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行 业 及 供 货 商照 片 : 英 利 绿 色 能 源 控 股 有 限 公 司氧 化 铟 锡 (ITO) 沉 积 :对 于 内 在 薄 层 技 术 理 念 来 说 , 透明 导 电 层 ( 即 透 明 导 电 氧 化 物 或 TCO)的 沉 积 对 于 增 强 横 向 导 电 率 十 分 重要 。 最 常 用 作 透 明 导 电 氧 化 物 的 两 种材 料 包 括 氧 化 铟 锡 (ITO) 和 掺 铝 氧 化锌 (A ZO)。 这 两 种 透 明 导 电 氧 化 物 薄层 都 是 通 过 溅 射 方 法 沉 积 在 太 阳 能 电池 的 顶 部 。 由 于 溅 射 是 高 真 空 工 艺 流程 , 所 以 透 明 导 电 氧 化 物 沉 积 工 艺 的成 本 并 不 低 。由 于 这 些 透 明 导 电 氧 化 物 薄 层 在高 温 条 件 下 会 变 得 不 稳 定 , 所 以 在 前接 触 点 进 行 丝 网 印 刷 时 需 要 使 用 低 温烧 结 的 金 属 浆 料 。用 于 金 属 化 及 其 他 流 程 的 丝 网 印 刷工 艺 :传 统 的 丝 网 印 刷 工 艺 也 可 用 于 所有 n 型 电 池 生 产 设 备 。 但 需 要 对 浆 料 进行 改 良 , 因 为 内 在 薄 层 技 术 理 念 及 其他 技 术 理 念 都 要 求 低 温 烧 结 , 且 必 须接 触 p+ 表 面 , 而 这 些 都 是 一 般 银 浆 料不 能 做 到 的 。因 此 , 该 电 池 产 品 的 所 有 供 应 商 (主 要 是 杜 邦 、 贺 利 氏 和 Ferro) 都 采 用 并进 一 步 改 良 了 银 - 铝 浆 料 。 浆 料 中 的 铝能 够 保 证 接 触 电 阻 良 好 , 但 会 严 重 降 低导 电 性 ; 除 此 之 外 , 由 于 铝 会 渗 入 空 间电 荷 区 , 所 以 会 限 制 开 路 电 压 (Voc)。因 此 , 浆 料 制 造 商 正 在 寻 找 另 一 种 材 料替 代 浆 料 中 的 铝 。除 了 利 用 丝 网 印 刷 进 行 金 属 化 外 ,其 他 丝 印 产 物 , 例 如 扩 散 浆 料 、 扩 散 阻挡 层 、 浸 蚀 及 隔 离 浆 料 等 , 在 先 进 电 池技 术 理 念 中 亦 越 显 重 要 , 这 不 仅 是 对 n型 电 池 技 术 理 念 而 言 , 对 较 复 杂 的 p 型电 池 ( 例 如 PERC 和 交 指 式 背 接 触 结 构电 池 ) 技 术 理 念 亦 是 如 此 。目 的 在 于 增 强 电 池 效 率 。激 光 工 艺 流 程对 于 选 择 性 扩 散 的 加 工 设 备 来说 , 扩 散 阻 挡 层 是 一 个 非 常 重 要 话 题之 一 。 正 如 前 文 所 述 , 这 可 以 通 过 丝网 印 刷 来 实 现 , 但 是 激 光 工 艺 在 制 造较 复 杂 装 置 设 备 过 程 中 发 挥 着 越 来 越重 要 的 作 用 。激 光 技 术 可 广 泛 应 用 于 选 择 性 流程 , 例 如 选 择 性 掺 杂 、 打 开 钝 化 介 质或 打 开 扩 散 阻 挡 层 。 在 上 述 具 体 应 用中 , 选 择 正 确 的 激 光 功 率 、 频 率 及 工 作速 度 是 最 为 重 要 的 。上 述 具 有 成 本 效 益 的 方 法 继 续 优化 并 适 当 组 合 , 就 有 可 能 使 156x156 平方 毫 米 的 n 型 硅 片 的 效 率 达 到 21%, 而制 造 成 本 与 传 统 p 型 太 阳 能 电 池 的 制造 成 本 相 当 甚 至 更 低 。 最 典 型 的 一 个例 子 就 是 ISC Konstanz 和 Silfab 公 司 研开 发 生 产 ZEBRA 大 型 交 指 式 背 接 触 太阳 能 电 池 。52 光 伏 杂 志 2012/9 月 刊