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Dipl.-Ing. Martin Kaltenbrunner - TU Wien

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LU 345.003 Lasertechnik<br />

Strahldiagnose bei Hochleistungslasern<br />

<strong>Dipl</strong>.-<strong>Ing</strong>. <strong>Martin</strong> <strong>Kaltenbrunner</strong><br />

Die Strahldiagnose bei Hochleistungslasern erlaubt es, mit wenigen Parametern<br />

abzuschätzen, wie sich eine Laserquelle in Hinblick auf Fokusdurchmesser,<br />

Rayleighlänge (Maß für die zulässige Abweichung des Arbeitsabstandes)<br />

und Intensität im Fokus verhält.<br />

Einfache Methoden und die automatisierte Strahldiagnose mit Meßgeräten<br />

der Fa. Prometec werden vorgestellt und im Rahmen des praktischen<br />

Teils angewendet.


INHALTSVERZEICHNIS<br />

1. Grundlagen ............................... 3<br />

1.1 WozuStrahldiagnose? ...................... 3<br />

1.2 Zusammenhänge ......................... 4<br />

1.2.1 Verhältnissebeim(idealen)Gaußstrahl......... 4<br />

1.2.2 StrahlradiusinderFokusebene ............. 4<br />

1.2.3 Strahlparameterprodukt ................. 4<br />

1.2.4 Rayleighlänge....................... 5<br />

1.2.5 Realer Strahl–Strahlqualitätskennzahl K . . . . . . . . 5<br />

1.3 Meßgeräte fürdieStrahlleistung................. 6<br />

1.3.1 KalorimetrischeMessung................. 6<br />

1.3.2 Direkte thermische Messung . . . . . . . . . . . . . . . 7<br />

1.4 Meßgeräte für Strahldurchmesser und Intensitätsverteilung . . 7<br />

1.4.1 Plexiglas.......................... 7<br />

1.4.2 AndereEinbrandmaterialien............... 8<br />

1.4.3 PrometecLaserscopeUFF100 .............. 8<br />

2. Praktischer Teil der LÜ ........................ 10<br />

2.1 Sicherheit ............................. 10<br />

2.2 Aufbau der Versuchsanordnung . . . . . . . . . . . . . . . . . 10<br />

2.3 Durchführung der LÜ ....................... 11


1. GRUNDLAGEN<br />

1.1 Wozu Strahldiagnose?<br />

Bei den klassischen Anwendungen der Lasermaterialbearbeitung (Schweißen,<br />

Schneiden, Oberflächenbearbeitung) soll der Strahl einer Laserquelle über<br />

geeignete Fokussiereinrichtungen relativ zum Werkstück bewegt werden. Dabei<br />

ist eine für den Prozeß passende Intensität an der Werkstückoberfläche<br />

einzuhalten. Wichtige Parameter sind also die Leistung der Laserquelle, der<br />

Strahldurchmesser an der Werkstückoberfläche und der sich daraus ergebende<br />

Abstand zwischen Fokussiereinrichtung und Werkstückoberfläche.<br />

Um diese Daten abschätzen zu können, muß man folgende (allgemeinere)<br />

Parameter kennen oder mit Mitteln der Strahldiagnose ermitteln:<br />

• Leistung der Laserquelle<br />

• Durchmesser des unfokussierten Strahls<br />

• Strahlqualitätskennzahl der Laserquelle (Mode)<br />

• Brennweite der Fokussiereinrichtung (Spiegel, Linse)<br />

• Lage der Fokusebene<br />

Man erkennt, daß außer der (üblicherweise) bekannten Brennweite und<br />

der damit (leider) nicht exakt übereinstimmenden Lage der Fokusebene (siehe<br />

Abb. 1.1 auf S. 4) nur Parameter der Laserquelle eingehen. Leider sind diese<br />

Parameter nicht konstant, z. B. ändert sich der Mode langfristig mit der Zeit<br />

(Dejustierung des Lasers), mit der Laserleistung (Unterschiedliche thermisch<br />

bedingte Verformungen des Resonators) und mit der Betriebsdauer (kalter<br />

Laser, warmer Laser) und unterliegt Schwankungen.<br />

Die Strahldiagnose liefert also Anhaltswerte für diese Parameter bzw.<br />

kann anhand der Parameter erkannt werden, daß etwas im System nicht<br />

funktioniert.<br />

Unangenehmerweise sind einige Parameter sehr schwierig meßtechnisch<br />

zu erfassen und die physikalisch mathematischen Zusammenhänge sind zwar<br />

beim (nur theoretisch existierenden) Gaußstrahl einfach, beim realen Strahl<br />

aber sehr kompliziert.


1. Grundlagen 4<br />

1.2 Zusammenhänge<br />

1.2.1 Verhältnisse beim (idealen) Gaußstrahl<br />

Die folgende Abbildung zeigt schematisch eine Laserquelle mit Fokussiereinrichtung<br />

und die verwendeten Begriffe.<br />

Fig. 1.1: Gaußstrahl mit Fokussieroptik<br />

1.2.2 Strahlradius in der Fokusebene<br />

Der Strahldurchmesser d ist so definiert, daß innerhalb eines Querschnittes<br />

von d2 · π etwa 86% der Strahlleistung transportiert wird.<br />

4<br />

wF =<br />

2 · λ<br />

π<br />

wF<br />

Strahlradius in der Fokusebene<br />

λ Wellenlänge des Lasers<br />

f Brennweite<br />

△f Korrekturterm, da die Bildweite im Gegensatz zur<br />

geometrischen Optik auch von der Rayleighlänge abhängt.<br />

d Strahldurchmesser am Fokussierelement<br />

1.2.3 Strahlparameterprodukt<br />

Das Strahlparameterprodukt ist wohl die wichtigste Faustformel im täglichen<br />

Betrieb mit einer gegebenen Laserbearbeitungsanlage. Die Formel gilt immer<br />

für einen Strahl vor und nach einem optischen Element.<br />

· f<br />

d


1. Grundlagen 5<br />

wL<br />

θL<br />

wF<br />

θF<br />

wL · θL = wF · θF = λ<br />

π<br />

wi = di<br />

2<br />

Strahlradius vor dem optischen Element<br />

(Fernfeld)divergenz vor dem optischen Element<br />

Strahltaille nach dem optischen Element<br />

(Fernfeld)divergenz nach dem optischen Element<br />

Für kleine Divergenzwinkel kann gesagt werden, daß sich bei Verdopplung<br />

der Brennweite der Fokusdurchmesser verdoppelt und die Intensität daher<br />

auf ein Viertel zurückgeht.<br />

1.2.4 Rayleighlänge<br />

zR<br />

zR = wF<br />

Rayleighlänge<br />

θF<br />

= π · w2 F<br />

λ<br />

Die Rayleighlänge kennzeichnet jenen Abstand von der Fokusebene, in<br />

der der Strahldurchmesser auf den √ 2 fachen Wert ansteigt.<br />

Einfach gesagt kennzeichnet die Rayleighlänge jenen Bereich, in dem der<br />

Strahl gut fokussiert bleibt.<br />

1.2.5 Realer Strahl–Strahlqualitätskennzahl K<br />

Die Zusammenhänge beim realen Strahl sind wesentlich komplizierter als die<br />

einfachen Ergebnisse beim Gaußstrahl. Eine exakte mathematische Beschreibung<br />

der Strahlpropagation erfordert die Lösung der Kirchhoff–Fresnell Integrale,<br />

die erforderlichen Daten sind aber aus einer realen Laserquelle kaum<br />

zu ermitteln.<br />

Die Erfahrung zeigt folgende Ergebnisse bei einer realen Anlage:<br />

• Fokusdurchmesser df wird größer<br />

• Rayleighlänge zr wird kleiner


1. Grundlagen 6<br />

als beim Gaußstrahl.<br />

Eine einfache Abschätzung der realen Größen erlaubt das Konzept der<br />

Strahlqualitätskennzahl K. K ist der Quotient aus dem Strahlparameterprodunkt<br />

(SPP) des idealen und des realen Strahls.<br />

K = SPPideal<br />

SPPreal<br />

=<br />

λ<br />

π<br />

wL · θL<br />

= λ 2 · f<br />

·<br />

π d · wF<br />

K =0...1<br />

K ist eine Kennzahl der Laserquelle (läßt sich theoretisch aus den einzelnen<br />

Moden ableiten) und liegt zwischen 0 und 1 (Gaußstrahl). Leider besteht<br />

bei realen Lasern ein Zielkonflikt aus Laserleistung (gute Ausnutzung<br />

des Resonatorvolumens erfordert das Zulassen höherer Moden) und Strahlqulität<br />

(Verhindern dieser höheren Moden z. B. mit Blenden verringert das<br />

ausnutzbare Resonatorvolumen und damit die Leistung).<br />

Anwendungen wie Schweißen und Härten erfordern eher geringe Strahlqualität,<br />

Schneiden erfordert hohe Strahlqualität (feiner Schnitt).<br />

Für eine gleichbleibender Optik sind folgende Beziehungen gültig:<br />

Vergrößerung des Fokusdurchmessers:<br />

Abnahme der Rayleighlänge:<br />

Strahlparameterprodukt:<br />

wF,real = wF,ideal<br />

K<br />

zR,real = zR,ideal · K<br />

wL · θL = wF · θF = λ<br />

· K<br />

π<br />

1.3 Meßgeräte für die Strahlleistung<br />

1.3.1 Kalorimetrische Messung<br />

Knochen<br />

Ein einfaches Meßgerat, das für eine bestimmte Zeit in den Strahl gehalten<br />

wird (meist 10 oder 20 sec) und dann auf einer Skala die Strahlleistung angibt.<br />

Ein Hohlkörper wird erwärmt und die Druckerhöhung eines eingeschlossenen<br />

Gases wird gemessen, alternativ kann auch die Erwärmung direkt gemessen<br />

werden (elektrischer Knochen).<br />

• einfach handzuhaben<br />

• mißt nur stationäre Leistungen


1. Grundlagen 7<br />

Messung über Erwärmung von Wasser<br />

Ein Strahlvernichter wird wassergekühlt. Gemessen werden Wassertemperatur<br />

im Zulauf und Ablauf sowie der Durchfluß. Daraus kann leicht die<br />

Leistung ermittelt werden:<br />

P = cp ·△T · ˙m<br />

P Strahlleistung<br />

cp<br />

Spezifische Wärmekapazität<br />

△T Erwärmung des Kühlmediums<br />

˙m Massenstrom des Kühlmediums<br />

Das am ISLT befindliche Leistungsmessgerät Prometec Powermeter arbeitet<br />

nach diesem Prinzip, fallweise wird es auch in den (ohnedies wassergekühlen)<br />

Strahlvernichter in Laserquellen eingebaut, arbeitet dann aber nur bei geschlossenem<br />

Shutter (CX6000).<br />

• aufwendig, wenn nicht in den Laser integriert<br />

• sehr genau<br />

• reagiert eher träge auf Leistungsänderungen<br />

1.3.2 Direkte thermische Messung<br />

Ein sehr kleiner Teil der Laserstrahlung (im Promillebereich) wird ständig<br />

ausgekoppelt und trifft auf einen Thermistor (Widerstandsänderung zufolge<br />

Erwärmung). Das elektrische Signal wird auf die Gesamtleistung kalibriert.<br />

• meist am Laser vorhanden<br />

• ungenau<br />

• reagiert schnell auf Leistungsänderungen<br />

1.4 Meßgeräte für Strahldurchmesser und<br />

Intensitätsverteilung<br />

1.4.1 Plexiglas<br />

Plexiglas ist das Mittel der Wahl um CO2–Laserstrahlung sichtbar zu machen<br />

weil es die Strahlung praktisch zu 100% absorbiert und sich das Material<br />

sofort chemisch in gasförmige Bestandteile zerlegt.


1. Grundlagen 8<br />

Sogenannte Einbrände lassen eine einfache und schnelle Abschätzung des<br />

Strahldurchmessers und des Modes zu. Geeignet zur relativen Beurteilung<br />

(besser–schlechter), zum Finden der Fokusebene, Untersuchungen des Strahlenganges<br />

usw.<br />

Das Plexiglas wird in den Strahl gehalten und der Shutter kurz geöffnet.<br />

Zur Modebeurteilung dauert der Einbrand einige Sekunden, der Rauch wird<br />

mit Preßluft weggeblasen.<br />

1.4.2 Andere Einbrandmaterialien<br />

Zum Auffinden sehr schwacher Strahlen (Streustrahlung, sehr schwache Laser)<br />

eignet sich handelsübliches Faxpapier.<br />

Für Hochleistungslaser ebenfalls geeignete Einbrandmaterialien sind<br />

Holz, (weiß) beschichtete Spanplatten, Karton usw.<br />

1.4.3 Prometec Laserscope UFF100<br />

Das Prinzip des UFF100 wird in der folgenden Abbildung illustriert:<br />

Fig. 1.2: Funktionsweise UFF100<br />

Eine Hohlnadel rotiert durch den Strahl. Durch eine kleine Lochblende<br />

tritt Strahlung ein und wird über zwei spiegelnde Schrägflächen in einen<br />

auf der Achse lieenden Detektor gelenkt. Durch Verschiebung der Drehachse<br />

kann der gesamte Strahl abgetastet werden. Über einen PC werden aus der


1. Grundlagen 9<br />

Position der Blende und der gemessenen Intensität Werte I(x, y) erfaßt und<br />

können in verschiedener Form dargestellt werden.


2. PRAKTISCHER TEIL DER LÜ<br />

2.1 Sicherheit<br />

Die Übung erfolgt an einem 30W CO2 Laser (Laserklasse 4). Da an der<br />

Anlage Messungen durchgeführt werden sollen, muß auf die sonst übliche<br />

Einhausung verzichtet werden.<br />

Das Tragen von Schutzbrillen geeignet für CO2 Laserstrahlung ist daher<br />

unbedingt notwendig.<br />

Bei Arbeiten ohne das Prometec Meßgerät ist auf der Prometec–Konsole<br />

immer ein YTONG Block als Strahlfänger aufzustellen.<br />

2.2 Aufbau der Versuchsanordnung<br />

Die Veruchsanordnung besteht aus folgenden Teilen:<br />

Synrad 30W CO2 Laser: Leistungsvorgabe über Pulsweitenmodulation bei<br />

5V DC<br />

Philips Funktionsgenerator zur Ansteuerung des Lasers: Erzeugt Rechtecksignale<br />

(Repetition Time=Zeit von hi+lo, Duration=Zeit von hi).<br />

Bei Rep.=extern, Dur.=10ms, Vernierpoti von Dur.=max können Einzelimpulse<br />

von etwa 100ms Dauer mit der Taste Single Shot abgegeben<br />

werden.<br />

Bei Rep.=10ms, Dur.=1ms kann mit dem Vernierpoti von Dur. die<br />

Leistung stufenlos von 10 . . . 90% gesteuert werden.<br />

Hitachi Oszilloskop: Dient zur Visualisierung des Rechtecksignals.<br />

Prometec Meßgeräte: Powermeter, Laserscope UFF100 und ein PC dienen<br />

zur Strahldiagnose. Aus Zeitgründen werden Messungen im Fokus und<br />

Rohstrahlmessungen mit der gleichen Meßnadel durchgeführt, was das<br />

Meßergebnis verfälschen wird. Die Strahlleistung wird über ein Tischmultimeter<br />

ausgegeben (1W � 1mV ).<br />

Optische Bank und Linse unbekannter Brennweite


2. Praktischer Teil der LÜ 11<br />

2.3 Durchführung der LÜ<br />

Folgende Aufgaben sind im Rahmen der LÜ zuerfüllen, um eine positive<br />

Note zu erwirken:<br />

Einrichten des Lasers auf die Achse der optischen Bank Hilfsmittel: Lochblende,<br />

Tesastreifen<br />

Bestimmen der Linsenbrennweite Plexiglaseinbrände im Singleshotbetrieb,<br />

Ausmessen des Lochdurchmessers mit einer Meßlupe, kleinstes Loch<br />

⇒ Fokus.<br />

Bestimmung des Rohstrahldurchmessers mit Plexiglas<br />

Bestimmung der K–Zahl: aus Fokusdurchmesser und Rohstrahldurchmesser<br />

Bestimmung der Laserleistung mit dem Knochen<br />

Prometecmessung: Rohstrahlvermessung, Fokusmessung, Ermitteln der<br />

Strahlkaustik, Ermitteln der K–Zahl.<br />

Protokoll: ein Protokoll pro Gruppe, soll die gemessenen Daten enthalten<br />

und auf Millimeterpapier (oder Excel,...) die Strahlkaustik.<br />

Übungstest: zu Beginn der Übung, Dauer etwa 15min.

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