方
に 英 語 でご 講 演 をお 願 い 致 しました。カーボン 微
粒 子 生 成 ( 静 岡 大 三 重 野 先 生 )に 関 しては、ア
ーク 放 電 プラズマ 中 で 発 生 するカーボン 微 粒 子 の
レーザー 散 乱 その 場 計 測 についてご 紹 介 頂 き、 気
相 中 微 粒 子 の 密 度 と 粒 径 計 測 についての 実 験 結 果
をご 発 表 頂 きました。ポリマー 微 粒 子 生 成 ( 金 沢
大 田 中 先 生 )においては、アーク 放 電 プラズマ
とポリマー 材 料 表 面 との 相 互 作 用 に 関 する 研 究 を
ご 紹 介 頂 き、ポリマー 基 板 からポリマー 微 粒 子 が
気 相 中 にダイナミックに 放 出 される 最 新 の 実 験 ・
解 析 結 果 をご 発 表 頂 きました。 微 粒 子 の 基 板 配 置
技 術 ( 京 都 工 芸 繊 維 大 高 橋 先 生 )に 関 しては、
100 ミクロンオーダーのマスクを 気 相 中 に 設 置 し、
プラズマ 中 浮 遊 微 粒 子 群 をマスク 形 状 に 合 わせて
基 板 に 配 置 する 最 新 パターニング 技 術 をご 紹 介 頂
きました。バイオ 応 用 (( 株 )アイエスアイ 竹 田
先 生 )に 関 しては、 微 粒 子 の 化 粧 品 への 応 用 とそ
の 最 新 動 向 をご 紹 介 頂 きました。 微 粒 子 の 気 相 中
構 造 形 成 ( 横 浜 国 立 大 石 原 先 生 )に 関 しては、
微 粒 子 プラズマの 最 も 有 名 な 物 理 現 象 であるクー
ロン 結 晶 構 造 形 成 について、 最 新 の 研 究 成 果 をご
紹 介 頂 きました。プラズマを 利 用 した 微 粒 子 生 成
には、 微 粒 子 の 凝 集 を 制 御 できる 等 のプラズマプ
プロセス 特 有 の 大 きな 利 点 があります。 本 研 究 会
ではプラズマ 微 粒 子 の 産 業 応 用 に 向 けた 活 発 な 議
論 を 行 うことができ、 大 変 有 意 義 な 研 究 会 となり
ました。ご 多 忙 の 中 ご 講 演 頂 いた 先 生 方 に、この
場 を 借 りて 改 めて 御 礼 申 し 上 げます。
プログラム
26 日 ( 土 )
16:20-17:00 静 岡 大 学 三 重 野 哲
Shizuoka Univ., T. Mieno
“Production and coagulation of carbon
clusters by plasma”
17:00-17:40 ( 有 ) アイエスアイ 竹 田 篤
ISI Inc., A. Takeda
“Plasma application and processing of
nanobio particles for bio protection”
27 日 ( 日 )
9:30-10:10 金 沢 大 学 田 中 康 規
Kanazawa Univ., Y. Tanaka
“Dynamic behaviors of spallation particles
from polymers during irradiation of Ar
thermal plasmas with different molecular
gases”
10:10-10:50 京 都 工 芸 繊 維 大 学 高 橋 和 生
Kyoto Instisute of Technology, K. Takahashi
“Trapping and Pattering of dust particles in
13.56 MHz RF plasmas”
11:00-11:40 横 浜 国 立 大 学 石 原 修
Yokohama National Univ., O. Ishihara
“Low dimensional structure in complex
plasma”
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国 内 会 議 報 告
第 10 回 プラズマ 新 領 域 研 究 会
( 於 東 京 工 業 大 学 すずかけ 台 キャンパスすずかけホール)
東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 佐 藤 岳 彦
第 10 回 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニク
ス 分 科 会 プラズマ 新 領 域 研 究 会 「 大 気 圧 プラズマ
生 成 における 気 相 反 応 シミュレーション」が,2011
年 12 月 15 日 に 東 京 工 業 大 学 すずかけ 台 キャンパ
スにて 開 催 された. 本 研 究 会 は, 電 気 学 会 プラズ
マ 技 術 委 員 会 プラズマ 研 究 会 ( 岐 阜 大 学 , 神 原 信
志 先 生 ご 担 当 )の 協 力 を 頂 き 共 催 とした.
大 気 圧 プラズマは, 低 温 で 化 学 的 活 性 種 を 簡 便
に 生 成 できることから, 材 料 プロセスから 医 療 ま
で 幅 広 く 研 究 が 進 められている. 大 気 圧 プラズマ
は,マルチスケールな 時 空 間 軸 を 包 含 する 現 象 だ
けでなく, 熱 流 動 場 , 化 学 反 応 場 , 電 磁 場 などを
重 畳 する 複 雑 な 物 理 現 象 を 形 成 している. 近 年 ,
これらの 現 象 を 数 値 解 析 により 解 明 できるように
なってきたため, 大 気 圧 プラズマの 生 成 や 化 学 反
応 に 関 する 最 新 の 数 値 解 析 による 研 究 について 講
演 を 頂 いた.
本 研 究 会 は, 招 待 講 演 5 件 からなり, 講 演 者 と
講 演 内 容 は 下 記 の 通 りである. 神 原 信 志 先 生 ( 岐
阜 大 学 )は,「 大 気 圧 プラズマ 生 成 における 気 相 反
応 シミュレーション」の 演 題 で, 低 温 水 素 酸 化 処
理 プロセスの 化 学 反 応 モデルの 構 築 と 解 析 につい
て, 小 野 亮 先 生 ・ 小 室 淳 史 氏 ( 東 京 大 学 )は,「 大
気 圧 ストリーマ 放 電 シミュレーション- 活 性 種 計
測 結 果 の 再 現 を 目 指 して」の 演 題 で, 空 気 中 の1
次 ・2 次 ストリーマの 数 値 モデル 構 築 と 解 析 に 加
え, 実 験 結 果 との 比 較 を 通 したモデルの 妥 当 性 の
検 証 について, 高 奈 秀 匡 先 生 ( 東 北 大 学 )は,「 高
温 . 高 圧 下 における 空 気 ・メタン 混 合 気 中 のスト
リーマ 進 展 過 程 とラジカル 生 成 特 性 」の 演 題 で,
CH 3 や 酸 素 ラジカルの 生 成 量 の 圧 力 ・ 温 度 依 存 特
性 について, 大 西 直 文 先 生 ( 東 北 大 学 )は,「 大 気
圧 プラズマによる 流 れ 場 生 成 過 程 の 粒 子 シミュレ
ーション」の 演 題 で,PIC-MCC 法 による DBD プ
ラズマアクチュエータの 放 電 過 程 について, 野 崎
智 洋 先 生 ( 東 京 工 業 大 学 )は,「 大 気 圧 プラズマ・
触 媒 の 複 合 反 応 系 のシミュレーション」の 演 題 で,
マイクロプラズマを 利 用 してメタンからメタノー
ルを 直 接 合 成 する 手 法 とその 反 応 シミュレーショ
ンについて,ご 講 演 頂 いた.
大 気 圧 プラズマの 放 電 ・ 熱 流 動 ・ 反 応 モデルの
構 築 や 数 値 解 析 法 の 開 発 では,より 実 際 の 現 象 に
近 づける 工 夫 や 計 算 時 間 の 短 縮 の 工 夫 などが 紹 介
されるだけでなく, 実 験 解 析 の 結 果 との 違 いにつ
いての 考 察 など, 深 く 討 論 を 進 めることができた.
講 演 者 は, 電 気 , 化 学 , 機 械 などを 基 盤 とする 研
究 者 であり, 異 分 野 を 横 断 する 内 容 で, 大 気 圧 プ
ラズマの 数 値 解 析 の 発 展 を 大 いに 期 待 できる 研 究
会 となった.
最 後 に, 本 研 究 会 の 招 待 講 演 者 ならびに 参 加 者 ,
プラズマ 研 究 会 ,プラズマエレクトロニクス 分 科
会 , 応 用 物 理 学 会 事 務 局 の 皆 様 に 謝 意 を 表 します.
プラズマ 研 究 会 各 位 におかれましては, 会 場 の 準
備 も 頂 きました. 重 ねて 謝 意 を 表 します.
38

国 内 会 議 報 告
第 26 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 報 告
室 蘭 工 業 大 学 佐 藤 孝 紀 、 愛 媛 大 学 神 野 雅 文
第 26 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 は、 平 成
24 年 3 月 2 日 ( 金 ) 午 後 、 社 団 法 人 照 明 学 会 光
源 ・ 照 明 システム 分 科 会 、 公 益 社 団 法 人 応 用 物 理
学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 および 千
葉 工 業 大 学 先 端 放 電 プラズマ 研 究 センターの 共 催
で 開 催 された。 開 催 場 所 は 昨 年 に 引 き 続 き 千 葉 工
業 大 学 津 田 沼 キャンパス 新 1 号 館 2 階 会 議 室 であ
った。 発 表 件 数 は5 件 であり、 昨 年 よりも1 件 少 な
かったが、 大 気 圧 放 電 特 性 の 解 析 、 液 晶 バックラ
イト 光 源 や 無 水 銀 HIDランプの 始 動 特 性 、 蛍 光 ラ
ンプの 高 効 率 化 の 検 討 など、バラエティーに 富 ん
だ 発 表 内 容 であった。
ヘリウムガス 直 流 グロー 放 電 構 造 のガス 圧 力 依
存 性 に 関 する 報 告 では、 荷 電 粒 子 密 度 、 電 界 強 度 、
ガス 温 度 に 対 する 圧 力 変 化 の 影 響 が 検 討 され、ガ
ス 圧 増 加 に 伴 ってHe + イオンとHeの 三 体 衝 突 で
生 成 されるHe2 + イオン 密 度 が 急 激 に 増 加 するこ
となどが 示 された。
DBDの 二 次 電 子 放 出 係 数 に 関 する 報 告 では、イ
オンおよび 準 安 定 励 起 原 子 による 誘 電 体 からの 二
次 電 子 放 出 が 放 電 特 性 に 与 える 影 響 が 検 討 され、
これらが 放 電 開 始 電 圧 を 低 下 させる 一 つのモデル
を 示 した。
液 晶 バックライト 用 の 細 管 冷 陰 極 ランプに 関 す
る 発 表 では、 正 弦 波 交 流 励 起 周 波 数 を100Hz 以 上
にすると 再 点 弧 電 圧 が 急 激 に 低 下 すること、 直 流
パルス 励 起 放 電 の 周 波 数 特 性 からNe 準 安 定 励 起
励 起 原 子 寿 命 を 求 めることが 可 能 であること、が
報 告 された。
無 水 銀 HIDランプに 関 する 報 告 では、 一 般 に
23kV 程 度 のランプ 始 動 電 圧 を 低 減 させるため、 始
動 特 性 を 調 査 した 結 果 が 示 された。 発 光 管 と 外 管
の 間 に 封 入 されるシュラウドガスガスをArガス
にすること、および 発 光 管 近 傍 に 導 体 を 設 置 する
ことにより、 始 動 電 圧 を 低 減 できることが 明 らか
になった。
蛍 光 ランプの 効 率 化 に 関 する 報 告 では、キセノ
ン 傾 向 ランプの 駆 動 電 圧 をバーストパルスにする
ことでキセノンの 電 離 と 共 鳴 電 子 や 準 安 定 原 子 生
成 に 寄 与 するパルスを 分 離 する 方 法 が 検 討 された。
補 助 波 形 を 三 角 波 にすると 主 パルスと 分 散 して 電
力 を 注 入 でき、 最 大 投 入 電 力 の 向 上 が 可 能 となる
こと、および 補 助 波 にパルス 波 を 用 いると 高 効 率
点 灯 が 可 能 であることが 示 された。
最 後 になるが、 今 回 の 研 究 会 実 施 に 当 って、 会
場 提 供 ・ 準 備 等 で 多 大 なるご 協 力 をいただいた 千
葉 工 業 大 学 の 伊 藤 晴 雄 先 生 、 鈴 木 進 先 生 、 小 田 昭
紀 先 生 と 同 研 究 室 の 学 生 諸 氏 、 照 明 学 会 光 源 ・ 照
明 システム 分 科 会 明 石 治 朗 先 生 、ならびに 電 気 学
会 事 業 サービス 課 に 謹 んで 御 礼 申 し 上 げたい。
第 26 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 プログラム
LS-11-03・PE-11-01:ヘリウムガス 直 流 グロー 放
電 構 造 のガス 圧 力 依 存 性 に 関 する 計 算 機 解 析
小 田 昭 紀 ( 千 葉 工 業 大 学 )
LS-11-04・PE-11-02:Ar DBDの 二 次 電 子 放 出 係
数 に 関 する 一 次 元 流 体 モデル 計 算
吉 永 智 一 、 明 石 治 朗 ( 防 衛 大 学 校 )
LS-11-05・PE-11-03: 細 管 冷 陰 極 Ne 放 電 中 の 放
電 開 始 電 圧 と 準 安 定 原 子 の 寿 命 計 測
後 藤 みき 荒 井 俊 彦 ( 神 奈 川 工 科 大 )
LS-11-06・PE-11-04: 自 動 車 用 無 水 銀 HIDラン
プの 始 動 電 圧 の 低 減 の 可 能 性 検 討
植 月 唯 夫 * 大 田 貴 史 ( 津 山 工 業 高 等 専 門 学 校 )
志 藤 雅 也 津 田 俊 明 小 野 田 幸 央
( 株 式 会 社 小 糸 製 作 所 )
LS-11-07・PE-11-05:バーストパルス 駆 動 による
蛍 光 ランプの 高 効 率 化 の 試 み
本 村 英 樹 * 山 田 真 也 山 本 雄 大 神 野 雅 文
( 愛 媛 大 )
39

行 事 案 内
2012 年 秋 季 第 73 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 主 催 シンポジウム
「プラズマのバイオ・ 医 療 への 応 用 - 生 体 支 援 のためのプラズマ-」
京 都 工 芸 繊 維 大 学 比 村 治 彦
松 山 市 において 開 催 されます 今 秋 の 応 物 学 会 に
おきまして、 表 題 のような 分 科 主 催 のシンポジウ
ムを 開 催 いたします。 以 下 では、その 概 要 等 を 会
員 各 位 にお 知 らせいたします。
開 催 日 時
この 行 事 案 内 を 執 筆 している 段 階 では、 学 会 2
日 目 (9/12)の 午 後 に 開 催 させていただく 予 定 と
なっておりますが、 未 定 です。 正 式 な 日 時 は、 応
物 学 会 から 公 開 されます 学 会 プログラムにてご 確
認 いただきますよう、よろしくお 願 いいたします。
趣 旨
近 年 、 低 温 で 小 型 かつ 比 較 的 高 気 圧 下 でのプラ
ズマ 生 成 が 安 定 に 行 えるようになってきた 事 に 伴
い、その 応 用 分 野 の 裾 野 は 他 分 野 との 境 界 領 域 を
超 えた 奥 底 へと 急 速 な 広 がりを 見 せています。そ
の 領 域 の 一 つに「 医 療 ・バイオ」があります。 本
シンポジウムでは、 医 療 や 農 業 へのプラズマ 応 用
に 関 する 研 究 開 発 を 幅 広 い 分 野 の 方 々から 紹 介 し
ていただき、 現 在 の 研 究 開 発 の 状 況 から 残 されて
いる 未 解 決 研 究 開 発 課 題 まで、 新 たな 研 究 者 がこ
の 分 野 へと 入 って 仕 事 を 始 めるのに 有 益 な 情 報 を
開 示 していただきます。また、すでに 欧 米 におい
ても 複 数 のプラズマ 研 究 者 がそれぞれのオリジナ
リティーをもって「 医 療 ・バイオ」 分 野 へとアプ
ローチを 開 始 しています。このような 諸 外 国 での
動 向 も 本 シンポジウムでご 紹 介 いただき、 今 後 日
本 のプラズマ 研 究 者 がどのような 手 段 や 組 織 で
「 医 療 ・バイオ」 分 野 へのプラズマ 応 用 研 究 に 取
り 組 むのが 効 率 的 か 全 体 討 論 します。
トピックス 性
本 シンポジウムは、 一 昨 年 の 六 月 に 閣 議 決 定 さ
れた 新 成 長 戦 略 において 掲 げられました「ライフ
イノベーションによる 健 康 大 国 戦 略 」を 受 けて 設
定 されたものです。 現 在 、 科 学 技 術 全 分 野 を 貫 い
ているタイムリーなホットトピックスのプラズマ
科 学 分 野 版 という 位 置 づけになります。
講 演 予 定 者 ・ 講 演 題 目 一 覧
以 下 のように、 研 究 所 、 企 業 、 大 学 から 幅 広 く
ご 講 演 いただきます。
○ 榊 田 創 ( 産 総 研 )
「プラズマ 物 理 ・ 技 術 とその 展 開
(~ 医 療 への 道 ~)」
○ 板 橋 直 志 ( 日 立 )
「 半 導 体 技 術 を 用 いた 医 療 バイオ 向 け
アレイデバイスの 製 造 と 評 価 」
○ 山 内 俊 之 (パナソニック)
「 静 電 霧 化 技 術 による 室 内 有 害 物 質 の 浄 化 」
○ 林 信 哉 ・ 三 沢 達 也 ( 佐 賀 大 )
「プラズマの 農 産 物 への 応 用
- 殺 菌 から 成 長 促 進 まで-」
○ 秋 山 秀 典 ( 熊 本 大 )
「プラズマ・パルスパワーの
細 胞 への 作 用 と 利 活 用 」
○ 堀 勝 ( 名 大 )
「 大 気 圧 プラズマによるがん 及 び
細 胞 の 不 活 性 化 と 未 来 医 療 への 展 開 」
○(プラス) 一 般 講 演 より 2~3 名 の 方
「・・・・・・・・・・・・」
会 員 各 位 におかれましては 本 シンポジウムにて 当
該 研 究 領 域 に 関 する 理 解 を 深 めて 頂 きますととも
に、 今 後 の 研 究 の 展 開 につきましてもご 議 論 いた
だきたく、よろしくお 願 いいたします。
40

行 事 案 内
第 6 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール 案 内
大 阪 大 学 唐 橋 一 浩
このたび、ションホールを 企 画 致 しましたので 会
員 の 皆 様 に 御 案 内 申 し 上 げます。 学 生 の 皆 様 を 初 め
若 手 研 究 者 および 技 術 者 の 皆 様 お 誘 い 合 わせのうえ
多 数 参 加 頂 けますよう、 会 員 の 皆 様 からお 勧 め 下 さ
いますようお 願 い 申 し 上 げます。
開 催 日 時 :
2012 年 9 月 19 日 ( 水 )13:00 ~ 21 日 ( 金 )13:00
開 催 場 所 :
国 立 中 央 青 少 年 交 流 の 家
〒412-0006 静 岡 県 御 殿 場 市 中 畑 2092-5
内 容 :
プラズマエレクトロニクス 研 究 を 始 めたばかりの
初 学 者 ( 学 生 ・ 若 手 研 究 者 ・ 社 会 人 技 術 者 )を 対 象
として、 一 流 の 講 師 陣 を 招 きプラズマエレクトロニ
クスへの 理 解 を 深 めて 頂 くための 講 習 会 です。
プラズマ 生 成 ・ 制 御 ,プラズマ 診 断 計 測 等 の 基 礎
分 野 から、プラズマ CVD およびエッチングに 加 えて、
進 展 著 しい 大 気 圧 プラズマ 等 の 応 用 分 野 に 関 する 専
門 講 座 を 開 講 し, 初 学 者 が 基 礎 プラズマ 工 学 の 知 識
が 一 通 り 習 得 できます.この 専 門 講 座 では、 従 来 形 式
の 単 なる 受 身 の 講 義 ではなくディベート 的 要 素 ( 問
答 )をも 加 味 し 受 講 者 参 加 型 の 人 材 育 成 プログラム
の 構 築 を 目 指 しています。 講 述 内 容 そのものは、 初
学 者 が 基 礎 学 理 をしっかりと 理 解 したうえで、 当 該
分 野 における 最 新 科 学 の 話 題 にも 触 れられるように
構 成 されています。そのうえで、 海 外 経 験 , 企 業 経
験 , 産 学 連 携 経 験 などの 豊 富 な 講 師 陣 からは、 留 学 ・
在 外 研 究 経 験 , 企 業 で 必 要 とされる 資 質 , 産 学 連 携
のエピソードなどを 適 時 交 えた 講 義 を 頂 き、 受 講 生
のプラズマプロセス 研 究 への 興 味 を 喚 起 します。さ
らに、 特 別 講 義 では、 新 たな 研 究 分 野 を 切 り 拓 いて
きた 一 流 研 究 “ 指 導 者 ”を 招 き、 当 該 分 野 の 最 新 動
向 や 指 導 者 に 必 要 とされる 資 質 について、 加 えて 理
科 系 の 英 語 力 向 上 に 関 して 多 数 の 著 書 をもつ 講 師 招
き 英 語 力 の 強 化 について 学 ぶ 機 会 を 提 供 します。ポ
スターセッションやレクレーションでは、 受 講 者 と
講 師 の 全 員 がお 互 いの 垣 根 なく 議 論 することで、 参
加 者 間 の 人 脈 形 成 が 促 されます。
【 専 門 講 座 】
1 「プラズマの 生 成 ・ 制 御 」
中 村 圭 二 先 生 ( 中 部 大 学 )
2 「プラズマ 診 断 計 測 」
山 形 幸 彦 先 生 ( 九 州 大 学 )
3 「プラズマCVD」
白 藤 立 ( 大 阪 市 立 大 )
4 「プラズマエッチング」
伊 澤 勝 先 生 ( 日 立 ハイテクノロジ)
5 「 大 気 圧 プラズマの 基 礎 」
酒 井 道 先 生 ( 京 都 大 学 )
【 英 語 講 座 】
「 理 科 系 のための 英 語 力 強 化 法 ( 仮 題 )」
志 村 史 夫 先 生 ( 静 岡 理 工 科 大 学 )
【 特 別 講 座 】
「リーディング 学 際 プラズマを 目 指 して」
畠 山 力 三 先 生 ( 東 北 大 学 名 誉 教 授 )
【ポスターセッション】
参 加 者 間 の 交 流 が 深 まるよう、ポスターセッション
を 中 心 とする 談 話 会 を 行 います。 参 加 者 自 身 のバッ
クグランドに 関 連 したもの、 例 えば、
‣ 学 生 の 場 合 : 現 在 の 研 究 テーマにまつわるも
の、 学 部 での 卒 業 研 究 など(4 年 生 の 場 合 これ
から 行 う 研 究 など)
‣ 社 会 人 の 場 合 : 仕 事 まつわるもの、 企 業 ・ 自
社 製 品 の PR, 入 社 前 の 大 学 での 研 究 など
であれば、 内 容 ・ 分 量 は 一 切 問 いません。 幅 0.9m×
高 さ1m 程 度 のボードが 用 意 されますので、あらか
じめポスターのご 準 備 をお 願 いします。また、 参 加
申 込 書 にポスター 内 容 を 示 すキーワードを3つ 程 度
ご 記 入 下 さい。キーワードを 元 にポスター 掲 示 場 所
をアレンジ 致 します。 本 ポスターセッションは 全 員
の 方 の 発 表 を 原 則 としますが、 発 表 に 支 障 がある 場
合 は 事 前 参 加 申 申 込 書 のポスターセッションキーワ
ード 欄 にその 旨 をご 記 入 下 さい。なお、 優 秀 なポス
ター 発 表 者 には 表 彰 を 行 います。
41

【その 他 】 懇 親 会 ,レクレーションを 予 定 していま
す。 本 企 画 HP に 当 日 の 詳 細 スケジュールを 記 載 して
おりますので 参 考 にして 下 さい。
参 加 申 込 :
【 申 込 方 法 】
本 企 画 ホームページから 参 加 申 込 書 をダウンロー
ドいただき,e-mail,FAX あるいは 郵 送 の 何 れかの
方 法 で 唐 橋 までお 申 し 込 みください. 申 込 を 受 け 次
第 , 参 加 登 録 確 認 を 通 知 します.その 後 に 参 加 費 を
振 り 込 んでください.なお, 参 加 費 の 振 り 込 みには
必 ず 個 人 名 と「PEIH」という 4 文 字 のアルファベッ
トを 記 載 してください( 例 : 木 村 さんの 場 合 “キム
ラ PEIH”)。 一 旦 振 り 込 まれた 参 加 費 は, 原 則 として
返 却 いたしません。
【 定 員 】 60 名
【 申 込 締 切 】 8 月 30 日 ( 水 )
【 振 込 先 】 三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 ( 本 店 でも 可 )
口 座 ( 普 通 )3339808 ( 社 ) 応 用 物 理 学 会 プラズマエ
レクトロニクス 分 科 会 ( 入 金 締 め 切 り 8 月 31 日 )
【 問 合 せ・ 申 込 先 】
〒565-0871 大 阪 府 吹 田 市 山 田 丘 2-1 大 阪 大 学 大 学
院 工 学 研 究 科 原 子 分 子 イオン 制 御 理 工 学 センター
唐 橋 一 浩 TEL: 06-6878-6411,FAX: 06-6879-7916
e-mail: karahashi@ppl.eng.osaka-u.ac.jp
学 生 会 員 への 交 通 費 補 助 :
下 記 の 交 通 費 補 助 の 条 件 をみたした 場 合 、 補 助
金 をインキュベーションホール 終 了 後 に 振 り 込 み
ます。 補 助 希 望 される 方 は、 参 加 申 込 書 に 必 要 事
項 を 記 入 のうえ、 領 収 書 のコピーを 持 参 下 さい。
< 交 通 費 補 助 の 条 件 >
在 学 する 大 学 の 最 寄 り 駅 から 御 殿 場 駅 まで 片 道
13,000 円 以 上 の 交 通 費 がかかる 学 生 会 員 若 しくは
今 回 学 生 会 員 ( 大 学 院 を 含 む)になられた 方 を 対 象
とします。ただし、 大 学 院 生 についてはポスターセ
ッションでの 発 表 を 必 須 条 件 とします。
本 企 画 の 詳 細 情 報 :
Homepage: http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files
/PE_SS_2012/index.html
担 当 幹 事 :
校 長 : 豊 田 浩 孝 ( 名 古 屋 大 学 )
幹 事 : 佐 藤 孝 紀 ( 室 蘭 工 業 大 学 )
榊 田 創 ( 産 業 技 術 総 合 研 究 所 )
平 松 美 根 夫 ( 名 城 大 学 )
坪 井 秀 夫 (アルバック)
吉 木 宏 之 ( 鶴 岡 高 専 )
前 田 賢 治 ( 日 立 製 作 所 )
三 沢 達 也 ( 佐 賀 大 学 )
石 川 善 恵 ( 香 川 大 学 )
唐 橋 一 浩 ( 大 阪 大 学 )
交 通 案 内 :
東 海 道 新 幹 線 を 利 用 する 場 合 :
三 島 駅 …[ 東 海 道 線 ]… 沼 津 駅 …[ 御 殿 場 線 ]…
御 殿 場 駅 (40 分 ),JR 御 殿 場 駅 から 御 殿 場 駅 富 士 山
口 1 番 のりば 富 士 急 行 「 青 少 年 交 流 の 家 行 き」 路
線 バス( 約 20 分 )
本 企 画 HP に 詳 細 な 交 通 案 内 を 記 載 しておりますの
で 参 考 にしてください。
プラズマエレクトロニクス 分 科
会 と 応 用 物 理 学 会 の 個 人 会 員
参 加 費
応 用 物 理 学 会
個 人 会 員
協 賛 学 協 会 の 個 人 会 員 とプラズ
マエレクトロニクス 分 科 会 の 個
人 会 員
その 他
一 般 40,000 円 43,000 円 48,000 円 53,000 円
学 生 14,000 円 17,000 円 22,000 円 27,000 円
* 応 用 物 理 学 会 賛 助 会 社 およびプラズマエレクトロニクス 分 科 会 賛 助 会 社 所 属 の 方 はそれぞれの 個 人 会 員 扱 いとさ
せて 頂 きます.** 遠 方 からの 会 員 学 生 ( 含 大 学 院 生 )に 対 して 交 通 費 の 一 部 を 補 助 する 予 定 . 詳 細 はHPをご 覧 下 さ
い.*** 本 分 科 会 会 員 ( 年 会 費 3000 円 )に 同 時 入 会 頂 くと, 今 回 から 会 員 価 格 で 参 加 出 来 ます. 会 員 には, 年 2 回 の
会 報 ( 非 売 品 ), 過 去 26 回 の 研 究 会 プロシーディングス Web 閲 覧 , 各 種 スクールへの 会 員 料 金 での 参 加 などのメリッ
トがあります. 入 会 手 続 きは https://www.jsap.or.jp/jsapweb/system/do/signInSelect より 行 って 下 さい.
【 協 賛 団 体 】 日 本 物 理 学 会 , 電 気 学 会 ,プラズマ・ 核 融 合 学 会 , 日 本 化 学 会 , 電 子 情 報 通 信 学 会 , 高 分 子 学
会 , 日 本 セラミックス 協 会 , 放 電 学 会 , 日 本 真 空 協 会 , 日 本 学 術 振 興 会 プラズマ 材 料 科 学 第 153 委 員 会 , 静
電 気 学 会 , 日 本 金 属 学 会 , 表 面 技 術 協 会 , 日 本 鉄 鋼 協 会 , 日 本 オゾン 協 会 、 電 気 化 学 会 , 日 本 表 面 科 学 会 , 原
子 衝 突 研 究 協 会
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行 事 案 内
第 23 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会
~プラズマプロセスの 基 礎 と 新 しい 応 用 に 向 けて~
主 催 : 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
協 賛 : ドライプロセスシンポジウム、AEC/APC シンポジウ
ム、 日 本 物 理 学 会 、 電 気 学 会 、プラズマ・ 核 融 合 学 会 、 日
本 化 学 会 、 電 子 情 報 通 信 学 会 、 放 電 学 会 、 日 本 真 空 協
会 ( 一 部 打 診 中 )
日 時 : 2012 年 11 月 14 日 ( 水 ) 9:30~18:00
場 所 : 東 京 大 学 本 郷 ( 浅 野 )キャンパス 武 田 先 端 知 ビル
東 京 都 文 京 区 弥 生 2-11-16
千 代 田 線 根 津 駅 或 いは 南 北 線 東 大 前 駅 下 車
http://www.u-tokyo.ac.jp/campusmap/cam01_04_16_j.html
内 容 /プログラム:
プラズマプロセスは、エレクトロニクス 分 野 の 先 進 デ
バイス 開 発 の 基 幹 技 術 であると 共 に、 医 療 やエネルギ
ー・ 環 境 応 用 を 始 めとする 幅 広 い 分 野 でも 欠 くことのでき
ない 基 盤 技 術 となりつつあります。この 背 景 を 踏 まえ、
本 講 習 会 では 開 発 ・ 製 造 の 現 場 で 必 要 とされるプラズマ
の 生 成 、 制 御 、モニタリング 技 術 の 基 本 を、 各 分 野 にて
第 一 線 でご 活 躍 の 先 生 方 よりご 講 義 頂 きます。
また 今 回 は 11/15( 本 講 習 会 翌 日 )より 開 催 されるプロ
セス 関 連 の 国 際 学 会 である 第 34 回 ドライプロセスシン
ポジウム http://www.dry-process.org/2012/index.html
との 連 携 も 行 い、 基 礎 から 応 用 まで 最 先 端 の 技 術 動 向
にも 触 れつつご 紹 介 致 します。 初 学 者 から 先 端 の 研 究
者 まで 幅 広 い 皆 様 のご 参 加 をお 待 ち 申 し 上 げます。
■ 第 1 部 :プラズマプロセスの 基 礎 9:30~12:30 ■
1. 『プラズマの 生 成 と 制 御 ・ 装 置 』
名 古 屋 大 学 掘 勝 先 生
2. 『 表 面 反 応 の 制 御 とドライエッチング 技 術 』
ラムリサーチ( 株 ) 野 尻 一 男 先 生
3. 『プラズマ 計 測 /モニタリング 技 術 』
名 古 屋 大 学 豊 田 浩 孝 先 生
■ 第 2 部 :プラズマ 技 術 の 最 前 線 13:30~18:00 ■
4. 『シミュレーション 技 術 』
慶 應 義 塾 大 学 八 木 澤 卓 先 生
5. 『 大 気 圧 プラズマとその 応 用 』
東 京 工 業 大 学 野 崎 智 洋 先 生
6. 『 設 備 管 理 (EES/FDC 等 ) 技 術 』
ルネサスエレクトロニクス( 株 ) 土 山 洋 史 先 生
7. 『DPS2011 に 見 るプラズマ 技 術 の 新 展 開 』
東 北 大 学 木 下 啓 藏 先 生
※ 各 講 義 は 日 本 語 で 行 います
参 加 費 : (テキスト 代 を 含 む。かっこ 内 は 学 生 )
• 応 物 ・PE 分 科 会 個 人 会 員 18000 円 (4000 円 )
• 応 物 個 人 会 員 ※ 21000 円 (5000 円 )
• 分 科 会 のみの 個 人 会 員 22000 円 (6000 円 )
• 協 賛 学 協 会 ・ 応 物 法 人 賛 助 会 員 22000 円 (6000 円 )
• その 他 24000 円 (8000 円 )
※ 参 加 申 込 時 に PE 分 科 会 ( 年 会 費 3,000 円 )に 御 入 会
頂 ければ、 分 科 会 個 人 会 員 扱 いとさせて 頂 きます。
定 員 : 100 名
お 申 込 み: プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ホームページ
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/ より
お 申 し 込 みの 上 、 下 記 指 定 口 座 へ 振 込 み 願 います。
-----------------------------------------------
三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 普 通 預 金 3339808
( 公 社 ) 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
-----------------------------------------------
※Web 申 し 込 み 期 限 10/30。 参 加 費 入 金 (11/7 まで)の
確 認 をもって 申 し 込 み 完 了 といたします。
お 問 合 せ:
上 村 さつき ( 応 物 事 務 局 )
TEL 03-5802-0863 FAX 03-5802-6250
e-mail: kamimura@jsap.or.jp
・・・ 申 し 込 み 手 続 き 関 連
辰 巳 哲 也 (ソニー、 担 当 幹 事 代 表 ) ・・・ 開 催 内 容 関 連
e-mail: Tetsuya.Tatsumi@jp.sony.com
・ 担 当 幹 事
安 部 隆 ( 新 潟 大 学 )、 池 田 太 郎 ( 東 京 エレクトロン)、
池 田 知 弘 ( 三 菱 電 機 )、 市 川 尚 志 ( 東 芝 )、
坪 井 秀 夫 (アルバック)、 西 澤 厚 (ルネサスエレ)、
前 田 賢 治 ( 日 立 )
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行 事 案 内
Gaseous Electronics Conference 2012
GEC Executive Committee Member 白 谷 正 治
GEC は, 電 子 ・イオン 衝 突 などの 放 電 基 礎 過
程 ,プラズマ 生 成 と 診 断 に 関 する 基 礎 物 理 ,プラ
ズマ 応 用 を3 本 柱 とする65 回 の 伝 統 を 誇 る 米 国 物
理 学 会 が 主 催 する 学 会 ですが, 米 国 だけでなくヨ
ーロッパやアジアからも 多 数 参 加 しているインタ
ーナショナルな 会 議 となっています GEC の 国 際
会 議 としての 拡 がりを 示 すイベントとして,1997
年 には 第 3 回 反 応 性 プラズマ 国 際 会 議 (ICRP-3)
と 合 同 でハワイのマウイ 島 で,そして 2010 年 10
月 に,フランスパリ 市 内 で 第 7 回 反 応 性 プラズマ
国 際 会 議 (ICRP-7)と 合 同 で 盛 況 のうちに 開 催 され
たのは 記 憶 に 新 しいところです.さて, 今 年 の
GEC2012 です,2011 年 10 月 22 日 〜26 日 に ア メ
リ カ テキサス 州 の The University of Texas at
Austin campus 内 の AT&T Conference Center で 開
催 されます.
今 年 の GEC では4つの Workshop が 下 記 のよう
に 計 画 されています.
(http://www.gec.org/gec2012/specialevents.php)
* Title: Workshop on Plasma Biomedicine
Organizer: David Graves, University of California,
Berkeley (graves@berkeley.edu)
Date: Monday, October 22 (all day)
*Title: Workshop on Plasma Cross Field Diffusion
Organizers: Rod Boswell, Australian National
University, Australia (rod.boswell@anu.edu.au) and
Igor Kaganovich, Princeton Plasma Physics
Laboratory (ikaganov@pppl.gov)
Date: Monday, October 22 (all day)
*Title: Workshop on Verification and Validation of
Computer Simulations in Low Temperature Plasma
Physics
Organizers: Miles Turner, Dublin City University,
Ireland (miles.turner@dcu.ie) and Mirko Vukovic,
Tokyo Electron (mirko.vukovic@us.tel.com)
Date: Monday, October 22 (evening)
*Title: Workshop on Plasma Data Exchange
Organizers: Leanne Pitchford, University Paul
Sabatier, France (pitchford@laplace.univ-tlse.fr) and
Annarita Laricchuita, CNR IMIP Bari, Italy
(GEC_PDEPworkshop@ba.imip.cnr.it)
Date: Tuesday, October 23 (evening)
一 般 講 演 の 申 し 込 みは,6 月 15 日 までに 米 国 物
理 学 会 のサイト the American Physical Society
online web submission process (http://abs.aps.org/)
から 投 稿 してください.
Key Dates:
• The deadline for receipt of abstracts: June 15,
2012
• GEC Student Award for Excellence
Nominations: June 15, 2012
• Early Registration Deadline: 未 定
• Deadline for hotel reservations (at conference
rate): September 21, 2012
その 他 の 詳 細 情 報 については website
(http://www.gec.org/gec2012/) をご 覧 く
ださい.なお,GEC Excom の 日 本 人 メンバーは
伝 統 的 に 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス
分 科 会 関 係 者 が 就 任 しております. 今 後 も,GEC
との 良 好 な 関 係 を 続 けるために, 一 人 でも 多 くの
日 本 人 参 加 者 の 御 講 演 ・ 御 出 席 をお 願 いする 次 第
です.
44

行 事 案 内
第 34 回 ドライプロセス 国 際 シンポジウム( 略 称 : DPS 2012)
34th International Symposium on Dry Process (DPS 2012)
( 株 ) 富 士 通 セミコンダクター 小 倉 輝
高 度 情 報 化 社 会 を 担 うマイクロエレクトロニ
クス 技 術 の 高 度 化 が 進 むなかで、 ドライプロセ
スの 役 割 はますます 大 きくなってきている。ドラ
イプロセスにおける 様 々な 物 理 的 ・ 化 学 的 現 象 の
解 明 は、 今 後 のマイクロエレクトロニクス、マイ
クロマシンやナノテクノロジー 分 野 を 中 心 とし
た 電 気 ・ 電 子 、 半 導 体 工 学 のみならず、 医 療 やバ
イオを 含 めた 先 端 技 術 産 業 の 発 展 と 新 たなる 応
用 の 開 拓 に 大 きく 寄 与 すると 期 待 される。
特 に、 半 導 体 技 術 を 中 心 とするドライプロセス
の 基 礎 および 応 用 に 関 して、 日 本 は 世 界 のトップ
レベルにあり、 研 究 者 ・ 技 術 者 の 数 も 多 い。この
ような 背 景 のもと、ドライプロセスの 基 礎 から 応
用 に 携 わる 世 界 の 研 究 者 が 一 堂 に 会 して、 先 端 的
成 果 を 発 表 ・ 討 論 し、 相 互 の 理 解 を 深 める 本 国 際
会 議 を 開 催 することは、 電 気 分 野 の 基 礎 ・ 材 料 の
発 展 のみならず 情 報 システム、マイクロエレクト
ロニクス、ディスプレイ、 半 導 体 デバイス、バイ
オテクノロジー、マイクロマシン、 機 能 性 材 料 を
基 盤 とする 電 気 ・ 電 子 ・ 情 報 ・バイオ 分 野 および
ナノテクノロジー 分 野 における 次 世 代 のブレー
クスルー 的 技 術 の 創 製 が 期 待 される。 詳 細 は 以 下
のURLをご 覧 ください。
URL: http://www.dry-process.org/2012
【 主 催 】 応 用 物 理 学 会
【 協 賛 】 電 気 学 会 、 電 子 情 報 通 信 学 会 , 放 電 学 会 ,
日 本 真 空 協 会 ( 依 頼 中 を 含 む)
【 開 催 期 間 】
2012 年 11 月 15 日 ( 木 )~16 日 ( 金 )
【 開 催 場 所 】
東 京 大 学 武 田 先 端 知 ビル 武 田 ホール
〒113-8656 東 京 都 文 京 区 弥 生 2-11-16
TEL: 03-5841-1180
【 招 待 講 演 】
Norikatsu Takaura (LEAP),
“Non-volatile memory device”
Koukou Suu (Ulvac),
“The development of etching technology for
non-volatile memory”
Tetsuji Shimizu (Max Planck Institut),
“Non-thermal atmospheric plasma for use
in medical application”
Toshiya Hirai (Sony),
“Quality control for dry process through
APC/EES”
Toshiaki Kato (Tohoku University),
“Controllable graphene growth using novel
plasma catalytic deposition”
【トピックス・スコープ】
一 般 講 演 分 野 :
・ドライエッチング 技 術
・プラズマプロセスを 用 いた 製 造 サイエンス
・ 表 面 反 応 およびプラズマ 誘 起 ダメージ
・プラズマおよび 表 面 のモニタリングと 診 断 技 術
・モデリングとシミュレーション
・プラズマ 生 成 技 術
・ 製 膜 (PVD/CVD/ALD) 技 術
・3 次 元 デバイス,フラットパネルディスプレイ,
太 陽 電 池 へのプラズマ 応 用
・ 新 デバイス 材 料 (メモリ、パワー、ロジック
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デバイス)へのプラズマ 応 用
・ 医 療 、 薬 理 作 用 、マイクロメカニカル
エレクトロシステム(MEMS)、ナノ 科 学
・ 大 気 圧 、 液 体 プラズマプロセス
・ 新 規 のプラズマ 応 用 技 術
アレンジセッション:
・ 不 揮 発 性 メモリのプロセス 技 術
・プラズマの 医 療 薬 理 アプリケーション
【 会 議 使 用 言 語 】
英 語
(http://jjap.jsap.jp/special/)から 投 稿 してくださ
い。 特 集 号 の 特 別 編 集 委 員 会 により 通 常 の JJAP
審 査 手 順 を 経 て 掲 載 を 判 断 します。
【 参 加 費 】
主 催 協 賛 学 会 会 員 30,000(35,000) 円
非 会 員 35,000(40,000) 円
学 生 8,000(10,000) 円
(カッコ 内 は、2012 年 10 月 17 日 以 降 )
※プロシーディングス 代 含 む、
懇 親 会 費 は 含 まない
【 会 議 関 連 スケジュール】
講 演 申 込 締 切
2012 年 7 月 29 日
講 演 採 択 通 知
2012 年 9 月 初 旬
事 前 参 加 申 込 締 切 2012 年 10 月 16 日
JJAP 特 集 号 投 稿 締 切 2012 年 11 月 15 日
【 講 演 申 込 に 関 して】
申 込 みの 際 には 所 定 の 書 式 に 従 った A4 版 2 頁
の 英 文 プロシーディングスを 下 記 の URL から 投
稿 してください。その 後 の 審 査 の 結 果 、 口 頭 発 表 、
ポスター 発 表 、 不 採 択 に 分 類 します。 採 択 された
場 合 は 提 出 された 原 稿 がそのままプロシーディ
ングスとして 発 刊 されます。 詳 細 は HP 参 照 。
http://www.dry-process.org/2012
【JJAP 特 集 号 に 関 して】
2012 年 11 月 15 日 までに JJAP の Website
【 懇 親 会 】
日 時 :2012 年 11 月 15 日 18 時 30 分 ~
開 催 場 所 : 武 田 先 端 知 ビル ホワイエ
【 関 連 委 員 】
[ 組 織 委 員 長 ]: 伊 澤 勝 ( 日 立 ハイテク)
[ 実 行 委 員 長 ]: 一 木 隆 範 ( 東 京 大 )
[ 論 文 委 員 長 ]: 小 倉 輝 ( 富 士 通 )
[ 出 版 委 員 長 ]: 東 清 一 郎 ( 広 島 大 )
【 問 合 せ 先 】
DPS2012 事 務 局 一 木 隆 範
〒113-8656 東 京 都 文 京 区 弥 生 2-11-16
東 京 大 学 大 学 院 工 学 系 研 究 科
バイオエンジニアリング 専 攻
TEL/FAX : 03-5841-1180
E-Mail: dps2012@bionano.t.u-tokyo.ac.jp
46

行 事 案 内
『 企 業 Oriented』を 基 軸 とする 初 めての 国 際 会 議
第 11 回 Asia Pacific Conference on Plasma Science and
Technology(APCPST) / 第 25 回 Symposium on Plasma
Science for Materials(SPSM)
~ Plasma Science and Technology towards Innovation and
Business ~
名 古 屋 大 学
堀 勝
平 成 24 年 10 月 2 日 ~5 日 、 京 都 大 学 ローム
記 念 館 において、 独 立 行 政 法 人 日 本 学 術 振 興 会
プラズマ 材 料 科 学 第 153 委 員 会 主 催 、 応 用 物 理
学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 後 援 で
APCPST/SPSM が 開 催 する 運 びとなりました。
詳 細 は(http://www.apcpst2012.org/)をご 高 覧 く
ださい。
この 合 同 会 議 は、プラズマに 関 与 する 物 理 化
学 的 な 現 象 やプラズマプロセスを 利 用 した 材 料
創 製 に 関 して 発 表 ・ 議 論 ・ 情 報 交 換 をする 会 議
であり、 関 係 する 分 野 は、プラズマ・ 物 理 ・ 化
学 ・ 材 料 ・バイオ・ 環 境 といった 分 野 を 横 断 的
に 網 羅 した 複 合 領 域 です。
1992 年 から 開 催 され、アジア 太 平 洋 地 域 の
日 ・ 中 ・ 韓 ・ 豪 で 隔 年 開 催 されます。アジア 太
平 洋 各 国 企 業 のプラズマ 技 術 に 関 する 取 り 組 み
を 本 交 流 の 場 を 通 して 知 ることにより、 我 が 国
の 産 業 活 性 化 を 促 進 し、 一 国 で 実 現 することが
困 難 な 課 題 に 取 り 組 むきっかけにつながるかと
考 えます。
特 に 今 回 の 開 催 にあたっては、「 企 業 への 貢 献
を 基 軸 に、アカデミックの 活 性 化 と 若 者 の 育 成
を 図 る」ことを 目 指 し、 以 下 を 基 軸 に 開 催 する
予 定 です。
・ 企 業 の 皆 様 が 参 加 しやすい 会 議
・ 役 に 立 つサイエンス
・ 役 に 立 つ 情 報 交 換 と 企 業 現 場 等 の 課 題 への
ソリューションの 提 示
・ 教 育 ( 企 業 人 、 大 学 、 若 手 : 学 生 )の 重 視
・ アカデミック、インダストリーとの 出 会 い。
企 業 と 学 生 、 大 学 人 の 出 会 いの 場 を 意 図 的
に 作 り、 国 際 共 同 研 究 ・ 開 発 、 事 業 連 携 、
ビジネスの 促 進
・ 企 業 レポートセッション(Non Scientist
Report)を 設 定
従 来 の 国 際 会 議 での 発 表 では、 学 術 的 な 議 論
に 主 眼 が 置 かれていることから、 各 社 の 製 品 紹
介 やビジネスに 直 結 する 話 題 については、 学 術
的 な 内 容 を 除 いて 忌 避 するようにとの 制 約 があ
り、 単 に 企 業 展 示 での 紹 介 のみに 制 限 されてい
ることが 通 例 です。
一 方 、 今 回 の APCPST 国 際 会 議 は、 各 社 の 製
品 ・ 技 術 ・ 優 位 性 をはじめとする 多 様 な 御 発 表
を 通 じたビジネス 指 向 の 議 論 こそが、イノベー
ションへの 源 泉 であるとの 信 念 のもと、『 企 業
Oriented』を 基 軸 とする 初 めての 国 際 会 議 であり、
古 今 無 双 の 果 敢 な 企 画 といえます。これらによ
り、 企 業 ・ 大 学 間 の 情 報 交 換 、 産 業 における 課
題 の 理 解 とアカデミアからの 提 案 、( 国 際 ) 共 同
研 究 等 が 促 進 されることを 期 待 しております。
すでに、400 件 に 近 い 論 文 投 稿 があり、プラ
ズマの 基 礎 科 学 からビジネスに 関 する 貴 重 な 情
報 交 換 やコミュニケーションを 図 ることができ
る 舞 台 が 整 っております。ぜひ 多 くの 皆 様 にご
参 加 を 検 討 いただきたく、よろしくお 願 い 申 し
上 げます。
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行 事 案 内
第 30 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-30) 案 内
静 岡 大 学 永 津 雅 章 ( 現 地 実 行 委 員 会 委 員 長 )
第 30 回 プラズマプロセシング 研 究 会 を 下 記
の 要 領 にて 開 催 致 します。 会 場 は JR 浜 松 駅 の
すぐ 近 くにあり、 交 通 の 便 も 良 く、 気 候 も 温 暖
な 地 域 であるため 学 術 会 合 の 開 催 に 適 していま
す。 皆 様 のご 参 加 を 心 よりお 待 ち 申 しておりま
す。 懇 親 会 へのご 参 加 も 是 非 よろしくお 願 い 申
し 上 げます。
いるナノテクノロジー 分 野 (ナノ 粒 子 、ナノ 構
造 物 質 、ナノ 加 工 )、プラズマ 医 療 ・バイオ 応 用
分 野 、 環 境 ・エネルギー 応 用 分 野 もスコープに
加 え、 総 合 的 な 議 論 ができるように 配 慮 されて
います。また、 次 世 代 を 担 う 大 学 院 生 等 の 人 材
育 成 の 観 点 より、 第 一 線 で 活 躍 する 著 名 な 研 究
者 を 招 待 して、「 特 別 講 演 」や「 指 定 テーマ 講 演 」
を 企 画 しています。
記
[1] 特 別 講 演 (2 件 を 予 定 しております)
【 会 期 】2013 年 1 月 21 日 ( 月 )〜1 月 23 日 ( 水 )
[2] 指 定 テーマ 講 演 (2 件 を 予 定 しております)
【 会 場 】アクトシティ 浜 松 ・ 研 修 交 流 センター
〒430-7790 静 岡 県 浜 松 市 中 区 中 央 3-9-1
(JR 浜 松 駅 から 徒 歩 約 5 分 )
【 会 議 の 概 要 】
プラズマプロセシング 研 究 会 は、( 社 ) 応 用 物
理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 主 催 で、
毎 年 1 月 下 旬 から 2 月 初 旬 にかけて 開 催 され、
今 回 で 第 30 回 目 を 迎 えます。プロセシングプラ
ズマの 物 理 的 ・ 化 学 的 基 礎 科 学 の 解 明 およびそ
の 制 御 と 応 用 技 術 の 開 発 をテーマに 掲 げ、プラ
ズマ 物 理 ・プラズマ 化 学 の 研 究 者 をはじめとし
て、 原 子 ・ 分 子 物 理 、 薄 膜 ・ 表 面 の 物 理 ・ 化 学 、
電 子 工 学 など 多 分 野 の 研 究 者 が 一 堂 に 会 して、
プラズマを 接 点 とする 境 界 分 野 の 成 果 発 表 ・ 討
論 を 行 うと 共 に、 新 たな 問 題 点 の 発 掘 や、 新 し
いプロセシングの 可 能 性 を 追 求 することが 目 的
です。
ここで、プラズマ 応 用 技 術 に 関 わる 基 礎 的 研
究 は 勿 論 のこと、 次 世 代 の 応 用 技 術 と 目 されて
[3] 一 般 講 演
1) プロセシングプラズマの 発 生 ・ 制 御
2) プロセシングプラズマの 診 断 ・ 計 測 ・モニ
タリング
3) プロセシングプラズマにおける 素 過 程 ・モ
デリング
4) プラズマによるエッチング
5) プラズマによる 薄 膜 形 成
6) プラズマによる 表 面 改 質
7) 大 気 圧 ・マイクロプラズマの 基 礎 と 応 用
8) 液 相 及 び 気 液 界 面 プラズマの 基 礎 と 応 用
9) プラズマ 応 用 技 術
9-1)ナノテクノロジー
9-2)プラズマ 医 療 ・バイオ 応 用
9-3) 環 境 ・エネルギー 応 用
9-4) 光 応 用 ・ 発 光 デバイス 用 プラズマ
9-5) 上 記 以 外 のプラズマ 応 用
10) 上 記 以 外 のプラズマプロセシング
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【 参 加 費 】( 事 前 参 加 申 込 み 期 限 :2012 年 11 月 19 日 ( 月 ) プロシーディングス 代 含 む)
応 物 ・PE 会 員 PE 会 員 応 物 ・ 協 賛 学 協 会 会 員 その 他
一 般 12,000 円 15,000 円 15,000 円 18,000 円
学 生 3,000 円 5,000 円 5,000 円 8,000 円
※ 事 前 参 加 申 込 み 期 限 後 は、 一 般 2,000 円 増 、 学 生 1,000 円 増 となります。
【 懇 親 会 】
日 時 :2013 年 1 月 21 日 ( 月 ) 18:30 ~ 20:30
会 場 :ホテルクラウンパレス 浜 松
(SPP-30 会 場 から 約 300 m)
会 費 :5,000 円
【 締 切 】
・ 講 演 申 込 み:2012 年 10 月 15 日 ( 月 )
・ 事 前 参 加 申 込 み:2012 年 11 月 19 日 ( 月 )
・プロシーディングス 原 稿 ( 英 文 、A4 版 2 ペー
ジ) 提 出 :2012 年 12 月 3 日 ( 月 )
【 主 催 ・ 共 催 ・ 協 賛 】 ( 依 頼 中 含 む)
主 催 : 応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス
分 科 会
共 催 : 静 岡 大 学 ( 予 定 )
協 賛 : 日 本 物 理 学 会 、プラズマ・ 核 融 合 学 会 、
電 気 学 会 、 電 子 情 報 通 信 学 会 、 日 本 化 学
会 、 電 気 化 学 会 、 高 分 子 学 会 、 日 本 真 空
協 会 、 日 本 セラミックス 協 会 、 表 面 技 術
協 会 、 静 電 気 学 会
【 問 い 合 せ 先 】
第 30 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-30)
現 地 実 行 委 員 会 委 員 長 永 津 雅 章
( 静 岡 大 学 創 造 科 学 技 術 大 学 院 )
TEL / FAX: 053-478-1081
E-mail: spp30@ipc.shizuoka.ac.jp
Web: http://annex.jsap.or.jp/plasma/ に 学 会 情 報 を
掲 載 予 定
以 上
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2012( 平 成 24) 年 度 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 名 簿
幹 事 長
副 幹 事 長 豊 田 浩 孝
副 幹 事 長 辰 巳 哲 也
副 幹 事 長 野 崎 智 洋
幹 事
任 期 安 部 隆
2013 年 3 月
〃
〃
〃
〃
〃
〃
〃
〃
〃
池 田 知 弘
市 來 龍 大
唐 橋 一 浩
榊 田 創
佐 藤 孝 紀
坪 井 秀 夫
西 澤 厚
比 村 治 彦
名 古 屋 大 学
工 学 研 究 科
電 子 情 報 システム 専 攻
ソニー( 株 )
R&DPF コアデバイス 開 発 本 部
セミコンダクタテクノロジー 開 発 部 門
プロセス 設 計 部
東 京 工 業 大 学
大 学 院 理 工 学 研 究 科
機 械 制 御 システム 専 攻
新 潟 大 学
大 学 院 自 然 科 学 研 究 科
材 料 生 産 システム 専 攻
三 菱 電 機 ( 株 )
先 端 技 術 総 合 研 究 所
大 分 大 学
工 学 部
電 気 電 子 工 学 科
大 阪 大 学
大 学 院 工 学 研 究 科
原 子 分 子 イオン 制 御 理 工 学 センター
産 業 技 術 総 合 研 究 所
エネルギー 技 術 研 究 部 門
先 進 プラズマ 技 術 グループ
室 蘭 工 業 大 学
大 学 院 工 学 研 究 科
情 報 電 子 工 学 系 専 攻
( 株 ) アルバック
生 産 技 術 開 発 センター
ルネサスエレクトロニクス 株 式 会 社
生 産 本 部
プロセス 技 術 統 括 部
プロセス 加 工 技 術 部
京 都 工 芸 繊 維 大 学
工 芸 科 学 研 究 科
電 子 システム 工 学 専 攻
名 城 大 学
平 松 美 根 男 理 工 学 部
電 気 電 子 工 学 科
〒464-8603
名 古 屋 市 千 種 区 不 老 町
TEL: 052-789-4698
FAX: 052-789-3150
〒253-0014
厚 木 市 旭 町 4-14-1
TEL: 046-202-4793
FAX: 046-202-6374
〒152-8550
目 黒 区 大 岡 山 2-12-1(I1-23)
TEL: 03-5734-2681
FAX: 03-5734-2681
〒950-2181
新 潟 市 西 区 五 十 嵐 2の 町 8050
TEL: 025-262-6795
FAX: 025-262-6795
〒661-8661
兵 庫 県 尼 崎 市 塚 口 本 町 8-1-1
TEL: 06-6497-7524
FAX: 06-6497-7285
〒870-1192
大 分 市 旦 野 原 700
TEL: 097-554-7826
FAX: 097-554-7820
〒565-0871
大 阪 府 吹 田 市 山 田 丘 2-1A12 棟
TEL: 06-6878-6411
FAX: 06-6879-7916
〒305-8568
茨 城 県 つくば 市 梅 園 1-1-1 つくば 中 央 第 2
TEL: 029-861-5775
FAX: 029-861-5754
〒050-8585
室 蘭 市 水 元 町 27-1
TEL: 0143-46-5506
FAX: 0143-46-5501
〒253-8543
神 奈 川 県 茅 ヶ 崎 市 萩 園 2500
TEL: 0467-89-2424
FAX: 0467-58-5773
〒252-5298
神 奈 川 県 相 模 原 市 中 央 区 下 九 沢 1120
TEL: 042-779-9925
FAX: 042-771-0329
〒606-8585
京 都 市 左 京 区 松 ヶ 崎 御 所 海 道 町 5 号 館 405
TEL: 075-724-7437
FAX: 075-724-7437
〒468-8502
名 古 屋 市 天 白 区 塩 釜 口 1-501
TEL: 052-838-2298
FAX: 052-832-1298
toyoda@nuee.nagoya-u.ac.jp
Tetsuya.Tatsumi@jp.sony.co
m
tnozaki@mech.titech.ac.jp
Ikeda.Tomohiro@ab.Mitsubis
hiElectric.co.jp
ryu-ichiki@oita-u.ac.jp
h.sakakita@aist.go.jp
氏 名 所 属 住 所 ・ 電 話 E-mail
〒277-0882
東 京 大 学
柏 市 柏 の 葉 5-1-5 基 盤 系 研 究 棟 504 kazuo@plasma.k.utokyo.ac.jp
寺 嶋 和 夫 新 領 域 創 成 科 学 研 究 科
TEL: 04-7136-3799
物 質 系 専 攻
FAX: 04-7136-3799
memsabe@eng.niigatau.ac.jp
karahashi@ppl.eng.osakau.ac.jp
ksatoh@mmm.muroranit.ac.jp
hideo_tsuboi@ulvac.com
atsushi.nishizawa.kc@renesa
s.com
himura@kit.ac.jp
mnhrmt@meijo-u.ac.jp
50

幹 事
任 期 池 田 太 郎
2014 年 3 月
氏 名 所 属 住 所 ・ 電 話 E-mail
東 京 エレクトロン 山 梨 株 式 会 社
技 術 開 発 センター
MiPSグループ
〒407-0192
山 梨 県 韮 崎 市 穂 坂 町 三 ツ 沢 650
TEL: 0551-23-2327
FAX: 0551-23-4260
taro.ikeda@tel.com
〃
石 川 善 恵
香 川 大 学
工 学 部
材 料 創 造 工 学 科
〒761-0396
香 川 県 高 松 市 林 町 2217-20
TEL: 087-864-2400
FAX: 087-864-2438
y05595@eng.kagawa-u.ac.jp
〃
市 川 尚 志
( 株 ) 東 芝
デバイスプロセス 開 発 センター
インテグレーション・キャラクタリゼー
ション 技 術 開 発 部
〒235-8522
横 浜 市 磯 子 区 新 杉 田 8 番 地
TEL: 045-776-4673
FAX: 045-776-4104
takashi2.ichikawa@toshiba.c
o.jp
〃
北 野 勝 久
大 阪 大 学
大 学 院 工 学 研 究 科
原 子 分 子 イオン 制 御 理 工 学 センター
〒565-0871
大 阪 府 吹 田 市 山 田 丘 2-1
TEL: 06-6878-6412
FAX: 06-6879-7916
kitano@ppl.eng.osaka-u.ac.jp
〃
金 載 浩
産 業 総 合 技 術 研 究 所
エネルギー 技 術 研 究 部 門
先 進 プラズマ 技 術 グループ
〒305-8568
茨 城 県 つくば 市 梅 園 1-1-1 中 央 第 2
TEL: 029-861-4889
FAX: 029-861-5754
jaeho.kim@aist.go.jp
〃
堤 井 君 元
九 州 大 学
総 合 理 工 学 研 究 院
融 合 創 造 理 工 学 部 門
〒816-8580
福 岡 県 春 日 市 春 日 公 園 6-1(D 棟 304 号 室 )
TEL: 092-583-7097
FAX: 092-583-7097
teii@asem.kyushu-u.ac.jp
〃
首 都 大 学 東 京
杤 久 保 文 嘉 理 工 学 研 究 科
電 気 電 子 工 学 専 攻
〒192-0397
八 王 子 市 南 大 沢 1-1
TEL: 042-677-2744
FAX: 042-677-2756
tochi@tmu.ac.jp
〃
前 田 賢 治
( 株 ) 日 立 製 作 所
中 央 研 究 所
ナノプロセス 研 究 部
〒185-8601
東 京 都 国 分 寺 市 東 恋 ヶ 窪 1-280
TEL: 042-323-1111 (ext. 2142)
FAX: 042-327-7708
kenji.maeda.tj@hitachi.com
〃
三 重 野 哲
静 岡 大 学
理 学 部
物 理 学 科
〒422-8529
静 岡 市 駿 河 区 大 谷 836
TEL: 054-238-4750
FAX: 054-238-4750
piero@sannet.ne.jp
〃
三 沢 達 也
佐 賀 大 学
大 学 院 工 学 系 研 究 科
電 気 電 子 工 学 専 攻
〒840-0027
佐 賀 県 佐 賀 市 本 庄 町 1
TEL: 0952-28-8639
FAX: 0952-28-8651
misawa@ep.ee.saga-u.ac.jp
〃
向 川 政 治
岩 手 大 学
工 学 部
電 気 電 子 ・ 情 報 システム 工 学 科
〒020-8554
岩 手 県 盛 岡 市 上 田 4-3-5
TEL: 019-621-6877
FAX: 019-621-6877
mukaigaw@iwate-u.ac.jp
〃
吉 木 宏 之
鶴 岡 工 業 高 等 専 門 学 校
電 気 電 子 工 学 科
〒997-8511
山 形 県 鶴 岡 市 井 岡 字 沢 田 104
TEL: 0235-25-9146
FAX: 0235-24-1840
yoshiki@tsuruoka-nct.ac.jp
51

2012( 平 成 24) 年 度 分 科 会 幹 事 役 割 分 担
役 割 分 担 新 任 留 任
幹 事 長 寺 嶋 和 夫 東 京 大 学
豊 田 浩 孝 名 古 屋 大 学
副 幹 事 長
辰 巳 哲 也 ( 株 ) ソニー
野 崎 智 洋 東 京 工 業 大 学
1. 分 科 会 ミーティング 三 沢 達 也 佐 賀 大 学 平 松 美 根 男 名 城 大 学
野 崎 智 洋 東 京 工 業 大 学 安 部 隆 新 潟 大 学
2. シンポジウム 総 合 講 演 北 野 勝 久 大 阪 大 学 比 村 治 彦 京 都 工 芸 繊 維 大 学
合 同 セッション
金 載 浩 ( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所 坪 井 秀 夫 ( 株 ) アルバック
3. プラズマプロセシング
研 究 会
4. 光 源 物 性 と
その 応 用 研 究 会
5. プラズマ 新 領 域 研 究 会
6. インキュベーション
ホール
7. プラズマエレクトロニクス
講 習 会
市 川 尚 志 ( 株 ) 東 芝 平 松 美 根 男 名 城 大 学
豊 田 浩 孝 名 古 屋 大 学 榊 田 創 ( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所
三 重 野 哲 静 岡 大 学 池 田 知 弘 三 菱 電 機 ( 株 )
堤 井 君 元 九 州 大 学 安 部 隆 新 潟 大 学
金 載 浩 ( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所 比 村 治 彦 京 都 工 芸 繊 維 大 学
池 田 太 郎 東 京 エレクトロン 山 梨 ( 株 ) 西 澤 厚 ルネサスエレクトロニクス
市 來 龍 大 大 分 大 学
佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 業 大 学
向 川 政 治 岩 手 大 学 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 業 大 学
豊 田 浩 孝 名 古 屋 大 学 市 來 龍 大 大 分 大 学
栃 久 保 文 嘉 首 都 大 学 東 京 西 澤 厚 ルネサスエレクトロニクス
石 川 善 恵 香 川 大 学 榊 田 創 ( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所
堤 井 君 元 九 州 大 学
吉 木 宏 之 鶴 岡 工 業 高 等 専 門 学 校
豊 田 浩 孝 名 古 屋 大 学 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 業 大 学
前 田 賢 治 ( 株 ) 日 立 製 作 所 榊 田 創 ( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所
三 沢 達 也 佐 賀 大 学 唐 橋 一 浩 大 阪 大 学
石 川 善 恵 香 川 大 学 坪 井 秀 夫 ( 株 ) アルバック
吉 木 宏 之 鶴 岡 工 業 高 等 専 門 学 校 平 松 美 根 男 名 城 大 学
辰 巳 哲 也 ( 株 ) ソニー 坪 井 秀 夫 ( 株 ) アルバック
池 田 太 郎 東 京 エレクトロン 山 梨 ( 株 ) 池 田 知 弘 三 菱 電 機 ( 株 )
前 田 賢 治 ( 株 ) 日 立 製 作 所 西 澤 厚 ルネサスエレクトロニクス
市 川 尚 志 ( 株 ) 東 芝 安 部 隆 新 潟 大 学
市 川 尚 志 ( 株 ) 東 芝 市 來 龍 大 大 分 大 学
8. 会 誌 編 集 ・ 書 記
向 川 政 治 岩 手 大 学 池 田 知 弘 三 菱 電 機 ( 株 )
9. ホームページ 北 野 勝 久 大 阪 大 学 唐 橋 一 浩 大 阪 大 学
10. 会 員 名 簿 佐 藤 孝 紀 室 蘭 工 業 大 学
11. 庶 務 三 沢 達 也 佐 賀 大 学 市 來 龍 大 大 分 大 学
12. 会 計 北 野 勝 久 大 阪 大 学 平 松 美 根 男 名 城 大 学
13. プラズマエレクトロニクス 賞 寺 嶋 和 夫 東 京 大 学
14. アカデミックロードマップ 野 崎 智 洋 東 京 工 業 大 学 榊 田 創 ( 独 ) 産 業 技 術 総 合 研 究 所
( 戦 略 企 画 室 ) 寺 嶋 和 夫 東 京 大 学
15. PE 懇 親 会
秋 : 愛 媛 大 学
安 部 隆 新 潟 大 学
16. PE 懇 親 会
春 : 神 奈 川 工 科 大 学
比 村 治 彦 京 都 工 芸 繊 維 大 学
GEC 委 員 白 谷 正 治 九 州 大 学
太 字 : 取 りまとめ 役
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2012( 平 成 24) 年 度 分 科 会 関 連 の 各 種 世 話 人 ・ 委 員
1. 応 用 物 理 学 会 講 演 分 科 の 世 話 人
8.1 プラズマ 生 成 ・ 制 御 林 信 哉 ( 佐 賀 大 )
中 村 圭 二 ( 中 部 大 )
8.2 プラズマ 診 断 ・ 計 測 山 形 幸 彦 ( 九 州 大 )
8.3 プラズマ 成 膜 ・ 表 面 処 理 野 崎 智 洋 ( 東 工 大 )
8.4 プラズマエッチング 林 久 貴 ( 東 芝 )
8.5 プラズマナノテクノロジー 佐 藤 孝 紀 ( 室 蘭 工 大 )
8.6 プラズマ 現 象 ・ 新 応 用 ・ 融 合 分 野 明 石 治 朗 ( 防 衛 大 )
2. 応 用 物 理 ・ 編 集 委 員 野 崎 智 洋 ( 東 工 大 )
3. 応 用 物 理 学 会 代 議 員 豊 田 浩 孝 ( 名 古 屋 大 )
金 子 俊 郎 ( 東 北 大 )
林 信 哉 ( 佐 賀 大 )
4.GEC 組 織 委 員 会 委 員 白 谷 正 治 ( 九 州 大 )
5.その 他 : 本 部 理 事 斧 高 一 ( 京 都 大 )
6. 評 議 員 河 野 明 廣 ( 名 古 屋 大 )
白 谷 正 治 ( 九 州 大 )
中 山 喜 萬 ( 大 阪 大 )
畠 山 力 三 ( 東 北 大 )
藤 山 寬 ( 長 崎 大 )
堀 勝 ( 名 古 屋 大 )
真 壁 利 明 ( 慶 應 大 )
宮 崎 誠 一 ( 名 古 屋 大 )
7.フェロー 岡 本 幸 雄 ( 東 洋 大 )
寒 川 誠 二 ( 東 北 大 )
菅 井 秀 郎 ( 中 部 大 )
高 井 治 ( 名 古 屋 大 )
橘 邦 英 ( 愛 媛 大 )
中 山 喜 萬 ( 大 阪 大 )
藤 山 寬 ( 長 崎 大 )
真 壁 利 明 ( 慶 應 大 )
渡 辺 征 夫 ( 九 州 電 気 専 門 学 校 )
8. 名 誉 会 員 後 藤 俊 夫 ( 中 部 大 )
53

平 成 23 年 度 後 期 および 平 成 24 年 度 前 記 活 動 報 告
第 62 回 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ミーテ
ィング/ 平 成 23 年 度 第 4 回 幹 事 会 議 事 録 ( 応 用
物 理 学 会 インフォーマルミーティング 内 )
日 時 : 平 成 24 年 3 月 15 日 ( 木 )12:00-13:15
場 所 : 早 稲 田 大 学 10 号 館 207 教 室
1.「8.プラズマエレクトロニクス」 大 分 類 分 科 意
見 交 換 会
学 会 の 講 演 会 企 画 運 営 委 員 会 の 議 論 を 経 て、 大
分 類 ミーティングをインフォーマルミーティング
の 冒 頭 に 並 列 開 催 することにした。
宮 崎 講 演 会 企 画 運 営 委 員 ( 名 大 )から、 講 演 会
の 活 性 化 のための 改 革 について 説 明 があった 後 、
堀 幹 事 長 ( 名 大 )、 中 村 教 授 ( 中 部 大 )を 中 心 に 大
分 類 8 の 現 状 について 意 見 交 換 がなされた。 概 略
は 以 下 の 通 り。
・ 今 後 の 学 会 の 継 続 的 な 会 員 の 増 加 を 図 るために
は、 今 後 アジアを 中 心 とする 国 際 化 に 対 応 する 必
要 がある。 今 後 、 秋 の 学 会 を 中 心 に 英 語 セッショ
ン、 海 外 招 待 講 演 を 増 やす。 本 年 秋 には 分 光 関 係
の 会 議 との 合 同 セッションが 予 定 されている。
大 分 類 8 では、MRS とのジョイントを 進 めて
いるが、 英 語 セッションは 中 分 類 8.6 に 集 中 して
いる。 今 後 中 分 類 を 基 礎 ・ 計 測 と 材 料 ・ 応 用 のグ
ループに 分 類 し 講 演 会 ごとに 英 語 セッションを 持
ち 回 りとする。 会 場 からは、 持 ち 回 りにこだわら
ず 重 要 テーマは 海 外 招 待 講 演 などを 招 くべきとい
う 意 見 、 募 集 や 予 稿 なども 英 文 化 するのかという
質 問 があった。
・ 講 演 会 の 規 模 は 順 調 に 拡 大 してきたが、 講 演 会
場 の 数 や 収 容 人 数 の 確 保 が 困 難 となっている。 講
演 形 式 を 講 演 者 に 選 択 してもらいポスター 講 演 を
積 極 的 に 活 用 する。そのため、プログラム 委 員 に
は 講 演 の 査 読 権 限 も 持 たせる 代 わりに 選 出 法 も
明 確 にする 必 要 がある。
大 分 類 8 ではプログラム 委 員 や 企 画 委 員 は 幹 事
会 で 推 薦 されており 現 状 で 選 出 の 問 題 は 無 い。
さらに 今 回 、 選 出 のアドバイスのためレーティン
グ 担 当 委 員 を 新 たにお 願 いし、 口 頭 とポスターの
振 り 分 けの 評 価 基 準 には 奨 励 賞 の 基 準 を 用 いる 事
とした。 選 出 された 委 員 は 理 事 会 など 分 科 会 外 で
認 めることも 必 要 との 意 見 が 出 た。 新 しいものと
悪 いものの 見 分 けは 困 難 であるので 基 本 的 には 講
演 者 の 希 望 を 受 け 入 れる 他 、ポスター 発 表 をもっ
と 重 視 する 必 要 があるとの 意 見 が 出 た。
・ 大 分 類 の 中 には 硬 直 化 し、 分 類 のねじれがある
ものや、 時 代 の 変 化 に 弾 力 的 でないものもある。
大 分 類 8 は 常 に 中 分 類 の 見 直 しを 進 めており、
合 同 セッションも 企 画 しており 問 題 はない。
・シンポジウムは 一 般 投 稿 を 受 けつけ、 申 し 込 み
などのスケジュールは 前 倒 しになった。 会 場 から
応 募 型 シンポジウムは 初 日 に 集 約 され 講 演 時 間 も
短 いのは 魅 力 をなくすとの 指 摘 があった。 分 科 企
画 のシンポジウムの 開 催 はプログラム 委 員 の 裁 量
でどこにも 置 けるとのこと。
・ 会 場 から 一 般 会 員 への 目 に 見 える 周 知 をお 願 い
したいとの 希 望 が 出 た。
3. 科 研 費 の 新 細 目 について
堀 幹 事 長 からプラズマエレクトロニクス 細 目 の 新
設 のアナウンスがあった。
4. 平 成 24-25 年 度 、 幹 事 選 挙 結 果 報 告 、 新 幹 事
紹 介
堀 幹 事 長 から 寺 嶋 新 幹 事 長 ( 東 大 )と 次 期 幹 事
の 紹 介 があった。 副 幹 事 長 は、 豊 田 先 生 ( 名 大 )、
野 崎 先 生 ( 東 工 大 )、 辰 巳 様 (ソニー)が 選 出 され
た 事 が 報 告 された。また、 新 設 の 諮 問 委 員 として
現 役 教 授 の 幹 事 長 経 験 者 と 企 業 選 出 の 副 幹 事 長 経
験 者 に 就 任 をお 願 いした。
5. 平 成 23 年 度 収 支 決 算 報 告
平 松 幹 事 ( 名 城 大 )より 収 支 決 算 報 告 がなされ
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た。2011 年 度 収 支 差 額 は-30 万 であった。 前 年 度
との 違 いとして SPP29 がプラズマカンファレン
スと 共 催 のため 収 入 がなく 赤 字 の 原 因 になった。
会 場 から、 課 税 対 策 として ICRP の 積 立 金 の 扱 い
について 質 問 があったが、 法 人 化 後 は 学 会 が 対 応
するためそのような 問 題 はないとの 回 答 があった。
6. 会 員 数 について
堀 幹 事 長 から 会 員 数 が 520 名 を 越 えたが、 学 生
の 入 会 をさらに 薦 めて 欲 しいとの 依 頼 があった。
7.プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報
(No.56)について
池 田 幹 事 ( 三 菱 電 機 )から 概 要 案 が 示 され、 研
究 室 紹 介 や 研 究 紹 介 について 議 論 がなされた。
8.プラズマ 新 領 域 研 究 会 について
松 浦 幹 事 ( 大 阪 府 大 )から 研 究 活 性 化 支 援 金 申
請 についての 報 告 がされ、3 月 開 催 予 定 の 研 究 会
の 延 期 がアナウンスされた。
9.GEC について
白 谷 GEC 委 員 ( 九 大 )から、テキサス 州 オー
スチンで 開 催 の 本 年 会 議 の 締 め 切 りが 5 月 に 早 ま
るので 注 意 するようにアナウンスがあった。
10.ICRP-8 について
白 谷 実 行 委 員 長 から、2014 年 2 月 4~7 日 に 福
岡 国 際 会 議 場 で 開 催 されること、 実 行 委 員 の 打 診
中 であることが 報 告 され、 協 力 が 依 頼 された。
11.MRS 合 同 セッションについて
白 谷 教 授 から 4 月 9~13 日 サンフランシスコの
MRS の WW セッションへの 参 加 が 呼 びかけられ
た。2013 年 9 月 16~20 日 の 学 会 ( 同 志 社 )でも
MRS とのジョイントを 申 請 中 。 今 後 、 秋 の MRS
の 秋 のホールミーティングにも 参 加 したいとのこ
とであった。
12. 第 30 回 プラズマプロセシング 研 究 会 につ
いて
永 津 教 授 ( 静 大 )から、アクトシティ 浜 松 ・ 研
修 交 流 センターで 2013 年 1 月 21~23 日 開 催 さ
れる SPP30 について 準 備 状 況 が 報 告 された。 会
場 の 確 保 、 助 成 金 の 申 請 、 予 算 案 が 示 された。30
回 記 念 の 何 らかの 行 事 も 用 意 してはとの 意 見 が 出
た。
13.プラズマカンファレンスについて
栗 原 幹 事 ( 東 芝 )から 金 沢 のプラズマカンファ
レンスに 1000 人 を 越 える 参 加 者 があり、3 学 会
以 外 からの 参 加 も 多 かったことが 報 告 された。
14.その 他
堀 幹 事 長 からプラズマエレクトロニクス 賞 の 表
彰 式 と 分 科 会 シンポジウムの 案 内 があった。
55

第 63 回 プラズマエレクトロニクス 分 科 会 ミーテ
ィング/ 平 成 24 度 第 1 回 幹 事 会 議 事 録
日 時 : 平 成 24 年 3 月 31 日 ( 土 )12:30~16:30
場 所 : 東 京 工 業 大 学 田 町 キャンパス・キャンパス
イノベーションセンター2 階 ( 多 目 的 室 1)
1. 幹 事 紹 介 ( 退 任 ・ 留 任 ・ 新 任 )
・ 寺 嶋 幹 事 長 ( 東 大 ) 及 び、 出 席 した 各 幹 事 より
自 己 紹 介 がなされた。
2. 幹 事 役 割 確 認
・ 寺 嶋 幹 事 長 ( 東 大 )より、 各 担 当 幹 事 の 職 務 内
容 について 説 明 及 び、 新 年 度 の 役 割 分 担 案 が 紹 介
され 承 認 された。
がなされた。
4/9~4/13:MRS(San Francisco, CA)
9/11~9/14: 秋 季 応 物 ( 愛 媛 大 ・ 松 山 大 )
10/22~26:65th GEC(Austin, TX)
10/28~11/2:59th AVS(Tampa, FL)
10/29~11/2:54th DPP(Providence, RI)
1/28~2/1:5th ISPlasma( 名 大 )
3/27~3/30: 春 季 応 物 ( 神 奈 工 大 )
また、2013/7/14~19 の APPC12( 幕 張 メッセ)、
2013/9/16~20 の JSAP-MRS Joint Symposia( 同
志 社 大 )、2014/2/4~7 の ICRP-8/SPP-31( 福 岡
国 際 会 議 場 )についても 報 告 された。
・ 池 田 幹 事 ( 三 菱 電 機 )より、プラズマエレクト
ロニクス 分 科 会 会 報 (No.56)の 目 次 案 及 び、 編
集 進 捗 状 況 について 報 告 された。
3.2012 年 度 活 動 進 捗 報 告 ・ 審 議 事 項
・ 寺 嶋 幹 事 長 ( 東 大 )より、 年 間 スケジュール 案
が 紹 介 された。 幹 事 会 については 9、1、3 月 に 開
催 予 定 。
・ 比 村 幹 事 ( 京 工 繊 大 )より、 秋 季 シンポジウム
招 待 講 演 の 講 演 者 と 題 目 の 申 請 内 容 が 紹 介 された。
また、 分 科 内 招 待 講 演 の 講 演 者 の 選 定 について 議
論 され、シンポジウム 担 当 幹 事 で 候 補 者 を 挙 げて
頂 くことになった。チュートリアルが 実 施 される
場 合 には、プラズマエレクトロニクス 分 科 会 から
実 施 する 方 向 で 後 日 、 候 補 者 を 挙 げることが 承 認
された。
・ 清 水 幹 事 ( 静 大 )より、SPP-30(30 回 記 念 )
の 準 備 状 況 について 説 明 が 行 われ、テーマ、 特 別
講 演 候 補 者 について 議 論 された。2013/1/21~23
にアクトシティ 浜 松 ・ 研 修 交 流 センターにおいて
開 催 予 定 。
・ 松 浦 幹 事 ( 大 阪 府 大 )より、プラズマ 新 領 域 研
究 会 の 準 備 状 況 について 報 告 された。 他 学 会 との
合 同 等 も 含 めて3 回 の 開 催 予 定 。
・ 白 谷 諮 問 委 員 ( 九 大 )より、プラズマエレクト
ロニクス 分 科 会 関 連 会 議 の 紹 介 と 進 捗 状 況 の 説 明
・ 内 田 幹 事 ( 九 大 )より、 会 計 報 告 が 行 われ、 内
容 について 承 認 された。
4. 各 活 動 説 明
・ 林 幹 事 ( 佐 賀 大 )より、 分 科 会 ミーティングの
状 況 について 説 明 され、 毎 回 内 容 が 盛 り 沢 山 で 時
間 的 に 厳 しいこと、 参 加 者 は、 春 が 40~50 名 、
秋 が 30 名 程 度 であったとの 報 告 がなされた。
・ 栗 原 幹 事 ( 東 芝 )より、シンポジウム 総 合 講 演
及 び、プラズマプロセシング 研 究 会 について 説 明
され、Plasma Conference2011 の 参 加 者 によるア
ンケート 結 果 の 紹 介 がなされた。3 学 会 合 同 で 開
催 されたものであったが、 今 回 の 反 省 点 としてパ
ラレル 色 が 強 過 ぎて 融 合 が 出 来 ていなかった 点 、
開 催 時 期 が 他 PE 関 連 会 議 との 日 程 が 近 かった 点
等 が 挙 げられた。
・ 佐 藤 幹 事 ( 室 蘭 工 大 )より、3/2 に 開 催 された
「 第 26 回 光 源 物 性 とその 応 用 研 究 会 」の 内 容 に
ついて 紹 介 され、 日 程 決 定 と 案 内 のタイミングが
合 わなかった 点 が 課 題 であった。
・ 松 浦 幹 事 ( 大 阪 府 大 )より、プラズマ 新 領 域 研
究 会 について 説 明 され、 年 末 開 催 では 会 計 締 めに
対 して 余 裕 がないため、 開 催 時 期 の 見 直 しと、 新
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テーマの 募 集 が 提 案 された。
・ 林 幹 事 ( 佐 賀 大 )、 坪 井 幹 事 (アルバック)より、
インキュベーションホールについて 説 明 され、 学
生 を 中 心 に 50 数 名 の 参 加 者 があり、 台 風 の 直 撃
による 早 期 解 散 のため、 参 加 者 アンケートが 取 れ
なかったとの 報 告 があった。
・ 清 水 幹 事 ( 静 大 )、 木 下 副 幹 事 長 ( 東 北 大 )より、
プラズマエレクトロニクス 講 習 会 について 説 明 が
なされた。 会 報 No.55 で 既 報 の 通 り、 実 演 等 を 試
し 好 評 だったが、 参 加 人 数 の 減 少 、 関 連 学 会 Rush
の 開 催 時 期 も 課 題 であり、DPS との 同 時 開 催 等 、
対 策 を 検 討 中 との 報 告 があった。
・ 唐 橋 幹 事 ( 阪 大 )より、プラズマエレクトロニ
クス 分 科 会 ホームページについて 紹 介 され、 有 効
利 用 、リニューアルについての 提 案 を 随 時 募 集 中
であるとの 報 告 がなされた。
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第 11 回 プラズマエレクトロニクス 賞 受 賞 候 補 論 文 の 募 集
東 京 大 学 寺 嶋 和 夫
応 用 物 理 学 会 プラズマエレクトロニクス 分 科 会
では、 毎 年 、プラズマエレクトロニクスに 関 する
学 術 的 あるいは 工 業 的 に 価 値 のある 優 秀 な 論 文 を
対 象 とし、その 著 作 者 に「プラズマエレクトロニ
クス 賞 」を 贈 り 表 彰 を 行 っています。 候 補 論 文 は
自 薦 ・ 他 薦 を 問 いません。 下 記 の 要 領 により, 奮
ってご 応 募 下 さい。
http://annex.jsap.or.jp/plasma/
授 賞 対 象 論 文
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研
究 会 、 国 際 会 議 等 で 発 表 され、 且 つ 2010、2011,
2012 年 の 発 行 の 国 際 的 な 学 術 刊 行 物 (JJAP 等 )
に 掲 載 された 原 著 論 文 。 受 賞 者 は、 表 彰 の 時 点 に
おいてプラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 員 ある
いは 応 用 物 理 学 会 会 員 とする。
ロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研 究 会 、 国 際 会 議 等
の 会 議 録 等 のコピー。2 件 以 内
‣ 著 者 全 員 について 和 文 で 以 下 を 記 入 した 書 類 。
氏 名 、 会 員 番 号 、 勤 務 先 ( 連 絡 先 )
‣ 推 薦 書 ( 自 薦 、 他 薦 を 問 わず、 論 文 の 特 徴 、 優
れた 点 などを 400 字 程 度 わかりやすく 記 すこ
と。)
表 彰
2013 年 春 季 応 用 物 理 学 会 期 間 中 に 行 います。 受
賞 者 には 賞 状 および 記 念 品 を 贈 呈 いたします。ま
た 2013 年 秋 季 講 演 会 期 間 中 に 記 念 講 演 を 依 頼 す
る 予 定 です。
書 類 提 出 期 限
2012 年 12 月 25 日 ( 火 ) 当 日 消 印 有 効
提 出 書 類
以 下 の 書 類 各 1 部 、 及 びそれらの 電 子 ファイル
(PDF ファイル) 一 式
‣ 候 補 論 文 別 刷 (コピーでも 可 、 第 1ページに 候
補 論 文 と 朱 書 すること。 関 連 論 文 があれば2 件
以 内 の 別 刷 またはコピーを 添 付 。)
‣ 当 該 論 文 の 内 容 が 発 表 されたプラズマエレクト
書 類 提 出 先
〒113-0034 東 京 都 文 京 区 湯 島 2-31-22
湯 島 アーバンビル 7 階
社 団 法 人 応 用 物 理 学 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 長
( 封 筒 表 に「プラズマエレクトロニクス 賞 応 募 」
と 朱 書 のこと。)
なお 下 記 の 賞 規 定 もご 参 照 下 さい。
プラズマエレクトロニクス 賞 規 定
1. この 規 定 はプラズマエレクトロニクスに 関 す
る 学 術 的 あるいは 工 業 的 に 価 値 のある 優 秀 な
論 文 を 表 彰 の 対 象 論 文 とし、その 著 作 者 にた
いして 社 団 法 人 応 用 物 理 学 会 プラズマエレク
トロニクス 分 科 会 ( 以 後 プラズマエレクトロ
ニクス 分 科 会 と 言 う)が 行 う 表 彰 について 定
める。
2. この 表 彰 を「プラズマエレクトロニクス 賞 」
という。
3. 表 彰 の 対 象 論 文 は、 原 則 として、プラズマエ
レクトロニクス 分 科 会 が 主 催 する 研 究 会 、 国
際 会 議 等 で 発 表 され、 且 つ 募 集 期 間 から 過 去
3 年 の 間 に 国 際 的 な 学 術 刊 行 物 に 掲 載 された
原 著 論 文 とする。
4. 受 賞 者 はプラズマエレクトロニクス 分 科 会 会
員 あるいは 応 用 物 理 学 会 会 員 とする。
5. 受 賞 者 は 公 募 に 応 じた 自 薦 および 他 薦 候 補 者
から 選 考 する。
58

6. すでに 公 に 顕 著 な 賞 を 受 けた 論 文 は、プラズ
マエレクトロニクス 賞 の 対 象 論 文 としない。
7. 表 彰 は 原 則 として 毎 年 2 件 以 内 とする。
8. 表 彰 は 賞 状 授 与 および 記 念 品 贈 呈 とする。
9. 表 彰 は 毎 年 応 用 物 理 学 会 春 季 講 演 会 において
行 う。
10. プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 会 は、
毎 年 11 月 までに 授 賞 候 補 者 募 集 要 項 を「プ
ラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 」および
応 用 物 理 学 会 機 関 誌 「 応 用 物 理 」 誌 上 に 公 表
し、 広 く 募 集 する。
11. 受 賞 者 の 選 考 はプラズマエレクトロニクス 分
科 会 幹 事 長 が 委 嘱 した「プラズマエレクトロ
ニクス 賞 」 選 考 委 員 会 が 行 う。
12. 受 賞 者 が 決 定 したときは、「プラズマエレクト
ロニクス 賞 」 選 考 委 員 会 委 員 長 が、プラズマ
エレクトロニクス 分 科 会 幹 事 会 に 選 考 の 経 過
および 結 果 を 報 告 する。
13. プラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹 事 長 は、
選 考 の 経 過 および 結 果 を 応 用 物 理 学 会 理 事 会
に 報 告 する。
14. この 賞 の 実 施 に 関 する 必 要 な 事 項 の 審 議 およ
び 決 定 はプラズマエレクトロニクス 分 科 会 幹
事 会 がお 行 う。
15. 本 規 定 は、 理 事 会 の 承 認 を 経 て 改 訂 すること
ができる。
付 則 :この 規 定 は、 平 成 14 年 4 月 1 日 より 施 行 す
る。
59

国 際 会 議
プラズマエレクトロニクス 関 連 会 議 日 程
July 4-6, 2012
International Conference on Microelectronics and Plasma Tcehnology (ICMAP-2012)
Ramada Plaza Jeju Hotel Jeju Island, Jeju, Korea
http://www.icmap.or.kr/
July 8-12, 2012
39th IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS2012)
Edinburgh, UK
http://icops2012.lboro.ac.uk/
September 5-8, 2012
9th International Bioelectrics Symposium (BIOELECTRICS 2012)
KKRホテル 熊 本
http://bioelectrics2012.coe.kumamoto-u.ac.jp/
October 2 –5, 2012
11th Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology (APCPST) /
25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM)
京 都 大 学 ローム 記 念 館
http://www.apcpst2012.org/
October 22-25, 2012
65th Gaseous Electronics Conference (GEC2012)
Austin, Texas
https://www.ae.utexas.edu/gec2012/
October 28 –November 2, 2012
AVS 59h International Symposium and Exhibition
Tampa, Frorida, USA
http://www2.avs.org/symposium/AVS59/pages/info.html
October 29 –November 2, 2012
54th Annual Meeting of the APS Division of Plasma Physics
Providence, Rhode Island, USA
http://www.aps.org/units/dpp/meetings/dpp12/
November 14-16, 2012
International Conference on Plasma Physics (ICPP 2012)
Venice, Italy
http://www.waset.org/conferences/2012/venice/icpp/index.php
November 15-16, 2012
34th International Symposium on Dry Process (DPS2012)
東 京 大 学 武 田 先 端 知 ビル
http://www.dry-process.org/2012/index.html
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January 28 –Feburuary 1, 2013
5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and
Nanomaterials
(ISPlasma2012)
名 古 屋 大 学
http://www.isplasma.jp/
April 1-5, 2013
2013 MRS Spring Meeting
San Francisco, California
http://www.mrs.org/spring2012/
July 14-19, 2013
The 12th Asia Pacific Physics Conference (APPC12) / The 3rd Asia-Europe Physics Summit (ASEPS)
幕 張 メッセ 国 際 会 議 場
http://www.jps.or.jp/APPC12/index.html
July 15-19, 2013
31st International Conference on the Physics of Ionised Gases (ICPIG)
Granada, Spain
August 4-8, 2013
International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 21)
Cairns, Australia
http://www.ispc-conference.org/
http://ispc20.plasmainstitute.org/home/ISPC-2013-for-Philadelphia.pdf (older info)
September 16-20, 2013
2013 JSAP Autumn Meeting (JSAP-MRS Joint Symposium)
同 志 社 大 学
http://www.mrs.org/jsap-2013/
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国 内 会 議 ・ 会 合
2012. 9. 11-14
第 72 回 応 用 物 理 学 会 学 術 講 演 会
愛 媛 大 学 ・ 松 山 大 学
http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/regularmeeting.html
2012. 9. 18-21
日 本 物 理 学 会 2012 年 秋 季 大 会
横 浜 国 立 大 学
http://www.jps.or.jp/activities/meetings/future.html
2012. 9. 19-21
第 6 回 プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール
国 立 中 央 青 少 年 交 流 の 家
http://annex.jsap.or.jp/plasma/PE_files/PE_SS_2012/index.html
2012. 11 月 中
第 11 回 プラズマエレクトロニクス 新 領 域 研 究 会
「 光 ・レーザーを 用 いたプラズマ 計 測 技 術 の 最 前 線 ( 仮 )」
( 第 28 回 九 州 ・ 山 口 プラズマ 研 究 会 と 合 同 開 催 )
詳 細 は 追 って 下 記 分 科 会 HP に 掲 載 していく 予 定 です。
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
2012. 11. 14
第 23 回 プラズマエレクトロニクス 講 習 会
東 京 大 学 本 郷 ( 浅 野 )キャンパス 武 田 先 端 知 ビル
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
2012. 12 月 予 定
第 12 回 プラズマエレクトロニクス 新 領 域 研 究 会
詳 細 は 追 って 下 記 分 科 会 HP に 掲 載 していく 予 定 です。
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
2013. 1. 21-23
第 30 回 プラズマプロセシング 研 究 会 (SPP-30)
アクトシティ 浜 松 ・ 研 修 交 流 センター
詳 細 は 追 って 下 記 分 科 会 HP に 掲 載 していく 予 定 です。
http://annex.jsap.or.jp/support/division/plasma/
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2013. 3. 26-29
日 本 物 理 学 会 第 68 回 年 次 大 会
広 島 大 学
http://www.jps.or.jp/activities/meetings/future.html
2013. 3. 27-30
応 用 物 理 学 会 春 季 講 演 会
神 奈 川 工 科 大 学
http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/regularmeeting.html
2013. 9. 16-20
応 用 物 理 学 会 秋 期 講 演 会
同 志 社 大 学 京 田 辺 キャンパス
http://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/regularmeeting.html
2013. 9. 20-27
日 本 物 理 学 会 2013 年 秋 季 大 会
高 知 大 学 (9. 20-23) [ 素 、 核 、 宇 ]
徳 島 大 学 (9. 24-27) [ 物 性 ]
http://www.jps.or.jp/activities/meetings/future.html
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東 日 本 大 震 災 で 被 災 された 方 への 会 費 免 除 のお 知 らせ
( 社 ) 応 用 物 理 学 会
2011 年 3 月 11 日 の 東 日 本 大 震 災 で 被 害 に 遭 われた 会 員 の 方 々に 心 からお 見 舞 い 申 し 上 げ
ます。
すでに 本 会 ホームページならびにメールでもお 知 らせ 申 し 上 げておりますが、 本 会 では、 被 害 に
遭 われた 会 員 の 方 に 対 し 会 費 を 免 除 させていただくことになりました。
つきましては、 地 震 で 被 災 されたことを 証 明 する 書 類 ( 注 )を 添 えて 学 会 事 務 局 までお 申 し 出 下
さい。お 申 し 出 でいただいた 会 員 の 方 には、 直 近 の 会 費 を1 年 間 免 除 させていただきます。
● 免 除 対 象 会 費 : 正 会 員 ( 社 会 人 ) 会 費 、 正 会 員 ( 大 学 院 生 ) 会 費 、 学 生 会 員 会 費 、 分 科 会 会 費
(A 会 員 会 費 ・B 会 員 会 費 )
( 注 ): 例 えば 所 属 機 関 ないし 上 長 による 被 災 証 明 書 、 指 導 教 官 による 被 災 証 明 書 、 支 部 発 行 の
被 災 証 明 書 など
被 災 証 明 郵 送 先 および 問 合 せ 先 :
〒113-0034
東 京 都 文 京 区 湯 島 2-31-22 湯 島 アーバンビル 7 階
公 益 社 団 法 人 応 用 物 理 学 会 会 員 係 宛
電 話 :03-5802-0862
FAX:03-5802-6250
e-mail:membership@jsap.or.jp
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編 集 後 記
平 成 24 年 度 4 月 より、プラズマエレクトロニクス ですが、それらに 柔 軟 に 対 応 して 解 決 策 を 提 案 して
分 科 会 幹 事 長 が 堀 勝 教 授 ( 名 古 屋 大 学 )から 寺 嶋 和 いけるプラズマエレクトロニクスの 懐 の 深 さと、そ
夫 教 授 ( 東 京 大 学 )へと 引 き 継 がれ、 新 しいスター れを 可 能 にするため 基 礎 原 理 を 深 く 理 解 すること
トを 切 りました。プラズマエレクトロニクス 分 科 会 の 重 要 さを 改 めて 感 じる 次 第 です。
会 報 No.56をお 届 け 致 します。 本 誌 にご 寄 稿 頂 きま すぐに 役 立 つプラズマエレクトロニクスは 前 回
した 皆 様 に 心 よりお 礼 申 し 上 げます。
がCVDであったこともあり、プロセスプラズマ 応 用
さて、 前 回 55 号 はプラズマエレクトロニクス25 の 双 璧 をなすエッチングについて、 安 部 先 生 にご 寄
周 年 、 分 科 会 20 周 年 の 特 集 号 でした。 実 は 私 事 なが 稿 いただきました。 反 応 性 イオンエッチング(RIE)
ら 昨 年 はちょうど30 歳 になった 年 でもあり、なにか をベースに 従 来 の 半 導 体 応 用 からMEMSへの 展 開
奇 妙 な 縁 を 感 じております。そのような 節 目 の 折 、 まで、 丁 寧 にわかりやすく 解 説 していただいており
前 回 の 特 集 号 を 経 て 今 回 編 集 を 担 当 するにあたっ ます。ご 多 忙 な 中 ご 執 筆 頂 き、 感 謝 申 し 上 げます。
て、これまで 偉 大 な 先 輩 方 が 築 いた 物 を 次 の20 年 い この 他 にも 研 究 紹 介 、 海 外 の 研 究 事 情 、 会 議 報 告 、
かに 盛 り 立 てていくか、 次 世 代 に 繋 いでいくかなど、 行 事 案 内 などなど、 多 くの 方 々にご 執 筆 頂 きました。
様 々な 思 いに 駆 り 立 てられる 日 々でした。 ご 多 忙 の 折 にもかかわらず 快 諾 して 頂 き、すばらし
今 回 、 以 前 より 分 科 会 内 でも 関 心 の 高 かった 環 い 記 事 を 執 筆 して 頂 けましたこと、 心 よりお 礼 申 し
境 ・バイオ 関 連 の 応 用 についてご 寄 稿 を 頂 きました。 上 げます。 今 後 も 研 究 会 や 国 際 会 議 などの 際 には、
下 名 も 所 属 する 三 菱 電 機 の 大 森 にSiCのデバイス 応
用 について、 小 長 井 教 授 ( 東 工 大 )に 太 陽 電 池 応 用
について、また 高 木 准 教 授 ( 岩 手 大 )に 農 作 物 の 促
成 応 用 の 話 を 伺 うことが 出 来 ました。 震 災 後 のエネ
ルギー 需 給 問 題 や、TPPにともなう 農 作 物 の 輸 入 ・
輸 出 問 題 など、 社 会 情 勢 がめまぐるしく 変 わる 昨 今
ぜひ 本 誌 に 案 内 記 事 や 会 議 報 告 をご 寄 稿 いただけ
ますよう 改 めてお 願 いいたします。
( 平 成 24 年 度 会 報 編 集 担 当 : 市 來 、 市 川 、 向 川 、 池 田 )
( 文 責 : 池 田 )
プラズマエレクトロニクス 分 科 会 会 報 No.56
2012 年 6 月 29 日 発 行
編 集 : 公 益 社 団 法 人 応 用 物 理 学 会
プラズマエレクトロニクス 分 科 会
幹 事 長 寺 嶋 和 夫
発 行 : 公 益 社 団 法 人 応 用 物 理 学 会
〒113-0034 東 京 都 文 京 区 湯 島 2-31-22
湯 島 アーバンビル7 階
(©2012 無 断 転 載 を 禁 ず)
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