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7. Elektronenmikroskopische Abbildung

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hsl 2009 – <strong>Elektronenmikroskopische</strong> <strong>Abbildung</strong><br />

Everhart–Thornley-Detektor<br />

Photovervielfacher<br />

Lichtleiter<br />

Szintillator<br />

(auf 10 kV)<br />

SE<br />

SE<br />

Gitter<br />

(0 – 200 V)<br />

BSE<br />

Schema eines SE-Detektors<br />

BSE<br />

Primärstrahl<br />

Probe<br />

BSE<br />

[Goodhew:01]<br />

17

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