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Automatisierung 2010/11 - ISEL Germany AG

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Wafer Handling Roboter IWH F-2<br />

mit 3-Link Arm und Gehäuse in Heavy Duty-Ausführung<br />

Technische Daten<br />

Bezeichnung IWH F-2<br />

T ±0.02°<br />

Wiederholgenauigkeit<br />

R ±0.03 mm<br />

Z ±0.03 mm<br />

Z 13”, 17”, 21”<br />

Arbeitsbereich<br />

radial 16", 21", 24"<br />

theta 450°<br />

Nutzlast Gelenk 2.75 kg<br />

T 360°/s<br />

Max. Geschwindigkeit<br />

R 1.000 mm/s<br />

Z 450 mm/s<br />

Netzanschluss <strong>11</strong>0 / 230 V AC<br />

Leit-Schnittstelle RS-232 [DB9], Option: Ethernet [RJ-45]<br />

Schnittstelle für Peripherien RS-485 [RJ-45], RJ-<strong>11</strong><br />

Maßzeichnungen<br />

IWH TA__S__ F-2<br />

IWH TA13S16 F-2<br />

IWH TA13S21 F-2<br />

IWH TA13S24 F-2<br />

IWH TA17S16 F-2<br />

IWH TA17S21 F-2<br />

Mögliche Konfigurationen<br />

IWH TA17S24 F-2<br />

IWH TA21S16 F-2<br />

IWH TA21S21 F-2<br />

IWH TA21S24 F-2<br />

609.6 (S 24)<br />

533.4 (S 21)<br />

406.4 (S 16)<br />

made by isel ®<br />

75<br />

137 533,4 (TA 21)<br />

760 (TA 21)<br />

431,5 (TA 17)<br />

330,2 (TA 13)<br />

659 (TA 17)<br />

557 (TA 13)<br />

Abbildung:<br />

IWH TA13S16 F-2<br />

Ø 330.2<br />

265<br />

225<br />

IWH BA__S__ F-2<br />

IWH BA13S16 F-2<br />

IWH BA13S21 F-2<br />

IWH BA13S24 F-2<br />

IWH BA17S16 F-2<br />

IWH BA17S21 F-2<br />

215<br />

235<br />

Mögliche Konfigurationen<br />

Robotik<br />

IWH BA17S24 F-2<br />

IWH BA21S16 F-2<br />

IWH BA21S21 F-2<br />

IWH BA21S24 F-2<br />

609.6 (S 24)<br />

533.4 (S 21)<br />

406.4 (S 16)<br />

Merkmale<br />

SYSTEME<br />

Robotik<br />

• ausgezeichnete bauliche Steifigkeit<br />

• höchste Ausfallsicherheit und<br />

Präzision<br />

• optional oben montiert (TA) oder<br />

unten montiert (BA)<br />

• kundenspezifische Anpassungen<br />

möglich<br />

• absolut (digital) oder inkrementaler<br />

Encoder<br />

• einfache Anbindung von Prealigner,<br />

Linear Track und anderen<br />

Peripherien an die Robotersteuerung<br />

• optional High-End Controller zum<br />

kontrollieren von komplexen<br />

Systemen<br />

• inklusive Robot Control Center (RCC)<br />

• Klasse 1-reinraumkompatibel<br />

• made in <strong>Germany</strong><br />

75<br />

273<br />

255<br />

E39<br />

330,2 (BA 13)<br />

122<br />

709 (BA 13)<br />

431,8 (BA 17)<br />

8<strong>11</strong> (BA 17)<br />

533,4 (BA 21)<br />

912 (BA 21)<br />

systeme

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