Dipl.-Ing. Martin Kaltenbrunner - TU Wien
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LU 345.003 Lasertechnik<br />
Strahldiagnose bei Hochleistungslasern<br />
<strong>Dipl</strong>.-<strong>Ing</strong>. <strong>Martin</strong> <strong>Kaltenbrunner</strong><br />
Die Strahldiagnose bei Hochleistungslasern erlaubt es, mit wenigen Parametern<br />
abzuschätzen, wie sich eine Laserquelle in Hinblick auf Fokusdurchmesser,<br />
Rayleighlänge (Maß für die zulässige Abweichung des Arbeitsabstandes)<br />
und Intensität im Fokus verhält.<br />
Einfache Methoden und die automatisierte Strahldiagnose mit Meßgeräten<br />
der Fa. Prometec werden vorgestellt und im Rahmen des praktischen<br />
Teils angewendet.
INHALTSVERZEICHNIS<br />
1. Grundlagen ............................... 3<br />
1.1 WozuStrahldiagnose? ...................... 3<br />
1.2 Zusammenhänge ......................... 4<br />
1.2.1 Verhältnissebeim(idealen)Gaußstrahl......... 4<br />
1.2.2 StrahlradiusinderFokusebene ............. 4<br />
1.2.3 Strahlparameterprodukt ................. 4<br />
1.2.4 Rayleighlänge....................... 5<br />
1.2.5 Realer Strahl–Strahlqualitätskennzahl K . . . . . . . . 5<br />
1.3 Meßgeräte fürdieStrahlleistung................. 6<br />
1.3.1 KalorimetrischeMessung................. 6<br />
1.3.2 Direkte thermische Messung . . . . . . . . . . . . . . . 7<br />
1.4 Meßgeräte für Strahldurchmesser und Intensitätsverteilung . . 7<br />
1.4.1 Plexiglas.......................... 7<br />
1.4.2 AndereEinbrandmaterialien............... 8<br />
1.4.3 PrometecLaserscopeUFF100 .............. 8<br />
2. Praktischer Teil der LÜ ........................ 10<br />
2.1 Sicherheit ............................. 10<br />
2.2 Aufbau der Versuchsanordnung . . . . . . . . . . . . . . . . . 10<br />
2.3 Durchführung der LÜ ....................... 11
1. GRUNDLAGEN<br />
1.1 Wozu Strahldiagnose?<br />
Bei den klassischen Anwendungen der Lasermaterialbearbeitung (Schweißen,<br />
Schneiden, Oberflächenbearbeitung) soll der Strahl einer Laserquelle über<br />
geeignete Fokussiereinrichtungen relativ zum Werkstück bewegt werden. Dabei<br />
ist eine für den Prozeß passende Intensität an der Werkstückoberfläche<br />
einzuhalten. Wichtige Parameter sind also die Leistung der Laserquelle, der<br />
Strahldurchmesser an der Werkstückoberfläche und der sich daraus ergebende<br />
Abstand zwischen Fokussiereinrichtung und Werkstückoberfläche.<br />
Um diese Daten abschätzen zu können, muß man folgende (allgemeinere)<br />
Parameter kennen oder mit Mitteln der Strahldiagnose ermitteln:<br />
• Leistung der Laserquelle<br />
• Durchmesser des unfokussierten Strahls<br />
• Strahlqualitätskennzahl der Laserquelle (Mode)<br />
• Brennweite der Fokussiereinrichtung (Spiegel, Linse)<br />
• Lage der Fokusebene<br />
Man erkennt, daß außer der (üblicherweise) bekannten Brennweite und<br />
der damit (leider) nicht exakt übereinstimmenden Lage der Fokusebene (siehe<br />
Abb. 1.1 auf S. 4) nur Parameter der Laserquelle eingehen. Leider sind diese<br />
Parameter nicht konstant, z. B. ändert sich der Mode langfristig mit der Zeit<br />
(Dejustierung des Lasers), mit der Laserleistung (Unterschiedliche thermisch<br />
bedingte Verformungen des Resonators) und mit der Betriebsdauer (kalter<br />
Laser, warmer Laser) und unterliegt Schwankungen.<br />
Die Strahldiagnose liefert also Anhaltswerte für diese Parameter bzw.<br />
kann anhand der Parameter erkannt werden, daß etwas im System nicht<br />
funktioniert.<br />
Unangenehmerweise sind einige Parameter sehr schwierig meßtechnisch<br />
zu erfassen und die physikalisch mathematischen Zusammenhänge sind zwar<br />
beim (nur theoretisch existierenden) Gaußstrahl einfach, beim realen Strahl<br />
aber sehr kompliziert.
1. Grundlagen 4<br />
1.2 Zusammenhänge<br />
1.2.1 Verhältnisse beim (idealen) Gaußstrahl<br />
Die folgende Abbildung zeigt schematisch eine Laserquelle mit Fokussiereinrichtung<br />
und die verwendeten Begriffe.<br />
Fig. 1.1: Gaußstrahl mit Fokussieroptik<br />
1.2.2 Strahlradius in der Fokusebene<br />
Der Strahldurchmesser d ist so definiert, daß innerhalb eines Querschnittes<br />
von d2 · π etwa 86% der Strahlleistung transportiert wird.<br />
4<br />
wF =<br />
2 · λ<br />
π<br />
wF<br />
Strahlradius in der Fokusebene<br />
λ Wellenlänge des Lasers<br />
f Brennweite<br />
△f Korrekturterm, da die Bildweite im Gegensatz zur<br />
geometrischen Optik auch von der Rayleighlänge abhängt.<br />
d Strahldurchmesser am Fokussierelement<br />
1.2.3 Strahlparameterprodukt<br />
Das Strahlparameterprodukt ist wohl die wichtigste Faustformel im täglichen<br />
Betrieb mit einer gegebenen Laserbearbeitungsanlage. Die Formel gilt immer<br />
für einen Strahl vor und nach einem optischen Element.<br />
· f<br />
d
1. Grundlagen 5<br />
wL<br />
θL<br />
wF<br />
θF<br />
wL · θL = wF · θF = λ<br />
π<br />
wi = di<br />
2<br />
Strahlradius vor dem optischen Element<br />
(Fernfeld)divergenz vor dem optischen Element<br />
Strahltaille nach dem optischen Element<br />
(Fernfeld)divergenz nach dem optischen Element<br />
Für kleine Divergenzwinkel kann gesagt werden, daß sich bei Verdopplung<br />
der Brennweite der Fokusdurchmesser verdoppelt und die Intensität daher<br />
auf ein Viertel zurückgeht.<br />
1.2.4 Rayleighlänge<br />
zR<br />
zR = wF<br />
Rayleighlänge<br />
θF<br />
= π · w2 F<br />
λ<br />
Die Rayleighlänge kennzeichnet jenen Abstand von der Fokusebene, in<br />
der der Strahldurchmesser auf den √ 2 fachen Wert ansteigt.<br />
Einfach gesagt kennzeichnet die Rayleighlänge jenen Bereich, in dem der<br />
Strahl gut fokussiert bleibt.<br />
1.2.5 Realer Strahl–Strahlqualitätskennzahl K<br />
Die Zusammenhänge beim realen Strahl sind wesentlich komplizierter als die<br />
einfachen Ergebnisse beim Gaußstrahl. Eine exakte mathematische Beschreibung<br />
der Strahlpropagation erfordert die Lösung der Kirchhoff–Fresnell Integrale,<br />
die erforderlichen Daten sind aber aus einer realen Laserquelle kaum<br />
zu ermitteln.<br />
Die Erfahrung zeigt folgende Ergebnisse bei einer realen Anlage:<br />
• Fokusdurchmesser df wird größer<br />
• Rayleighlänge zr wird kleiner
1. Grundlagen 6<br />
als beim Gaußstrahl.<br />
Eine einfache Abschätzung der realen Größen erlaubt das Konzept der<br />
Strahlqualitätskennzahl K. K ist der Quotient aus dem Strahlparameterprodunkt<br />
(SPP) des idealen und des realen Strahls.<br />
K = SPPideal<br />
SPPreal<br />
=<br />
λ<br />
π<br />
wL · θL<br />
= λ 2 · f<br />
·<br />
π d · wF<br />
K =0...1<br />
K ist eine Kennzahl der Laserquelle (läßt sich theoretisch aus den einzelnen<br />
Moden ableiten) und liegt zwischen 0 und 1 (Gaußstrahl). Leider besteht<br />
bei realen Lasern ein Zielkonflikt aus Laserleistung (gute Ausnutzung<br />
des Resonatorvolumens erfordert das Zulassen höherer Moden) und Strahlqulität<br />
(Verhindern dieser höheren Moden z. B. mit Blenden verringert das<br />
ausnutzbare Resonatorvolumen und damit die Leistung).<br />
Anwendungen wie Schweißen und Härten erfordern eher geringe Strahlqualität,<br />
Schneiden erfordert hohe Strahlqualität (feiner Schnitt).<br />
Für eine gleichbleibender Optik sind folgende Beziehungen gültig:<br />
Vergrößerung des Fokusdurchmessers:<br />
Abnahme der Rayleighlänge:<br />
Strahlparameterprodukt:<br />
wF,real = wF,ideal<br />
K<br />
zR,real = zR,ideal · K<br />
wL · θL = wF · θF = λ<br />
· K<br />
π<br />
1.3 Meßgeräte für die Strahlleistung<br />
1.3.1 Kalorimetrische Messung<br />
Knochen<br />
Ein einfaches Meßgerat, das für eine bestimmte Zeit in den Strahl gehalten<br />
wird (meist 10 oder 20 sec) und dann auf einer Skala die Strahlleistung angibt.<br />
Ein Hohlkörper wird erwärmt und die Druckerhöhung eines eingeschlossenen<br />
Gases wird gemessen, alternativ kann auch die Erwärmung direkt gemessen<br />
werden (elektrischer Knochen).<br />
• einfach handzuhaben<br />
• mißt nur stationäre Leistungen
1. Grundlagen 7<br />
Messung über Erwärmung von Wasser<br />
Ein Strahlvernichter wird wassergekühlt. Gemessen werden Wassertemperatur<br />
im Zulauf und Ablauf sowie der Durchfluß. Daraus kann leicht die<br />
Leistung ermittelt werden:<br />
P = cp ·△T · ˙m<br />
P Strahlleistung<br />
cp<br />
Spezifische Wärmekapazität<br />
△T Erwärmung des Kühlmediums<br />
˙m Massenstrom des Kühlmediums<br />
Das am ISLT befindliche Leistungsmessgerät Prometec Powermeter arbeitet<br />
nach diesem Prinzip, fallweise wird es auch in den (ohnedies wassergekühlen)<br />
Strahlvernichter in Laserquellen eingebaut, arbeitet dann aber nur bei geschlossenem<br />
Shutter (CX6000).<br />
• aufwendig, wenn nicht in den Laser integriert<br />
• sehr genau<br />
• reagiert eher träge auf Leistungsänderungen<br />
1.3.2 Direkte thermische Messung<br />
Ein sehr kleiner Teil der Laserstrahlung (im Promillebereich) wird ständig<br />
ausgekoppelt und trifft auf einen Thermistor (Widerstandsänderung zufolge<br />
Erwärmung). Das elektrische Signal wird auf die Gesamtleistung kalibriert.<br />
• meist am Laser vorhanden<br />
• ungenau<br />
• reagiert schnell auf Leistungsänderungen<br />
1.4 Meßgeräte für Strahldurchmesser und<br />
Intensitätsverteilung<br />
1.4.1 Plexiglas<br />
Plexiglas ist das Mittel der Wahl um CO2–Laserstrahlung sichtbar zu machen<br />
weil es die Strahlung praktisch zu 100% absorbiert und sich das Material<br />
sofort chemisch in gasförmige Bestandteile zerlegt.
1. Grundlagen 8<br />
Sogenannte Einbrände lassen eine einfache und schnelle Abschätzung des<br />
Strahldurchmessers und des Modes zu. Geeignet zur relativen Beurteilung<br />
(besser–schlechter), zum Finden der Fokusebene, Untersuchungen des Strahlenganges<br />
usw.<br />
Das Plexiglas wird in den Strahl gehalten und der Shutter kurz geöffnet.<br />
Zur Modebeurteilung dauert der Einbrand einige Sekunden, der Rauch wird<br />
mit Preßluft weggeblasen.<br />
1.4.2 Andere Einbrandmaterialien<br />
Zum Auffinden sehr schwacher Strahlen (Streustrahlung, sehr schwache Laser)<br />
eignet sich handelsübliches Faxpapier.<br />
Für Hochleistungslaser ebenfalls geeignete Einbrandmaterialien sind<br />
Holz, (weiß) beschichtete Spanplatten, Karton usw.<br />
1.4.3 Prometec Laserscope UFF100<br />
Das Prinzip des UFF100 wird in der folgenden Abbildung illustriert:<br />
Fig. 1.2: Funktionsweise UFF100<br />
Eine Hohlnadel rotiert durch den Strahl. Durch eine kleine Lochblende<br />
tritt Strahlung ein und wird über zwei spiegelnde Schrägflächen in einen<br />
auf der Achse lieenden Detektor gelenkt. Durch Verschiebung der Drehachse<br />
kann der gesamte Strahl abgetastet werden. Über einen PC werden aus der
1. Grundlagen 9<br />
Position der Blende und der gemessenen Intensität Werte I(x, y) erfaßt und<br />
können in verschiedener Form dargestellt werden.
2. PRAKTISCHER TEIL DER LÜ<br />
2.1 Sicherheit<br />
Die Übung erfolgt an einem 30W CO2 Laser (Laserklasse 4). Da an der<br />
Anlage Messungen durchgeführt werden sollen, muß auf die sonst übliche<br />
Einhausung verzichtet werden.<br />
Das Tragen von Schutzbrillen geeignet für CO2 Laserstrahlung ist daher<br />
unbedingt notwendig.<br />
Bei Arbeiten ohne das Prometec Meßgerät ist auf der Prometec–Konsole<br />
immer ein YTONG Block als Strahlfänger aufzustellen.<br />
2.2 Aufbau der Versuchsanordnung<br />
Die Veruchsanordnung besteht aus folgenden Teilen:<br />
Synrad 30W CO2 Laser: Leistungsvorgabe über Pulsweitenmodulation bei<br />
5V DC<br />
Philips Funktionsgenerator zur Ansteuerung des Lasers: Erzeugt Rechtecksignale<br />
(Repetition Time=Zeit von hi+lo, Duration=Zeit von hi).<br />
Bei Rep.=extern, Dur.=10ms, Vernierpoti von Dur.=max können Einzelimpulse<br />
von etwa 100ms Dauer mit der Taste Single Shot abgegeben<br />
werden.<br />
Bei Rep.=10ms, Dur.=1ms kann mit dem Vernierpoti von Dur. die<br />
Leistung stufenlos von 10 . . . 90% gesteuert werden.<br />
Hitachi Oszilloskop: Dient zur Visualisierung des Rechtecksignals.<br />
Prometec Meßgeräte: Powermeter, Laserscope UFF100 und ein PC dienen<br />
zur Strahldiagnose. Aus Zeitgründen werden Messungen im Fokus und<br />
Rohstrahlmessungen mit der gleichen Meßnadel durchgeführt, was das<br />
Meßergebnis verfälschen wird. Die Strahlleistung wird über ein Tischmultimeter<br />
ausgegeben (1W � 1mV ).<br />
Optische Bank und Linse unbekannter Brennweite
2. Praktischer Teil der LÜ 11<br />
2.3 Durchführung der LÜ<br />
Folgende Aufgaben sind im Rahmen der LÜ zuerfüllen, um eine positive<br />
Note zu erwirken:<br />
Einrichten des Lasers auf die Achse der optischen Bank Hilfsmittel: Lochblende,<br />
Tesastreifen<br />
Bestimmen der Linsenbrennweite Plexiglaseinbrände im Singleshotbetrieb,<br />
Ausmessen des Lochdurchmessers mit einer Meßlupe, kleinstes Loch<br />
⇒ Fokus.<br />
Bestimmung des Rohstrahldurchmessers mit Plexiglas<br />
Bestimmung der K–Zahl: aus Fokusdurchmesser und Rohstrahldurchmesser<br />
Bestimmung der Laserleistung mit dem Knochen<br />
Prometecmessung: Rohstrahlvermessung, Fokusmessung, Ermitteln der<br />
Strahlkaustik, Ermitteln der K–Zahl.<br />
Protokoll: ein Protokoll pro Gruppe, soll die gemessenen Daten enthalten<br />
und auf Millimeterpapier (oder Excel,...) die Strahlkaustik.<br />
Übungstest: zu Beginn der Übung, Dauer etwa 15min.