FOUP Load Port

3-8 External ViewドッキングテーブルDocking tableCID リーダー/ライター *オプションCID reader/writer *OptionalマニュアルスイッチManual switch正 常 載 置 センサCollect load sensorキネマッティックピンKinematic pin上 カバーTop coverインジケータIndicatorFOUP クランプFOUP clampカムロックCam lockテーブルベースTable baseBOLTS 面 シール*オプションBOLTS surface seal *OptionalBOLTS 面 ( 取 付 面 )BOLTS surface (Installation surface)ラッチキーLatch key吸 着 パッドSuction padFIMS ドアFIMS doorサイドベースSide baseマッピングアーム *オプションMapping arm *Optional下 カバーLower cover電 源 コネクタ(カバー 内 )Power connector(Inside the cover)カムロックCam lock光 I/O*オプションOptical I/O*OptionalF l o o r チューブコネクタ(CDA、 真 空 、 排 気 :カバー 内 )Tube connectors(CDA、Vacuum、Exhaust:Inside the cover)通 信 コネクタ(カバー 内 )Communication connectors(Inside the cover)7E190E120