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行 业 及 供 货 商图 表 :SVT Association/Solarpraxis AG/Harald Schütt工 艺Examples of manufacturers 厂 家 举 例溅 射 金 属 后 经 硒 化 氢 硒 化Jenn Feng, Showa Shell (Solar Frontier), Honda Soltec, FilmSolar Tech Inc., Miasole, Sunshine PV, Centrotherm四 元 素 蒸 发Flisom, Daiyang Metal, Axuntek, Global Solar, XSunX, TelioSolar, Wurth Solar四 元 素 共 溅 射东 莞 日 阵 / 中 国 建 材 ,Sunlight Photonics/US Navy, Nanowin及 起 码 有 五 家 大 学金 属 印 刷 后 经 硒 化 氢 硒 化 Heliovolt, Nanosolar, Solexant, International Solar Electric Technology.金 属 电 镀 后 经 硒 化 氢 硒 化 Solopower, Odersun, Pvflex Solar表 四 : 铜 铟 镓 硒 电 池 新 型 生 产 工 艺 之 比 较Linear evaporation sourceFlux sensorAdjustable nozzlesReservoirPower / TCSubstrateHeated distribution manifoldChamberSource: SVT Associates图 三 : 使 用 多 元 素 “ 线 型 蒸 发 源 (In-line evaporation sources)”(SVT 联 合 公 司 提 供 )。的 Wei Guo 工 程 师 , 在 液 体 中 使 用 激 光将 CIS 靶 烧 蚀 成 小 颗 粒 , 在 电 沉 积 的 过程 中 , 使 这 些 小 颗 粒 成 为 带 电 颗 粒 , 此颗 粒 被 电 极 吸 引 并 沉 积 在 基 板 上 。 由于 颗 粒 粒 径 分 布 广 泛 , 能 快 速 沉 积 出致 密 的 薄 膜 (1-10 微 米 / min)。 此 工 艺同 样 使 用 少 量 的 固 体 硒 , 在 500°C 温度 , 经 氩 气 硒 化 。 然 而 , 此 工 艺 会 做 出较 厚 的 硒 化 钼 (MoSe 2), 导 致 钼 电 极层 有 较 大 的 串 联 电 阻 值 。 尽 管 如 此 , 他们 仍 可 得 到 6.31% 的 转 换 效 率 和 57%的 填 充 因 子 。早 期 , 美 国 加 利 福 尼 亚 州 , 圣 何塞 市 的 Solopower 公 司 和 欧 洲 德 国 的Oderson 公 司 合 作 , 最 先 启 用 “ 溶 液 电镀 ” 沉 积 金 属 薄 膜 。 尽 管 工 业 届 已 十 分熟 悉 金 属 电 镀 法 , 但 四 元 素 共 沉 积 还 只是 一 种 新 想 法 。 虽 然 , 我 们 可 以 做 到 电镀 铜 (Cu) 和 铟 (In), 但 电 镀 镓 (Ga)则 需 要 更 高 的 负 电 位 , 很 难 去 控 制 镓的 沉 积 。 此 外 , 在 阴 极 上 产 生 的 “ 氢 ”气 氛 , 会 导 致 一 系 列 针 孔 的 大 量 产 生 。该 工 艺 还 存 在 其 它 方 面 的 一 此 问 题 , 比如 基 板 两 端 电 势 的 下 降 (dropping ofpotential), 导 致 较 差 的 可 重 复 性 ,过 小 的 铜 铟 硒 颗 粒 , 和 富 铜 薄 膜 , 导致 “ 二 相 硒 化 铜 (second-phase)”的 出 现 , 需 要 通 过 退 火 的 方 法 改 善 结晶 度 , 方 能 有 7% 以 上 的 效 率 。 哪 怕 这样 , 在 2 0 12 年 3 月 份 ,S o l o p o w e r 公 司已 宣 布 , 他 们 的 电 池 有 效 面 积 已 获 得13.4% 非 常 可 观 的 转 换 效 率 , 填 充 因子 是 65.7%。Solopower 公 司 已 被 美国 Oregon 州 ,Portland 市 委 任 , 使 用 柔性 金 属 、 卷 对 卷 工 艺 , 建 立 有 400 兆 瓦生 产 能 力 的 太 阳 能 工 厂 。 尽 管 如 此 , 在今 年 的 三 月 份 , 曾 经 与 Solopower 合 作广 告光 伏 杂 志 2012/9 月 刊41