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应 用 及 安 装 — 生 产 技 术生 产 技 术 / MEI LLCPura 湿 处 理照 片 :Schmid Group 照 片 :MEI LLCM E L L LC 公 司 表 示 , 其 面 向 多 晶硅 生 产 商 的 Pura 湿 处 理 系 统 , 已 达 到生 产 技 术 / 施 密 德 集 团设 置 基 准 点施 密 德 集 团 (Schmid Group) 最 近推 出 了 其 新 型 革 命 性 晶 片 预 清 洁 系 统 ,即 , 晶 片 预 清 洁 及 除 胶 系 统 。 据 该 公 司超 纯 的 水 平 。 这 系 统 , 可 干 燥 此 前 认 为不 可 能 大 批 量 干 燥 的 微 小 颗 粒 物 质 ,并 使 目 前 的 湿 加 工 和 干 燥 系 统 的 能 源消 耗 量 , 降 低 70% 至 80%, 甚 至 更 多 。同 时 , 通 过 将 湿 处 理 系 统 足 迹 减 少60% 以 上 ,Pura 也 节 省 了 生 产 区 域 面积 。Pura 湿 处 理 系 统 , 包 括 MEI 公 司 的多 晶 硅 蚀 刻 、 清 洗 和 烘 干 过 程 中 的 知识 产 权 。Pura 系 统 , 还 包 含 了 正 在 申 请专 利 的 FlashDry 冷 干 燥 工 艺 , 消 除 了 在声 称 , 产 品 简 化 的 设 计 , 降 低 了 经 营 成本 , 减 少 了 磨 损 。 该 系 统 可 成 功 地 清 洁钻 石 线 切 割 的 晶 圆 。 得 益 于 新 型 吊 舱型 运 输 系 统 , 所 有 可 移 动 的 部 分 都 可以 与 粉 尘 区 域 隔 离 , 这 意 味 着 损 耗 及维 修 成 本 可 以 降 低 。 每 个 小 时 4 个 承 载架 通 过 齿 轮 驱 动 几 乎 垂 直 地 在 系 统 内运 输 。 革 命 性 的 喷 头 系 统 通 过 冲 洗 每个 晶 片 切 割 表 面 的 全 部 区 域 保 证 取 得良 好 的 清 洗 效 果 。 精 确 的 水 流 控 制 考虑 到 了 最 低 用 水 量 , 较 低 的 水 压 不 会损 坏 易 损 元 件 表 面 。 上 述 这 些 设 计 使干 燥 多 晶 硅 时 对 热 的 使 用 。FlashDry对 颗 粒 状 、 细 粉 状 和 再 生 性 废 料 尤 为重 要 , 因 为 该 设 备 可 以 减 少 表 面 污 染 ,保 持 湿 加 工 阶 段 中 获 得 的 纯 度 水 平 。 该公 司 的 专 有 控 制 软 件 I D X , 可 提 供 P u r a湿 处 理 系 统 的 操 作 数 据 , 以 便 工 程 师观 察 了 解 罐 体 或 腔 体 中 的 进 行 情 况 。www.meillc.com得 损 耗 率 十 分 的 低 , 这 正 是 施 密 德 集团 向 顾 客 保 证 的 。 经 过 该 系 统 的 晶 片 不会 有 金 属 离 子 污 染 物 残 留 , 这 是 因 为 所有 接 触 晶 片 的 部 分 , 包 括 所 有 加 工 区 、管 道 、 槽 箱 等 都 是 塑 料 制 造 的 。 脱 胶 工序 在 浸 泡 槽 中 进 行 , 该 浸 泡 槽 预 先 低压 注 入 含 水 酸 。 在 这 部 分 化 学 溶 剂 的循 环 利 用 保 证 了 其 低 消 耗 率 。 随 后 的冲 洗 过 程 将 晶 片 上 的 除 胶 溶 剂 移 除 。www-schmid-group.com生 产 技 术 / BT Imaging成 套 设 备BT Imaging 公 司 推 出 了 一 整 套 设备 套 件 , 旨 在 促 进 晶 圆 和 电 池 制 造 商之 间 的 沟 通 和 协 作 。 该 套 件 包 括 了 新一 代 光 致 发 光 (PL) 晶 圆 质 量 检 测 系 统iLS-W2, 在 线 准 单 晶 晶 粒 检 测 系 统iS-G1, 一 个 与 iLS-W2 或 iS-G1 配 套的 升 级 自 动 化 套 件 iQ, 以 及 一 个 用 于自 动 分 检 晶 圆 的 集 成 设 备 QS-W2。这 一 整 套 设 备 , 可 以 让 一 体 化 光 伏 制造 商 , 在 电 池 进 入 生 产 环 节 之 前 , 检 查生 产 线 上 的 每 一 片 晶 圆 , 了 解 晶 圆 的 电性 能 。iLS-W2 通 过 使 用 光 致 发 光 图像 和 集 成 图 像 处 理 算 法 , 可 在 晶 圆 生产 线 全 速 运 行 时 , 检 测 硅 光 伏 晶 圆 的电 气 质 量 , 并 对 其 进 行 等 级 分 类 。 其检 测 处 理 速 度 可 达 到 每 小 时 3600 片 晶圆 。iLS-W2 还 有 一 个 紧 凑 的 组 件 化 设计 , 使 其 能 够 轻 松 集 成 入 任 何 晶 圆 检 测系 统 。 该 公 司 表 示 , 针 对 电 池 制 造 商 们目 前 对 晶 圆 制 造 商 设 置 的 更 高 规 格 要求 ,i L S - W 2 系 统 被 专 门 设 计 成 一 个 通用 的 分 级 系 统 , 以 帮 助 光 伏 制 造 商 们 根据 分 级 来 确 定 晶 圆 规 格 , 并 在 晶 圆 生 产线 的 终 端 对 晶 圆 进 行 分 捡 。iLS-W2 具有 对 切 割 多 晶 和 准 单 晶 晶 圆 片 的 分 级功 能 , 在 不 久 的 将 来 , 还 将 具 有 对 C Z单 晶 硅 光 伏 晶 圆 片 的 分 级 功 能 。www.btimaging.com照 片 :BT Imaging80 光 伏 杂 志 2012/9 月 刊