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Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik - DPG-Tagungen

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<strong>Vakuumphysik</strong> <strong>und</strong> <strong>Vakuumtechnik</strong> Montag<br />

VA 4 Vakuummikroelektronik<br />

Zeit: Montag 16:50–17:10 Raum: H47<br />

VA 4.1 Mo 16:50 H47<br />

Untersuchungen zu Feldemissionseigenschaften von Carbon Nanotubes<br />

— •Wolfram Knapp <strong>und</strong> Detlef Schleussner — Ottovon-Guericke-Universität<br />

Magdeburg, Abt. <strong>Vakuumphysik</strong> <strong>und</strong> -technik,<br />

Universitätsplatz 2, 39106 Magdeburg<br />

Carbon Nanotubes (CNTs) werden in unterschiedlichen Strukturen zunehmend<br />

als flächenhafte Feldemitter für vakuumelektronische <strong>und</strong> vakuummikroelektronische<br />

Anwendungen, wie z.B. Displays, Lichtelemente,<br />

Leistungsröhren u.a., eingesetzt. Bei o.g. Anwendungen handelt es sich<br />

um geschlossene Vakuumsysteme. Schwerpunkt unserer Untersuchungen<br />

zu Feldemissionseigenschaften von CNTs sind dagegen Anwendungen mit<br />

stark wechselnden Vakuumbedingungen, typisch z.B. für Ionisationsmanometer.<br />

Entsprechend dieser Einsatzcharakteristik wurden Belastungstests<br />

vorgeschlagen <strong>und</strong> durchgeführt. Untersuchungen zu CNTs mit<br />

ungeordneten, sogenannten ” Buckypaper“-Strukturen bestätigen die hervorragenden<br />

Feldemissionseigenschaften mit Schwellwert-Feldstärken um<br />

1V/Mikrometer für die Elektronenemission <strong>und</strong> realisierten Stromdichten<br />

um 100mA/cm-2. Als Stresstest werden definierte Durchschläge (Mikroarcs)<br />

vorgestellt, die als Oberflächenbehandlung eingesetzt, eine langzeitstabile<br />

Feldemission mit geringerem Stromrauschen bewirken. Zudem<br />

werden Experimente zur Früherkennung <strong>und</strong> Vermeidung von Durchschlägen<br />

ausgewertet <strong>und</strong> diskutiert.

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