FOUP Load Port
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3-6 Detection Function<strong>FOUP</strong> presence detection<strong>FOUP</strong> placement check透 過 式 センサ 光 軸Transmission sensor optical axisセンサピン/フォトマイクロセンサSensor pin/Photo microsensor<strong>FOUP</strong> docked: Obstacle detectionWafer protrusion in <strong>FOUP</strong>透 過 式 センサ 光 軸Transmission sensor optical axisウエハwafer透 過 式 センサ 光 軸Transmision sensor optical axis<strong>FOUP</strong> door detection*※<strong>FOUP</strong> Wafer protrusion シェルシール (3mm) is 面 detected よりfrom 3 mm 飛 the 出 <strong>FOUP</strong> 状 態 shell を 検 seal 出 surface.*※ガラスウエハ Glass wafer function: 対 応 Optional はオプション 仕 様センサピン/フォトマイクロセンサSensor pin/Photo microsensor5E190E120
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