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行 业 及 供 货 商“Piranha 清 洁 法 ” 是 实 验 室 流 程最 常 用 且 能 够 有 效 清 除 硅 片 表 面 杂 志的 湿 化 学 清 洁 工 艺 。这 一 方 法 的 步 骤 包 括 : 把 硅 片 放在 过 氧 化 氢 / 硫 酸 (H 2O 2/ H 2SO 4) 中的 热 溶 剂 中 浸 泡 数 分 钟 , 已 形 成 二 氧化 硅 (SiO 2) 薄 层 ; 然 后 把 硅 片 浸 在 氢氟 酸 中 数 秒 后 , 以 去 除 之 前 形 成 的 二 氧化 硅 薄 层 , 形 成 干 净 的 硅 片 表 面 。 另 一种 能 够 达 到 同 样 表 面 清 洁 效 果 的 清 洁工 艺 是 利 用 HF / O 3溶 剂 进 行 清 洁 。 这一 工 艺 流 程 已 作 为 业 界 在 线 流 程 投 入商 用 , 需 配 备 R E N A 的 设 备 方 可 使 用 。p+ 表 面 的 钝 化 :利 用 等 离 子 体 化 学 气 相 沉 积(PECVD) 形 成 氮 化 硅 (SiNx) 层 以 及有 效 的 减 反 膜 , 可 以 很 好 地 对 传 统 P 型电 池 的 n+ 掺 杂 ( 掺 磷 ) 发 射 极 进 行 钝化 。 但 是 将 这 一 行 业 标 准 流 程 应 用 在N 型 电 池 的 掺 硼 p+ 发 射 极 上 , 不 仅 不能 够 对 其 进 行 钝 化 , 还 会 使 钝 化 表 面衰 退 成 未 钝 化 表 面 ( 即 “ 去 钝 化 ”)。利 用 热 二 氧 化 硅 厚 层 能 够 保 证 卓越 的 钝 化 质 量 , 但 该 工 艺 所 需 温 度 较高 且 时 间 较 长 , 并 不 适 合 工 业 已 用 。 除此 之 外 , 还 有 其 他 适 合 工 业 应 用 且 具 有成 本 效 益 的 p+ 掺 杂 硅 表 面 钝 化 方 法 。最 “ 典 型 的 方 法 ” 是 利 用 由 热 二氧 化 硅 薄 层 ( 流 程 时 间 较 短 , 温 度 要求 较 低 ) 和 等 离 子 体 化 学 气 相 沉 积 氮化 硅 薄 层 组 成 的 叠 层 。 近 年 来 各 大 研发 机 构 深 入 研 究 的 另 一 个 解 决 方 案 是利 用 通 过 单 原 子 层 沉 积 技 术 或 等 离 子体 化 学 气 相 沉 积 技 术 沉 积 形 成 的 氧 化铝 (A l 2O 3) 薄 层 , 该 解 决 方 案 需 要 配合 特 殊 设 备 使 用 , 且 多 家 公 司 ( 例 如Roth&Rau、Solaytech、Levitech) 已将 上 述 设 备 商 用 化 。 氧 化 铝 薄 层 的 表面 钝 化 质 量 十 分 理 想 ( 等 同 甚 至 优 于热 二 氧 化 硅 厚 层 的 钝 化 质 量 )。ISC Konstanz 和 博 世 还 提 出 了 另外 一 个 值 得 关 注 的 解 决 方 案 , 那 就 是利 用 硼 硅 玻 璃 (BSG) 和 等 离 子 体 化 学气 相 沉 积 所 形 成 的 氮 化 硅 层 对 硼 发 射极 进 行 钝 化 。 这 一 技 术 的 优 点 是 无 需增 添 其 他 设 备 , 因 为 硼 硅 玻 璃 在 硼 发射 极 形 成 期 间 已 经 产 生 , 并 且 氮 化 硅 层只 需 利 用 p 型 电 池 生 产 线 使 用 的 标 准 等离 子 体 化 学 气 相 沉 积 设 备 即 可 形 成 。金 属 化金 属 化 通 常 是 工 艺 流 程 的 最 后 一步 , 同 时 也 是 十 分 重 要 的 一 步 , 因 为 如果 金 属 化 工 艺 出 错 的 话 , 整 台 设 备 都可 能 受 损 。许 多 光 伏 公 司 的 研 发 部 门 正 在 努 力 使 这 些 技 术 理 念商 用 化 。关 于 n 型 硅 基 光 伏 技 术 的 研 究 越 来 越 多 。照 片 :ISC照 片 :ISC广 告Roll-to-Roll valveincreases system uptimeExcellent vacuum sealingperformanceDouble seal or quad sealwith intermediate pumpingNo damage to the foilSwiss HeadquartersTel +41 81 771 61 61CH@vatvalve.comVAT FranceVAT GermanyTel +33 1 69 20 69 11 Tel +49 89 97897876 0FR@vatvalve.com DE@vatvalve.comVAT NetherlandsTel +31 (30) 6018251NL@vatvalve.comVAT U.K.VAT USATel +44 19 2645 2753 Tel +1 781 935 1446UK@vatvalve.com US@vatvalve.comVAT ChinaVAT JapanTel +86 21 5032 光 伏 杂 6658 志 2012/9 Tel +81 月 45 刊 440 03 40CN@vatvalve.com JP@vatvalve.comVAT KoreaTel +82 31 662 6856KR@vatvalve.comVAT SingaporeTel +65 62525121SG@vatvalve.comVAT TaiwanTel +886 3 516 90 88TW@vatvalve.com51