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5. OptionsWafer skew Skip one shelfdetection ( See Fig. 1 )Skip two shelves( See Fig. 2 )Start loadingAllowedNotAllowedMapping unitFig. 1 Fig. 2ドア 正 面 よりFront view(door)〇 <strong>FOUP</strong> 載 置Place the <strong>FOUP</strong>〇 <strong>FOUP</strong> クランプ<strong>FOUP</strong> clamp〇 <strong>FOUP</strong> ドッキングDock the <strong>FOUP</strong>〇 <strong>FOUP</strong> ドア 吸 着<strong>FOUP</strong> door suction〇 <strong>FOUP</strong> ドアアンラッチUnlatch the door〇 マッピングアーム 前 進 〇 マッピング 開 始 位 置 へ 下 降 〇 ドアオープンMapping arm: Forward Descends to the mapping starting position Open the door〇 ウエハマッピング 〇 マッピングアーム 後 退 〇 ドア・マッピングアーム 下 降Wafer mapping Mapping arm: Retract Door & mapping arm descendsEnd of loading11E190E120
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