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行 业 及 供 货 商到 硒 的 侵 袭 ; 在 2012 年 的 MRS 春 季 会议 上 有 报 道 : 当 钼 薄 膜 层 暴 露 在 硒 蒸 气中 时 , 至 少 有 0.5 微 米 厚 度 的 硒 化 钼 薄膜 产 生 。 而 目 前 大 部 分 的 科 研 调 查 , 认为 最 佳 的 硒 化 钼 厚 度 , 应 在 0.02-0.03微 米 之 间 。然 而 , 经 过 四 元 素 共 溅 射 沉 积 的铜 铟 镓 硒 薄 膜 层 , 当 其 基 板 暴 露 在 硒气 氛 中 时 , 铜 铟 镓 硒 薄 膜 层 本 身 已 形成 , 它 会 阻 止 硒 过 量 的 侵 袭 钼 薄 膜 层 ,除 非 薄 膜 层 有 过 多 的 针 孔 ( 则 硒 会 沿 着小 晶 粒 的 晶 界 , 穿 过 由 于 不 良 薄 膜 应 力产 生 的 裂 纹 渗 入 扩 散 ), 此 现 象 类 似 钠钙 玻 璃 中 的 钠 , 穿 过 钼 薄 膜 层 , 沿 着 晶界 向 上 扩 散 。 而 使 用 印 刷 工 艺 , 沉 积 金属 预 置 层 , 容 易 形 成 低 密 度 或 是 较 薄的 膜 层 , 从 而 使 硒 更 容 易 穿 过 铜 铟 镓硒 薄 膜 , 侵 袭 钼 电 极 层 。同 样 , 先 溅 射 金 属 预 置 层 , 再 将 基板 暴 露 在 硒 气 氛 或 硒 化 氢 气 体 中 , 钼 薄膜 层 已 被 金 属 层 覆 盖 着 , 钼 薄 膜 层 不 会与 硒 起 过 多 的 反 应 ; 事 实 上 , 在 蒸 发 工艺 过 程 中 , 硒 从 金 属 薄 膜 顶 部 , 向 下 与金 属 起 反 应 , 并 逐 步 被 吸 收 了 。 当 四 元素 在 热 基 板 蒸 发 时 , 硒 在 还 没 有 与 钼 起反 应 前 , 便 与 其 他 元 素 合 成 , 形 成 铜 铟参 考 文 献 :[1] J.R. Frantz, et al Thin Solid Films, vol.519.[2] J.Myers, Materials Research Society, Spring Meeting, April 10th2012, San Francisco. (“Nucleation and growth behavior of quarternarysputteredCIGS Thin Films”).[3] M.S. Ma et al, 2011 Conference on Optical Technology, Chin YunUniversity, Zhongli, May 27th, 2011.[4] Y.C. Lin et al, Applied Surface Science, APUSC-21102, 2010[5] J.H. Shi et al, Progress in Photovoltaic: Res. Appl. 2011; vol. 19, pp.160-164.[6] PLANSEE SE, Nadine Kerber, tel. 0043 5672 600-2422 (www.plansee.com).[7] Joseph McCabe, Renewable Energy World, July 26, 2010.[8] Eric Wesoff, Greentechmedia.com, Sept. 24th, 2010.鸣 谢被 引 用 的 期 刊 , 美 国 材 料 研 究 协 会 , 美 国 Sol Array LLC 公 司 的 Brian Yuen先 生 , 与 美 国 先 锋 材 料 公 司 (PMI)Leon Chiu 的 讨 论 , 美 国 俄 勒 冈 州 立 大 学的 Chih-hung Chang 教 授 和 Wei Wang 硕 士 。作 者 :彭 寿 先 生 ,2006 年 至 今 , 担 任 中 国 建 材 集 团 总 经 理 及 下 属 企 业 中 国 凯 盛 国 际 工 程 有 限 公 司 总经 理 、 蚌 埠 玻 璃 工 业 设 计 研 究 院 院 长 。 同 时 , 他 还 是 武 汉 理 工 大 学 兼 职 教 授 , 浮 法 玻 璃 新 技 术国 家 重 点 实 验 室 主 任 , 硅 酸 盐 材 料 工 程 教 育 部 重 点 实 验 室 学 术 委 员 会 委 员 , 是 全 国 工 程 勘 察 设计 大 师 。 彭 寿 先 生 主 持 完 成 数 十 项 国 内 外 大 型 建 材 项 目 的 工 程 设 计 和 总 承 包 , 建 设 了 国 家 级 玻璃 新 材 料 高 新 技 术 产 业 化 基 地 。 获 国 家 发 明 和 实 用 新 型 专 利 29 项 、 国 家 级 和 省 部 级 工 程 技 术 奖80 项 , 发 表 学 术 论 文 20 余 篇 。 他 是 亚 太 地 区 唯 一 入 选 国 际 玻 璃 界 最 高 学 术 机 构 ---- 国 际 玻 璃协 会 执 委 并 当 选 为 副 主 席 的 中 国 人 , 先 后 被 授 予 全 国 劳 动 模 范 , 享 受 国 务 院 政 府 特 殊 津 贴 。马 给 民 先 生 , 美 国 “ 日 阵 (Sol Array)” 有 限 公 司 总 裁 , 总 经 理 , 在 薄 膜 溅 射 行 业 和 太 阳 能 光 伏芯 片 的 应 用 有 十 年 以 上 的 经 验 , 在 建 立 大 型 批 量 生 产 厂 有 二 十 余 年 的 丰 富 经 验 , 曾 建 立 高 精 密压 缩 机 厂 和 无 源 板 面 插 件 芯 片 生 产 厂 。 他 是 美 国 , 德 州 大 学 , 机 构 工 程 系 学 士 , 硕 士 ; 荣 获 中 国广 东 省 江 门 市 之 荣 誉 市 民 。Paul Beatty, 任 东 莞 日 阵 薄 膜 光 伏 技 术 有 限 公 司 ( 日 阵 ) 技 术 总 监 ; 平 板 显 示 行 业 中 材 料 及 器 件的 权 威 顾 问 ; 自 2009 年 起 , 他 参 加 美 国 “ 日 阵 ” 公 司 并 与 美 国 俄 勒 冈 州 立 大 学 和 中 国 建 材 集 团公 司 , 从 事 铜 铟 镓 硒 芯 片 研 究 。 其 大 学 论 文 主 攻 电 致 发 光 器 件 化 学 磷 光 体 之 表 面 缺 陷 ; 他 是 英国 Bristol 大 学 , 化 学 系 , 材 料 分 子 科 学 工 程 硕 士 ,Beatty 博 士 是 英 国 皇 家 化 学 研 究 所 , 物 理 研究 所 , 平 板 显 示 协 会 和 材 料 研 究 协 会 等 会 员 。44 光 伏 杂 志 2012/9 月 刊