Modulhandbuch Masterstudiengang Maschinenbau (M.Sc.)

6 LEHRVERANSTALTUNGEN DER SCHWERPUNKTE 6.1 Alle Lehrveranstaltungen
Lehrveranstaltung: Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik [2143882]
Koordinatoren: K. Bade
Teil folgender Module: SP 33: Mikrosystemtechnik (S. 152)[SP_33_mach]
Erfolgskontrolle
Mündliche Prüfung
Bedingungen
Bachelor mach., wing.
ECTS-Punkte SWS Semester Sprache
4 2 Winter-/Sommersemester de
Lernziele
Die Vorlesung bietet eine Vertiefung in die Fertigungstechnik zur Strukturerzeugung in der Mikrotechnik an. Grundlegende
Aspekte mikrotechnischer Fertigung werden eingeführt. Anhand von Beispielen aus Chiptechnologie und
Mikrosystemtechnik werden die Basistechniken der Vor- und Nachbehandlung, Strukturaufbau, Entschichtung zur
Erzeugung von Halbzeugen, Werkzeugen und Mikrobauteilen vermittelt. Dabei wird auch auf Verfahren zur Erzeugung
von Nano-Strukturen und auf die Schnittstelle Nano/Mikro eingegangen. In typischen Beispielen werden
nach Vorstellung des Fertigungsablaufs elementare Mechanismen, Prozessführung und die Anlagentechnik vorgestellt.
Ergänzend werden Aspekte der Fertigungsmesstechnik, Prozessregelung und Umwelt insbesondere bei
Nassprozessen mit eingebracht.
Inhalt
1. Grundlagen der mikrotechnischen Fertigung
2. Allgemeine Fertigungsschritte
2.1 Vorbehandlung / Reinigung / Spülen
2.2 Beschichtungsverfahren (vom Spincoaten bis zur Selbstorganisation)
2.3 Mikrostrukturierung: additiv und subtraktiv
2.4 Entschichtung
3. Mikrotechnische Werkzeugherstellung: Masken und Formwerkzeuge
4. Interconnects (Damascene-Prozess), moderner Leiterbahnaufbau
5. Nassprozesse im LIGA-Verfahren
6. Gestaltung von Prozessabläufen
Literatur
Mikrosystemtechnik für Ingenieure, W. Menz und J. Mohr, VCH Verlagsgesellschaft, Weinheim 1997.
Masterstudiengang Maschinenbau (M.Sc.)
Modulhandbuch mit Stand 24.10.2012 291