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7. Elektronenmikroskopische Abbildung

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hsl 2009 – <strong>Elektronenmikroskopische</strong> <strong>Abbildung</strong><br />

2. Rasterelektronenmikroskopie<br />

Katodolumineszenz<br />

Röntgenstrahlen<br />

Primärstrahl<br />

Probe<br />

Rückstreuelektronen<br />

Sekundärelektronen<br />

Augerelektronen<br />

Barrierenstrom,<br />

Probenstrom<br />

Schema der Wechselwirkungsprozesse bzw. verfügbaren Signaltypen<br />

im Rasterelektronenmikroskop<br />

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