Reinraum-Konzeption in dezentraler ... - TLT Turbo GmbH

Reinraum-Konzeption in dezentraler Modulbauweise
Euro/m 2 Grundfläche
schwindigkeiten. Häufig können mit
Zuluftgeschwindigkeiten von 0,3 m/s
die gleichen Ergebnisse erzielt werden
wie mit solchen von 0,45 m/s. Bei
vielen Anwendungsfällen wird heutzutage
mit laminarer Mischluftströmung
gearbeitet, insbesondere bei
durchschnittlichen internen Wärmelasten.
Drallauslässe mit hohen Induktionsweiten
und hohen Temperaturdifferenzen
zwischen Zuluft und Raumluft
sind nur zum Abführen größerer
Wärmelasten erforderlich.
Selbst die bestmögliche reinraumtechnische
Planung kann nicht die erforderliche
Wirkung erzielen, wenn
große Verschmutzungsfaktoren nicht
unter Kontrolle gebracht werden. Eine
große Kontaminationsquelle stellt
das Bedienungspersonal dar. Geeignete
Schutzkleidung und ein reinraumgerechtes
Verhalten sind deshalb
unerläßlich. Diesem Sachverhalt
4
3500
3000
2500
2000
1500
1000
500
0
Herkömmliche
Reine Arbeitszonen
Reinraum-Anlagen
mit niederen
und mittleren
Reinheitsklassen
Standard-
Ausführungen Flexi-Reinraum
Gebäudeintegrierte
Reinraum-Anlagen
Decken-Modul-
Reinraum
Gebäudeunabhängige
Raum-im-Raum-
Lösungen
Tunnel-Modul-
Reinraum
Bild 2: Kosten von Reinraum-Modul-Komponenten
(Richtpreise, nur bezogen auf Zuführung der Reinluft, ohne Klimaanlagen, Wände, Fußböden etc.)
Zuluftgeschwindigkeit (m/s)
Zuluftmenge (m 3/h)
Umluftmenge (m 3/h)
Klimaluftmenge (m 3/h)
Wirkungsgrad Klimagerät (�)
Totaldruckerhöhung Klimagerät (Pa)
Wirkungsgrad Umluftventilator (�)
Totaldruckerhöhung Umluftventilator (Pa)
Leistungsbedarf (W)
Ersparnis (W)
Zentral Dezentral
0,45
1620
1460
160
0,8
1250
0,8
800
475
–
0,45
1620
1460
160
0,8
1250
0,65
350
288
187
Einsparung Antriebs-Energie Ventilatoren: 0,187 · 8760 · 0,092 = ca. 150,– 2/a
Einsparung Elektro-Energie für Kühlung: 0,187 · 0,33 · 8760 · 0,092 = ca. 50,– 2/a
Gesamt-Einsparung pro m 2 LF-Fläche: ca. 200,– 2/a
Tabelle 1: Vergleich Zentral- und Dezentral-Anlage (Bezogen auf 1m 2 LF-Grundfläche)
muß deshalb relativ früh Rechnung
getragen werden. Regelmäßige Wartungen
und Überprüfungen dürfen an
dieser Stelle nicht vergessen werden.
Angemessene Klimaanlagen
Wichtig ist die genaue Ermittlung der
technischen Fortluft und der vorhandenen
internen Wärmelasten. Die
notwendige klimatechnische Anlage
soll natürlich so klein wie möglich dimensioniert
werden.
Soweit wie möglich sollte Umluftbetrieb
vorgesehen werden. Umluftbetrieb
ist die beste Energieeinsparung
und bedeutet in der Regel zusätzlich
günstige Voraussetzungen für die
sich einstellende Reinheit. Kurze Umluftwege
bedeuten niedrige Druckverluste
und somit niedrige Antriebsleistungen
sowie geringen Platzbedarf
für lüftungstechnische Anlagenteile.
Die notwendige Außenluftmenge
muß auf ein erforderliches Minimum
begrenzt werden. Sie kann allerdings
nie kleiner sein als Fortluft- plus Überdruckluftmenge.
Die notwendige
Überdruckmenge kann durch dichte
Raum- und Gebäudekonstruktionen
gering gehalten werden. Die durch
den Fertigungsprozeß bedingte technische
Fortluft wird häufig viel zu
großzügig angesetzt. Bei neueren
Projekten geht die Tendenz aber eindeutig
hin zu geringeren Abluftmengen.
Dies ist eine richtige und zu begrüßende
Tendenz.
Eine gute Vorfiltrierung der Außenluft,
auch für neue Abscheidemechanismen
in der Elektronik, ist unerläßlich
bezüglich angestrebter Reinheit
und Freiheit von unerwünschten Bestandteilen.
Die Temperaturspreizung zwischen
Klima- und Umluft soll so groß wie
möglich sein, z. B. 11 bis 12 °C. Eine
niedrige Klimaluftmenge bedeutet geringere
Anschaffungskosten, kleineren
Platzbedarf für klimatechnische
Anlagen und somit auch niedrige Unterhaltungskosten.
Günstige Raumzustände, d. h. keine
Maximalanforderungen für Temperatur
und Feuchte, ermöglichen günstige
Betriebsbedingungen. Überzogenes
Komfortklima muß meistens teuer
bezahlt werden.
Häufig ist auch ein Einbau von Wärmerückgewinnungs-Systemenmöglich.
Diesem Sachverhalt wird oft zu
wenig Rechnung getragen.
VF 1.0 D