予稿集 - 応用物理学会

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第 1 回集積化 MEMS 技術研究ワークショップ講演予稿集 Qucs MEMS Mixed-Signal Analysis of MEMS Actuators based on Electrical circuit Simulator Qucs The University of Tokyo ISAS/JAXA Institute of Industrial Science,The University of Tokyo Satoshi Maruyama 1 , Makoto Mita 2 , Hiroyuki Fujita 3 , and Hiroshi Toshiyoshi 3 satomaru@iis.u-tokyo.ac.jp MEMS , , . MEMS CMOS-MEMS , (mixed-signal analysis). , -, SPICE . , , . , , PC Qucs . , 2 ,Matlab/simulink 1/s . 1/s C , . , Qucs (EDD: EquationDefined Device), . , . , , 2 . , MEMS . , , , (), MEMS . Ti/Ni/Au Au μ 6 2009.7.14 東京工業大学すずかけホール
第 1 回集積化 MEMS 技術研究ワークショップ講演予稿集 -Al 2 O 3 /Si Si Integration of Si and Ferroelectric Thin Film Devices on Epitaxial -Al 2 O 3 /Si Substrates VBL 1 2 JST-CREST 3 1 1-3 2,3VBL 1 , Dept. EEE, Toyohashi Univ. Tech. 2 , JST-CREST 3 Daisuke Akai 1 , Kazuaki Sawada 1-3 , Makoto Ishida 2,3akai@vbl.tut.ac.jp MEMSpice MEMSCoupled Analysis of MEMS and control circuits using MEMSpice Mathematical Systems Inc. 1 , Shunsuke Mochizuki 1 , Chieki Mizuta 1email: motiduki@msi.co.jp, HP: http://www.msi.co.jp/eda/memsone/MEMS [1,2]20 SPICE3 MEMS-MEMSpice[3]MEMSpice MEMS GUI MEMSMEMSpice FEM ( 1) MEMS MEMS MEMSpice MEMSpice 1. [1] MEMS http://memspedia.mmc.or.jp/WebLibrarySystem/[2] M. Mita and H. Toshiyoshi, “An Equivalent-circuit model for MEMS electrostatic actuator using open-source software Qucs,” IEICE Electronics Express, vol.6 pp.256-263 (2009).[3] MEMSpice (MEMS MemsONE 1 )http://www.msi.co.jp/eda/mems_circuit/7 2009.7.14 東京工業大学すずかけホール
Page 1: 第 57 回東京工業大学
Page 4 and 5: 【ポスターセッションプ
Page 6 and 7: P13超臨界 CO2 を用いた
Page 9 and 10: 第 1 回集積化 MEMS 技術
Page 13: 第 1 回集積化 MEMS 技術

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