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Empfohlene Literatur:<br />

<strong>Hilfsblätter</strong> <strong>zur</strong> "Leistungselektronik"<br />

1. Grundlagen der Leistungselektronik<br />

von: Klemens Heumann Teubner Studienbücher ISBN 3-519-26105-7<br />

2. Leistungselektronik<br />

von: Rainer Felderhoff Carl Hanser Verlag ISBN 3-446-13830-7<br />

3. Leistungselektronik<br />

von: Manfred Michel Springer-Verlag ISBN 3-540-54471-2<br />

4. MOS-Bauelemente in der Leistungselektronik<br />

von: Felix Schörlin Franzis-Verlag GmbH ISBN 3-7723-4702-9<br />

5. Leistungselektronik, Grundlagen und Anwendungen<br />

von: Rainer Jäger VDE-Verlag GmbH ISBN 3-8007-1114-1<br />

6. Elektronik IV A, Leistungselektronik<br />

von: Hans-Arno Künstler Richard Pflaum Verlag ISBN 3-7905-01540-4<br />

7. Leistungselektronik<br />

von: Brosch, Landrath, Wehberg Vieweg-Verlag ISBN 3-528-03879-9<br />

8. Schaltnetzteile in der Praxis<br />

von: D. Kilgenstein Vogel Verlag ISBN 3-8023-1436-0<br />

9. Schaltnetzteile und ihre Perpherie<br />

von: Ulrich Schlienz Vieweg-Verlag ISBN 3-528-03935-3<br />

10. Professionelle-Schaltnetzteil-Applikationen<br />

von: Udo Leonhard Thiel Franzis-Verlag ISBN 3-7723-4582-4<br />

11. Schaltnetzteile – Funktionsprinzip und Nachbauschaltungen<br />

von: Franz-Peter Zantis Elektor-Verlag ISBN 3-928051-75-X<br />

Die empfohlene Literatur ist in der Bibliothek der FH vorhanden. Die Literaturangaben 1 bis 6<br />

unterstützen besonders die Vorlesung „Leistungselektronik“.<br />

Inhalt<br />

1. Leistungshalbleiter 2<br />

1.1 Dioden 4<br />

1.2 Thyristoren 5<br />

1.3 Leistungstransistoren 9<br />

1.4 MOS-gesteuerte Leistungsschalter 11<br />

2. Betrieb der Leistungshalbleiter 15<br />

2.1 Beschaltung 15<br />

2.2 Zündung 16<br />

2.3 Kühlung 20<br />

2.4 Schaltbedingungen in elektrischen Netzen 22<br />

2.5 Kommutierung 23<br />

3. Halbleiterschalter und –steller 26<br />

3.1 Halbleiterschalter 26<br />

3.2 Halbleitersteller 30<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 1


4. Fremdgeführte Stromrichter 35<br />

4.1 Netzgeführte Gleich- und Wechselrichter 35<br />

4.2 Netzrückwirkungen 52<br />

4.3 Netzgeführte Umrichter 55<br />

4.4 Lastgeführte Wechselrichter 58<br />

5. Selbstgeführte Stromrichter 62<br />

5.1 Halbleitersteller für Gleichstrom 62<br />

5.2 I-Umrichter 66<br />

5.3 Frequenzumrichter 67<br />

5.4 Schaltnetzteile 74<br />

1. Leistungshalbleiter<br />

Alle Leistungshalbleiter enthalten einen oder mehrere PN-Übergänge, die für eine Spannungspolarität<br />

Sperrvermögen haben und bei entgegengesetzter Polarität einen Strom bei kleinem<br />

Durchlassspannungsfall führen können!<br />

Ausgangsmaterial ist heute im Allgemeinen Silizium-Einkristall, wobei das Kristallgitter vom<br />

Diamanttypus mit Elektronenpaarbildung ist. Störstellen können eingebaut werden, wenn ein<br />

Siliziumatom durch ein Element der 5. oder 3. Gruppe des periodischen Systems ersetzt wird.<br />

Donatoren: N-Leiter (überschüssige Valenzelektronen)<br />

(5. Gruppe z.B. Phosphor, Arsen, Antimon)<br />

Akzeptoren: P-Leiter (Defektelektronen)<br />

(3. Gruppe z.B. Bor, Aluminium, Indium, Gallium)<br />

Vergleich von spezifischen Widerständen<br />

P- und N-leitendes Silizium ρ ≈ 10 -3 - 10 4 Ω·cm<br />

Eigenleitung bei Silizium (20°C) ρ ≈ 2·10 5 Ω·cm<br />

Metalle ρ ≈ 2·10 -6 Ω·cm<br />

Nichtleiter ρ ≈ 10 12 - 10 18 Ω·cm<br />

Die spezifische Leitfähigkeit, der reziproke Wert des spezifischen Widerstandes, ist bei P- und Nleitendem<br />

Silizium nahezu proportional <strong>zur</strong> Störstellenkonzentration.<br />

Gehäusebauformen<br />

Die mit verschieden dotierten Schichten versehene Siliziumscheibe (das eigentliche Halbleiterbauelement)<br />

wird bei allen Leistungshalbleitern zum Schutz gegen mechanische Beschädigung<br />

und atmosphärische Einflüsse in ein Gehäuse eingebracht. Dieses leitet außerdem die im<br />

Leistungshalbleiter auftretenden Verluste an einen Kühlkörper ab.<br />

Bei großen Leistungen werden vorzugsweise zweiseitig kühlbare Scheibenzellen eingesetzt.<br />

Früher wurden bei mittleren Leistungen einseitig kühlbare Flachboden- oder Schraubbolzenzellen<br />

verwendet.<br />

Heute sind Leistungshalbleiter bei kleinen und mittleren Leistungen in Kompaktbausteinen<br />

(Powerblock) elektrisch isoliert eingebaut. Häufig werden hierbei mehrere, auch unterschiedliche<br />

Leistungshalbleiter zu Stromrichtern oder Teilstromrichtern in einem Kompaktbaustein<br />

verschaltet.<br />

Da bei Kompaktbausteinen der eigentliche Halbleiter gegenüber dem Gehäuseboden durch eine<br />

Metalloxidschicht (gute Wärmeleitfähigkeit) elektrisch isoliert ist, wird die Montage auf einem<br />

geeigneten Kühlkörper einfach.<br />

Bei (sehr) kleinen Leistungen finden auch andere Gehäusebauformen wie z.B. TO 3, TO 220,<br />

TO 247 .... Anwendung.<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 2


Thyristorscheibenbauform und Siliziumscheibe auf Thyristorflachbodenbauform<br />

Trägermaterial auf Kühlkörper (alte Technik)<br />

Powerblock mit 2 Thyristoren Powerblocks in verschiedenen Ausführungen für IGBT´s<br />

Bauformen von Leistungshalbleitern<br />

Steuerungskontaktanschluss<br />

G<br />

Kathodenanschluss K<br />

Keramik-Isolator Siliziumscheibe Anodenanschluss A<br />

5 6 7<br />

4<br />

3<br />

Kühlkörper<br />

Aufbau von Leistungshalbleitern in<br />

Scheibenbauform<br />

1 Lastwechselfeste Lötkontakte a) spezielle Dickdrahtbondung<br />

b) nur eine Lötschicht pro Chip<br />

2 Niedriger Wärmewiderstand durch Aluminiumoxid-Keramik (Al2O3) oder Aluminiumnitrid-<br />

Keramik (AlN)<br />

3 Potentialfreier Aufbau, Spannungsfestigkeit der Isolation bis 4 kVRMS<br />

4 Chip mit hoher Sperrspannungs-Langzeitstabilität<br />

5 Robustes, fließarmes Kunststoffgehäuse, einfache und sichere Montage mit Schrauben auf<br />

Kühlkörper<br />

6 Hilfsmechanik sorgt für konvexe Bodenplatten, optimale Anpassung an Kühlkörper<br />

7 Schutz der Chips gegen mechanische Beanspruchung durch Weichverguss<br />

Aufbau von Kompaktbausteinen (Powerblock)<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 3<br />

2<br />

1a<br />

1b


Powerblock FF 50 R 12 KF (oben) und<br />

defekter Powerblock im zerlegtem Zustand<br />

(links)<br />

1.1 Dioden<br />

Die Diode hat einen PN-Übergang. Bei positiver Anode fließt Durchlassstrom von der Anode <strong>zur</strong><br />

Kathode. Bei positiver Kathode sperrt der PN-Übergang, wobei nur ein sehr kleiner Rückwärtsstrom<br />

von einigen Milliampere auftritt, solange die maximal zulässige Sperrspannung nicht<br />

überschritten wird.<br />

+ Anode A<br />

P<br />

N<br />

_ Kathode K<br />

i R<br />

negative<br />

Sperrkennlinie<br />

Durchlasskennlinie<br />

Aufbau (Schema) Schaltzeichen Kennlinie<br />

Halbleiterdiode<br />

Von besonderer Bedeutung sind bei Leistungshalbleitern die zulässigen Grenzwerte für Strom<br />

und Spannung. Aus diesen Grenzwerten ergeben sich durch Sicherheitsfaktoren für den Betrieb<br />

empfohlene Nennwerte.<br />

Der Dauergrenzstrom IFAVM ist der arithmetische Mittelwert des höchsten dauernd zulässigen<br />

Durchlassstromes bei sinusförmigen Stromhalbschwingungen.<br />

Für die Auslegung der Schutzeinrichtungen maßgebend sind der Grenzstrom, hier muss<br />

Abschaltung erfolgen, der Stoßstrom, der nur einmal als Sinusschwingung bei 50 Hz aus dem<br />

Nennbetrieb auftreten darf, und das Grenzlastintegral i 2 t.<br />

Die Durchlassspannung uF ist die in Durchlassrichtung zwischen den Anschlüssen der Diode<br />

auftretende Spannung. Sie beträgt bei Silizium 1 V bis 1,5 V.<br />

Die höchstzulässige periodische Spitzensperrspannung URRM ist der höchste periodische<br />

zulässige Augenblickswert der Sperrspannung. Ein Sicherheitsfaktor von 1,5 bis 2 sollte für den<br />

Betrieb eingehalten werden.<br />

Beispiel: UN = 400 V � URRM = 2 ⋅ 400 V ⋅ (1,5...<br />

2,0) = 850 V ... 1130 V<br />

Siliziumdioden erreichen: Sperrspannungen URRM > 8 kV<br />

1. R ↔ Reverse, 2. R ↔ Repetitiv, 3. M ↔ Maximal<br />

Dauergrenzstrom IFAVM > 8 kA<br />

F ↔ Forward, AV ↔ Average Value, M ↔ Maximal<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 4<br />

i A<br />

i F<br />

u A


Die Durchlasskennlinie und besonders die Sperrkennlinie sind von der Temperatur des<br />

Halbleiters, der Sperrschichttemperatur ϑj, abhängig. Der Sperrstrom nimmt mit steigender<br />

Sperrschichttemperatur stark zu. Für Siliziumdioden ist eine obere Sperrschichttemperatur<br />

zwischen 150°C und 200°C zulässig.<br />

Schaltverhalten<br />

Das Schaltverhalten von Dioden wird durch den Durchlassverzug und den Sperrverzug<br />

gekennzeichnet. Beim Einschalten vergeht eine sehr kurze Zeit, ehe der Durchlassstrom fließt,<br />

weil zuerst Ladungsträger aus den hochdotierten Zonen in den PN-Übergang injiziert werden<br />

müssen (Durchlassträgheit). Beim Ausschalten einer Diode erlischt der Strom nicht im<br />

Nulldurchgang, sondern fließt zunächst in negativer Richtung weiter, bis die Basiszone (PN-<br />

Übergang) von Ladungsträgern frei geworden ist und Sperrspannung übernommen werden kann<br />

(Sperrträgheit).<br />

i<br />

0<br />

u<br />

0<br />

i F<br />

i RRM<br />

Q s<br />

ts trr u RM<br />

t f<br />

0,25 · i RRM<br />

0,9 · i RRM<br />

du R/dt u R<br />

Ausschalten einer Halbleiterdiode<br />

iF ↔ Durchlassstrom<br />

iRRM ↔ Spitzenwert des<br />

Sperrstromes<br />

ts ↔ Spannungsnachlaufzeit<br />

trr ↔ Sperrverzugszeit<br />

tf ↔ Rückstromfallzeit<br />

Qs ↔ Nachlaufladung<br />

uRM ↔ Scheitelwert der<br />

Sperrspannung<br />

uR ↔ Sperrspannung<br />

uR = Uk<br />

Uk ↔ Kommutierungs-<br />

spannung<br />

1.2 Thyristoren (SCR ↔ Silicon Controlled Rectifier)<br />

Der Thyristor ist ein Leistungshalbleiter mit vier Schichten abwechselnder Leitfähigkeit. Die<br />

beiden äußeren Schichten sind höher dotiert. Der Steueranschluss (Gate) ist normalerweise an der<br />

kathodenseitigen P-Zone angebracht.<br />

Die Kennlinie eines Thyristors hat drei Äste: Die negative Sperrkennlinie wie bei der Diode (ir),<br />

die positive Sperrkennlinie (iD) und die Durchlasskennlinie (iT).<br />

Bei anliegender Spannung in Durchlassrichtung sperrt zunächst der mittlere PN-Übergang. Ein<br />

positiver Steuerstrom lässt Ladungsträger in den PN-Übergang strömen, der PN-Übergang wird<br />

leitend.<br />

Die Durchlassspannung uT beträgt infolge von drei PN-Übergängen 1,2 bis 2,0 V.<br />

Das Umschalten von der positiven Sperrkennlinie auf die Durchlasskennlinie erfolgt ohne<br />

Steuerstrom, wenn die zulässige positive Spitzensperrspannung überschritten wird oder die<br />

Spannungssteilheit einen kritischen Wert überschreitet (darf nicht periodisch erfolgen).<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 5<br />

t<br />

t


Steueranschluss<br />

Aufbau (Schema) Schaltzeichen Kennlinie<br />

Thyristor (Vierschichttriode)<br />

Wichtige elektrische Kenngrößen eines Thyristors sind:<br />

� Höchstzulässige periodische negative Spitzensperrspannung URRM,<br />

� Nennstrom IN, der arithmetische Mittelwert des dauernd zulässigen Durchlassstromes,<br />

� Dauergrenzstrom ITAVM, Stoßstrom und Grenzlastintegral i 2 · t.<br />

Schaltverhalten<br />

i GT<br />

90%<br />

p T<br />

i A, u A<br />

0<br />

t gd<br />

u A<br />

t gr<br />

+ Anode A<br />

P<br />

N<br />

P<br />

N<br />

_ Kathode K<br />

p T<br />

10%<br />

i A<br />

t gs<br />

negative<br />

Sperrkennlinie<br />

iGT ⇔ Zündstrom<br />

pT ⇔ Durchlassverlustleistung<br />

tgd ⇔ Zündverzugszeit<br />

tgr ⇔ Durchschaltzeit<br />

tgs ⇔ Zündausbreitungszeit<br />

Einschalten eines Thyristors<br />

Das Einschalten des Thyristors erfolgt nach der kurzen Zündverzugszeit tgd. Während der anschließenden<br />

Durchschaltzeit tgr sinkt die Anodenspannung uA von 90% auf 10%. In dieser<br />

Zeitspanne wird der Maximalwert der Verlustleistung pT erreicht. Die Zündausbreitungszeit<br />

tgs kann bis zu 100 µs dauern; sie ist vom Durchmesser des Halbleiters und vom Steueranschluss<br />

(Gate) abhängig.<br />

Das Ausschaltverhalten des Thyristors entspricht dem der Diode. Jedoch müssen hier die<br />

Ladungsträger aus zwei PN-Übergängen geräumt werden (zeitlich nacheinander). Ab dem<br />

Zeitpunkt t2 nimmt die kathodenseitige Sperrschicht Sperrspannung auf und ab dem Zeitpunkt t4<br />

auch die anodenseitige Sperrschicht (Bild: Ausschalten eines Thyristors).<br />

Die wichtigsten dynamischen Eigenschaften sind die maximal zulässige Spannungssteilheit<br />

(du/dt)krit, die maximal zulässige Stromsteilheit (di/dt)krit und die Freiwerdezeit tq.<br />

Die Freiwerdezeit tq ist die Mindestzeit zwischen dem Nulldurchgang des Stromes von der<br />

Vorwärts- <strong>zur</strong> Rückwärtsrichtung und der frühest zulässigen Wiederkehr einer positiven<br />

Sperrspannung. In Schaltungen muss eine Schonzeit tc > tq vorgesehen werden.<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 6<br />

t<br />

t<br />

i R<br />

I AM<br />

i A<br />

I H<br />

Durchlasskennlinie<br />

Schaltrichtung<br />

i T<br />

u A<br />

i D<br />

U AM


i A<br />

0<br />

0<br />

u A<br />

t 0<br />

t 1<br />

t s<br />

t rr<br />

t 2 t 3 t 4 t 5<br />

U k<br />

10%<br />

tc > tq t<br />

0<br />

t<br />

trr ⇔ Sperrverzugszeit ts ⇔ Speicherzeit<br />

Ausschalten eines Thyristors<br />

Thyristordaten<br />

N-Thyristoren sind für Anwendungen bei Netzfrequenz von 50 Hz ... 60 Hz ausgelegt. Die<br />

Freiwerdezeiten tq liegen bei diesen Thyristoren zwischen 100 µs und 300 µs.<br />

F-Thyristoren mit niedrigen Freiwerdezeiten zwischen 8 µs und 50 µs sind für Schaltungen mit<br />

Zwangskommutierung bei höheren Frequenzen geeignet..<br />

N-Thyristoren erreichen:<br />

Sperrspannungen URRM > 8 kV<br />

Dauergrenzstrom ITAVM > 7 kA<br />

Thyristorarten<br />

Für Anwendungen im Mittelfrequenzbereich werden auch asymmetrisch sperrende Thyristoren<br />

(ASCR) und rückwärtsleitende Thyristoren (RLT) eingesetzt. Durch den Einbau einer hochdotierten<br />

N-Zone wird beim ASCR die Sperrfähigkeit auf rd. 20 V beschränkt. Bei sonst gleichen<br />

Daten wird die Dicke der N-Basiszone verringert, so dass sich das Durchlassverhalten verbessert<br />

und die Freiwerdezeit etwa halbiert. Der rückwärtsleitende Thyristor besitzt zusätzlich einen<br />

außen liegenden Diodenring.<br />

Bei Mittel- und Hochspannungs-Stromrichtern werden zunehmend lichtgesteuerte Thyristoren<br />

als zweiseitig kühlbare Scheibenzellen eingesetzt. Sie können so ohne Potentialprobleme für<br />

den Steueranschluss (Gate) in Hochspannungskaskaden (z.B. HGÜ) in Reihe geschaltet<br />

werden. Die <strong>zur</strong> Zündung notwendigen Ladungsträgerpaare werden durch Licht erzeugt, das<br />

über Lichtleiter in das Thyristorgehäuse geführt wird. Da die mittels Licht übertragbare<br />

Zündenergie gering ist, sind Gate-Strukturen mit hoher Einschaltempfindlichkeit erforderlich.<br />

Direkt lichtgezündete Thyristoren stehen für Sperrspannungen URRM > 8 kV und<br />

Dauergrenzströme ITAVM > 5 kA <strong>zur</strong> Verfügung.<br />

Für selbstgeführte Stromrichter steht für hohe Leistungen der Abschaltthyristor (GTO) <strong>zur</strong><br />

Verfügung (nur noch selten).<br />

Zur Steuerung von Wechsel- und Drehstrom finden Zweirichtungs-Thyristoren (Triac) bei<br />

Spitzensperrspannungen bis 1500 V und Dauergrenzströmen bis 100 A Anwendung.<br />

Triacs können Ströme in beide Richtungen führen. Sie enthalten in einer Siliziumscheibe zwei<br />

gegenparallele PNPN-Zonenfolgen. Die Polarität des Zündstromes kann beliebig sein.<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 7<br />

i A<br />

0<br />

u A


Abschaltthyristor (GTO, Gate-Turn-Off)<br />

0<br />

Abschaltbare Thyristoren können durch Steuerströme einer<br />

Polarität gezündet und hohe Steuerströme entgegengesetzter<br />

-60<br />

Polarität wieder gelöscht werden. GTO's haben - wie<br />

iG/A konventionelle Thyristoren - eine Vierschichtenstruktur<br />

800<br />

abwechselnder Leitfähigkeit PNPN. Die Kathodenfläche ist in<br />

Streifen geringer Breite aufgeteilt, die von Gate-Bahnen<br />

600<br />

uA/V 400<br />

umgeben sind.<br />

Nach dem Einsetzen des negativen Steuerstromes iG vergeht<br />

200<br />

0<br />

eine Speicherzeit von einigen µs bis der mittlere PN-Übergang<br />

des Thyristors sperrt und der Steilabfall des Anodenstroms iA<br />

einsetzt. Die Anstiegssteilheit der wiederkehrenden Anodenspannung<br />

uA wird durch Beschaltungskondensatoren bestimmt.<br />

200<br />

Nach dem Steilabfall bleibt ein kleiner, erst in einigen µs<br />

iA/A abklingender Strom bestehen, der durch restliche Ladungsträger<br />

100<br />

in der N-Basiszone verursacht wird.<br />

0 0 2 4 6 8 10<br />

t / µs<br />

Abschaltvorgang eines GTO-Thyristors<br />

Zweirichtungs-Thyristortriode (Triac)<br />

Bei der Herstellung des Triacs geht man von einem N-leitenden Si-Scheibchen aus, in das die<br />

oberen und unteren P-Zonen und N-Zonen eindotiert werden.<br />

G<br />

A 1<br />

n<br />

p p<br />

n<br />

p<br />

n n n<br />

p<br />

p<br />

n<br />

p<br />

Hilfsthyristorstrecke<br />

1<br />

A 2<br />

p<br />

n<br />

p<br />

n<br />

n<br />

p<br />

n<br />

p<br />

Hilfsthyristorstrecke<br />

2<br />

n<br />

Gate<br />

Anode 2<br />

Anode 1<br />

Kristallaufbau mit Hilfsthyristorstrecken Schaltzeichen des Triacs<br />

und Schnitt durch ein Triackristall<br />

Ein Triac arbeitet wie eine Antiparallelschaltung von zwei Thyristoren. Er steuert beide Halbwellen<br />

eines Wechselstromes. Die Steuerung erfolgt über eine einzige Steuerelektrode (Gate).<br />

Ein Triac hat zwei Anoden, die mit A1 und A2 bezeichnet werden.<br />

Das Steuern vom hochohmigen Zustand (Blockierbereich) in den niederohmigen Zustand<br />

(Durchlassbereich) erfolgt im Allgemeinen bei Anode A2 positiv gegen Anode A1 mit einem<br />

positiven Steuerimpuls gegen A1 und bei Anode A2 negativ gegen Anode A1 mit einem negativen<br />

Steuerimpuls gegen A1.<br />

Grundsätzlich kann der Steuerimpuls auch die andere Polarität haben. Es sind dann jedoch<br />

deutlich größere Steuerimpulse erforderlich. Die Steuerimpulse werden üblich mit Diacs<br />

(Zweirichtungsdiode) erzeugt, die eine definierte Durchbruchspannung aufweisen (UB0 ≈ 30 V).<br />

Das Gate eines Triacs hat wie die Steuerelektrode eines Thyristors nach der Zündung ihre<br />

Wirksamkeit verloren. Der Triac bleibt so lange niederohmig, bis der Haltestrom IH unterschritten<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 8<br />

p<br />

n<br />

p<br />

n<br />

A 1<br />

A 2<br />

G


wird. Dann kippt er in den hochohmigen Zustand. Bei der Steuerung von Wechselstrom muss der<br />

Triac in jeder Halbwelle erneut gezündet werden.<br />

Kenn- und Grenzwerte<br />

Grenzwerte sind die periodische Spitzensperrspannung UDR0M ≈ 400 V, der Durchlassstrom<br />

IT ≈ 15 A und der Gate-Spitzenstrom (1µs) IGTM ≈ 4 A.<br />

Übliche Kennwerte sind die maximale Durchlassspannung UTM ≈ 1,8 V, der Haltestrom<br />

≈ 15 mA, der Spitzensperrstrom IDR0M ≈ 0,5 mA und der Gate-Triggerstrom IGT ≈ 20 mA.<br />

1.3 Leistungstransistoren<br />

Im Schaltbetrieb arbeitende Transistoren können als Stromrichterventile im Leistungsteil<br />

eingesetzt werden.<br />

Zur Leistungssteigerung ist sowohl Reihen- als auch Parallelschaltung von Leistungstransistoren<br />

in einem Stromrichterzweig möglich.<br />

Bipolare-Leistungstransistoren<br />

Ein Transistor ist ein Verstärkerelement, das im Gegensatz zum Thyristor durch eine<br />

Ladungsträgersteuerung stetig ausgesteuert werden kann. In der Leistungselektronik ist ein<br />

Transistor voll gesperrt oder voll ausgesteuert, er arbeitet als Schalter. In der Leistungselektronik<br />

wurden Darlington-Leistungstransistoren (zwei unabhängige Transistoren auf einem<br />

Chip) mit einer Stromverstärkungen von über 1000 eingesetzt. Hochvolttransistoren haben<br />

Sperrspannungen UCE von rd. 1400 V bei Kollektorströmen bis 400 A.<br />

Da bipolare Leistungstransistoren nur noch in älteren Anlagen eingesetzt werden, wird hier<br />

nur auf die <strong>Hilfsblätter</strong> <strong>zur</strong> Vorlesung „Bauelemente der Elektrotechnik“, Kapitel 7<br />

hingewiesen (gleiche Internetseite).<br />

Leistungs-MOS-FET<br />

MOS-Feldeffekttransistoren (Metal-Oxide-Semiconductor) gehören zu der Gruppe der<br />

Isolierschicht-Transistoren oder kurz IG-FET genannt. Die Anschlüsse Source und Drain sind von<br />

der Steuerelektrode (Gate) durch eine Siliziumdioxid-Schicht (SiO2) isoliert.<br />

MOS-FET lassen sich als N-Kanal-Typ<br />

UGS Source<br />

oder als P-Kanal-Typ herstellen.<br />

Wegen der günstigeren RDS(on)-Werte<br />

Gate<br />

werden in der Leistungselektronik<br />

vorwiegend N-Kanal-MOS-FET ein-<br />

n+<br />

n+ gesetzt.<br />

UDS p p Nach der Richtung des leitfähigen<br />

Kanals unterscheidet man vertikale und<br />

n<br />

laterale (seitliche) MOS-FET.<br />

Kanal<br />

n+<br />

Drain<br />

Aufbau eines vertikalen<br />

N-Kanal-MOS-FET<br />

Beim vertikalen FET ist der Widerstand RDS(on) klein, die Grenzfrequenz niedrig, die max. Drain-<br />

Source-Sperrspannung UDS hoch und der Drainstrom ID hoch.<br />

Beim lateralen FET ist der Widerstand RDS(on) groß, die Grenzfrequenz hoch, die max. Drain-<br />

Source-Sperrspannung UDS niedrig und der Drainstrom ID niedrig.<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 9


UGS<br />

Gate<br />

Substrat<br />

U DS<br />

n+ Kanal n+<br />

Aufbau eines lateralen<br />

N-Kanal-MOS-FET<br />

Der MOS-FET lässt sich weiterhin nach der Transfer-Kennlinie (ID = f{UGS}) in zwei Klassen<br />

einteilen.<br />

I D<br />

U GS(off)<br />

Source<br />

p<br />

p+<br />

U GS<br />

Enhancement-Typ Depletion-Typ<br />

Beim Enhancement-Typ (Anreicherungs-Typ) fließt der Drainstrom ID erst nach dem Überschreiten<br />

einer minimalen Gate-Source-Spannung UGS.<br />

Beim Depletion-Typ (Verarmungs-Typ) fließt bereits ein Drainstrom ID bei der Gate-Source-<br />

Spannung UGS = 0. Die Steuerung erfolgt hier im Allgemeinen mit einer negativen Spannung.<br />

In der Leistungselektronik werden vorwiegend N-Kanal-Enhacement-Metall-Oxid-Silizium-<br />

Feld-Effekt-Transistoren eingesetzt, die aus vielen kleinen Einzelelementen mit vertikalen<br />

Strukturen bestehen, welche intern parallelgeschaltet sind.<br />

Al Source Gate SiO2 N + Poly-Si<br />

n + p + p +<br />

n -<br />

n +<br />

L < 1 µm<br />

Drain<br />

Drain<br />

MOS-Transistoren stehen für den<br />

unteren Leistungsbereich als abschaltbare<br />

Halbleiterbauelemente mit<br />

kurzen Schaltzeiten und geringem<br />

Steuerleistungsbedarf <strong>zur</strong> Verfügung.<br />

Schaltfrequenzen bis über 100 kHz<br />

sind erreichbar.<br />

Leistungs-Feldeffekt-Transistor<br />

in SIPMOS-Struktur<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 10<br />

n<br />

U GS(off)<br />

I D<br />

U GS


Die völlig isolierte Gate-Elektrode erfordert bis auf die kapazitiven Umladeströme keinen<br />

Eingangsstrom. Die Ansteuerung zwischen Source und Gate (10 V - 20 V) erfolgt damit nahezu<br />

verlustlos.<br />

0,4<br />

UGS/V 5,0 5,5 6,0 6,5<br />

R DS(on)<br />

Ω<br />

G<br />

0,3<br />

0,2<br />

0,1<br />

0<br />

0 4 8 12 16 20<br />

ID / A<br />

24 28<br />

N- Kanal<br />

20<br />

7,0 7,5<br />

8<br />

9<br />

10<br />

Der Durchlasswiderstand RDS(on) ist grundsätzlich<br />

von der Gate-Source-Spannung UGS abhängig. Bei<br />

hohen Sperrspannungen (UDS > 600 V) wird er<br />

relativ groß, so dass eine hohe Verlustenergie<br />

auftritt.<br />

Abhängigkeit des Drain-Source-Widerstandes<br />

RDS(on) von Drainstrom ID mit der<br />

Gate-Source-Spannung UGS als Parameter<br />

N- Kanal<br />

Depletion-Typ (Verarmungs-Typ) Enhancement-Typ (Anreicherungs-Typ)<br />

Schaltzeichen des MOS-FET (IG-FET)<br />

1.4 MOS-gesteuerte Leistungsschalter<br />

MOS-gesteuerte Leistungshalbleiter sind nahezu ideale Schalter für hohe Spannungen.<br />

IGBT<br />

Im IGBT (Isolated-Gate-Bipolar-Transistor) sind Bipolar- und MOS-Technologie verbunden.<br />

Der IGBT verbindet die vorteilhaften Eigenschaften eines Bipolar-Transistors mit denen eines<br />

spannungsgesteuerten Bauelements (MOSFET).<br />

U CE<br />

D<br />

S<br />

G<br />

U GE<br />

n+ n+<br />

p+<br />

P- Kanal<br />

Emitter<br />

Gate<br />

Kollektor<br />

D<br />

S<br />

Struktur des IGBT Ersatzschaltung des IGBT<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 11<br />

G<br />

n+ n+<br />

p+<br />

n-<br />

p+<br />

D<br />

S<br />

G<br />

G<br />

P- Kanal<br />

n<br />

n<br />

E<br />

p<br />

n<br />

C<br />

p<br />

p<br />

D<br />

S


Der Herstellungsprozess des IGBT ist an die DMOS-Technik angelehnt. Auf ein P + -Substrat<br />

ist eine N – -Epitaxieschicht aufgebracht und in weiteren Arbeitsschritten wird die MOS-Struktur<br />

eindiffundiert.<br />

In normalen Betrieb liegt am Kollektor gegenüber dem Emitter positive Spannung. Beträgt<br />

die Spannung zwischen Gate und Emitter Null, befindet sich die obere Sperrschicht<br />

(P + -Wanne und N – -Epitaxieschicht) im Vorwärts-Sperrzustand und der IGBT lässt keinen<br />

Stromfluss zu. Wenn nun eine ausreichend hohe positive Spannung zwischen Gate und<br />

Emitter gelegt wird, beginnt ein MOSFET-Strom aus dem N + -Gebiet in die N –<br />

-Epitaxieschicht zu fließen, der innerhalb der Chipstruktur zum Basisstrom des PNP-<br />

Transistors wird und diesen in den Durchlasszustand schaltet. Dabei werden aus dem<br />

P + -Substrat Minoritätsladungsträger in die N – -Epitaxieschicht injiziert. Diese Eigenschaft der<br />

bipolaren Ausgangsstruktur verbessert die Durchlassspannung eines IGBT gegenüber dem<br />

MOSFET um etwa den Faktor 10.<br />

Die Anordnung dieser Schichten bedingt, dass der IGBT ein eingeschränktes Rückwärtssperrvermögen<br />

von wenigen Volt besitzt, das sich aber positiv auf die Schaltgeschwindigkeit<br />

auswirkt. Diese Eigenschaft des IGBT ist ein wesentlicher Vorteil gegenüber dem MOSFET,<br />

der in seiner Chipstruktur hier eine parasitäre gegenparallele Diode mit unbefriedigenden<br />

dynamischen Eigenschaften besitzt. Dem IGBT kann daher problemlos eine geeignete<br />

schnelle Diode gegenparallel geschaltet werden, die in den meisten Schaltungen erforderlich<br />

ist.<br />

Gate Al Emitter SiO 2 N + Poly-Si<br />

n p +<br />

+ n +<br />

n -<br />

p +<br />

Schnittbild eines IGBT<br />

Der IGBT ist prinzipiell ein N + , P + , N - , P + Kollektor Metall<br />

Thyristor in vertikaler Anordnung, der über einen<br />

MOS-Transistor eingeschaltet werden kann. Der NPN-Transistor hat eine stark reduzierte<br />

Stromverstärkung, damit der Thyristor ab einem bestimmten Strom nicht durchschaltet (latcht)<br />

und nicht mehr über den MOS-Kreis abschaltbar ist.<br />

Da ein Durchschalten beim IGBT unterbunden wird, verhält sich dieser<br />

C Leistungshalbleiter wie ein spannungsgesteuerter "niederohmiger" Schalter für<br />

hohe Spannungen. Er verhält sich wie ein MOS-gesteuerter bipolarer<br />

Transistor. Seine Anschlüsse werden darum mit Kollektor (C), Gate (G) und<br />

G<br />

Emitter (E) bezeichnet.<br />

Schaltzeichen des IGBT<br />

Grundsätzlich gibt es den non-punch-through-IGBT (NPT-IGBT) und den punch-through-IGBT<br />

(PT-IGBT). Beim PT-IGBT liegt zwischen p + -Rückseite und n-Gebiet eine hochdotierte n + -<br />

Schicht. Diese hat die Aufgabe, den Durchgriff des elektrischen Feldes bei voller Sperrspannung<br />

zum p + E<br />

-Emitter zu verhindern. Hierdurch wird die kräftige Injektionswirkung des Emitters<br />

reduziert. Beim NPT-IGBT wird die Trägerinjektion durch eine niedrigdotierte und dünne p-<br />

Emitterschicht gering gehalten.<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 12


100<br />

80<br />

iC / A<br />

60<br />

40<br />

20<br />

u GE / V 20 15 10<br />

Höchstzulässiger<br />

Kollektorstrom<br />

IC = 50 A<br />

Höchstzulässige Kollektor-<br />

Emitter-Sperrspannung<br />

UCES = 1200 V<br />

Höchstzulässige<br />

Gate-Emitter-Spannung<br />

UGE = ±20 V<br />

0<br />

0 1 2 3 4 5<br />

uCE / V<br />

Kollektorstrom iC in Abhängigkeit der Kollektor-Emitterspannung uCE mit der<br />

Gate-Emitterspannung uGE als Parameter beim IGBT mit Inversdiode (ϑj = 25°C)<br />

IGBT erreichen: Kollektor-Emitter-Sperrspannungen bis UCES = 6 kV bei einem Kollektor-<br />

Dauergleichstrom IF = 600 A,<br />

Kollektor-Dauergleichströme bis IF = 3600 A bei UCES = 1700 V.<br />

Nutzen für den Anwender:<br />

� Der IGBT ist ein robustes, kurzschlussfestes Bauelement mit hohem Wirkungsgrad,<br />

� der Betrieb ohne Schutzbeschaltung ist möglich,<br />

� der Frequenzbereich reicht bis über 20 kHz,<br />

� die Treiberspannung beträgt rd. 15 V,<br />

� die Schaltverluste sind gering,<br />

� kompakte Gehäuseaufbauten stehen <strong>zur</strong> Verfügung.<br />

MCT<br />

Für Hochleistungs- und Hochspannungsanwendungen wurden in den letzten Jahren Halbleiterschalter<br />

entwickelt, welche die Vorteile der MOS-gesteuerten Leistungsschalter ausnutzen.<br />

Der MCT (MOS-Controlled-Thyristor) kombiniert einen Thyristor mit zwei MOS-FET und<br />

bietet lastseitig eine sehr hohe Stromtragfähigkeit (100 A/cm 2 Chipfläche) bei geringer Durchlassspannung<br />

(1,4 V). MCT werden vorzugsweise als P-Kanal-Typen gebaut. Die weiteren Angaben<br />

beziehen sich auf diesen Typ.<br />

A<br />

Die Ansteuerung des isolierten Gates erfolgt in Bezug auf die<br />

Anode. Im ausgeschalteten Zustand sind beide bipolaren<br />

Transistoren gesperrt. Hierzu muss die Gatespannung einen positiven<br />

Wert UGA ≈ +15 V aufweisen. Damit ist der N-Kanal FET<br />

T1 angesteuert, er schließt die Basis T3 kurz. Der Thyristor ist<br />

G T1 T2 sicher gesperrt.<br />

T4<br />

n<br />

p<br />

T3<br />

p<br />

Wechselt die Steuerspannung auf UGA ≈ -15 V, dann wird der<br />

FET T1 gesperrt und der P-Kanal FET T2 eingeschaltet. T2<br />

überbrückt T3 und steuert T4 an. Die Rückkoppelung T3 - T4<br />

zündet den Thyristor. Nun kann der MCT den Laststrom führen.<br />

n<br />

Ersatzschaltbild des MCT<br />

K<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 13<br />

8<br />

7<br />

6


G<br />

A<br />

K<br />

Schaltzeichen des MCT<br />

Um den Thyristor wieder auszuschalten, muss die Rückkopplung<br />

unterbrochen werden. Dies geschieht durch Abschalten von FET T2<br />

und erneutes Einschalten von FET T1 mittels positiver Gatespannung<br />

UGA. Damit wird die Basis von T3 kurzgeschlossen und T3 ausgeschaltet.<br />

Der Thyristor sperrt.<br />

Aufgrund der geringen Stromverstärkung von T3 muss der FET T1<br />

Ströme schalten können, welche in der Größenordnung des<br />

Laststromes liegen. Da N-Kanal FET eine größere Stromtragfähigkeit<br />

als P-Kanal FET haben, werden vorwiegend P-Kanal MCT gebaut.<br />

GCT und IGCT<br />

Der GCT (Gate-Commutated-Thyristor) basiert auf einer GTO-Thyristorstruktur. Die in vielen<br />

Anwendungsfällen der Leistungselektronik geforderten Freilaufdioden können beim GCT, wie<br />

bei den meisten modernen Bauelementen, auf dem Chip integriert werden. Ähnlich wie beim<br />

MCT sind FET-Strukturen, die beim GCT kathodenseitig angeordnet sind, für das Ein- und<br />

Ausschalten erforderlich. Der Aufwand für die Ansteuerelektronik des GCT hat <strong>zur</strong> Entwicklung<br />

eines idealen Schalters für sehr hohe Leistungen geführt, dem IGCT.<br />

K<br />

Der IGCT (Integrated-Gate-Commutated-Thyristor) fasst das eigentliche<br />

G<br />

Leistungsschaltgerät einschließlich der Freilaufdiode und den Gate-<br />

Treiber in einem integrierten Baustein zusammen. Besonders vorteilhaft<br />

sind lichtgesteuerte IGCT bei Reihenschaltungen.<br />

Schaltzeichen des IGCT<br />

A<br />

Die Komponentenverpackung und -integration erlauben eine Optimierung in vier Bereichen:<br />

� niedrige Schalt- und Leitungsverluste im Mittelspannungsbereich,<br />

� vereinfachte Schaltung für das Schalten des Leistungshalbleiters,<br />

� niedrigere Kosten des Leistungssystems,<br />

� höhere Betriebssicherheit und Zuverlässigkeit.<br />

IGCT erreichen:<br />

Sperrspannungen URRM, UDRM ≈ 6 kV, Dauergrenzstrom ITAVM ≈ 550 A (symmetrisch),<br />

Sperrspannung UDRM ≈ 6 kV, Dauergrenzstrom ITAVM ≈ 1300 A (asymmetrisch).<br />

Smart-Power-Transistor<br />

Smart-Power-Transistoren sind im Allgemeinen intelligente Leistungs-MOS-FET, kurz SMART-<br />

FET genannt.<br />

Beim Smart-Power-Transistor sind Ansteuerschaltung und Logikfunktionen in den MOSgesteuerten<br />

Leistungsschalter integriert.<br />

Merkmale des Smart-Power-Transistors:<br />

� Hohe Zuverlässigkeit gegenüber Schaltungen mit Einzelbauelementen,<br />

� Schutzfunktionen, wie Erkennen von Über- und Unterspannung, Überstrom, Kurzschluss,<br />

Leerlauf (Zuleitung unterbrochen) und Übertemperatur des Bauelementes,<br />

� eingebaute Ladungspumpe für den Betrieb als Highside-Schalter,<br />

� ESD-Schutz an Ein- und Ausgängen,<br />

� Ein- und Ausgänge CMOS- bzw. TTL-kompatibel,<br />

� Rückmeldung von Zuständen über ein Status-Signal.<br />

Typische Smart-Power-Transistoren sind TOPFET (Temperature and Overload Protected FET)<br />

und PROFET mit vielfältigen Logikfunktionen. Smart-Power-Transistoren werden in großen<br />

Stückzahlen in der Autoelektronik eingesetzt.<br />

G. Schenke, 12.2006 Leistungselektronik <strong>FB</strong> Technik, Abt. <strong>E+I</strong> 14

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