予稿集 - 応用物理学会

スケジュール時 間 すずかけホール 多 目 的 ホール ラウンジ 見 学10:00~10:05 開 会 の 辞 ( 豊 橋 技 術 科 学 大 学 石 田 誠 )10:05~10:25 一 般 講 演「MEMS 技 術 とコンビナトリアル 技 術 の 融合 」( 東 京 工 業 大 学 秦 誠 一 )10:25~10:45 一 般 講 演「MEMSpice による MEMS- 制 御 電 子 回 路の 連 成 解 析 」( 数 理 システム 望 月 俊 輔 )10:45~1 1 : 0 5 一 般 講 演「マイクロ 流 体 技 術 による 乳 化 操 作 と 微 粒子 設 計 」( 東 京 工 業 大 学 西 迫 貴 志 )11:05~1 1 : 4 5 招 待 講 演「 最 近 の RF MEMS デバイスの 開 発 動 向 」( 富 士 通 研 究 所 上 田 知 史 )11:45~13:00 昼 休 ポスター 準13:00~13:40 基 調 講 演「 集 積 強 誘 電 体 技 術 の 現 状 - 強 誘 電 体 膜 の不 揮 発 メモリ、センサ、アクチュエータ 応 用 」( 東 京 工 業 大 学 石 原 宏 )備13:40~14:00 一 般 講 演「サブミクロン Au 粒 子 を 用 いた 気 密 封 止 パッケージング 向 けウェーハ 接 合 技 術 」(ズース・マイクロテック㈱ 石 田 博 之 )14:00~14:30 特 別 講 演「MEMS 共 振 器 を 用 いた 面 発 光 レーザの 波長 制 御 」( 東 京 工 業 大 学 小 山 二 三 夫 )14:30~14:50 一 般 講 演「 電 気 回 路 シミュレータ Qucs を 用 いたMEMS アクチュエータの 連 成 解 析 手 法 」( 東 京 大 学 丸 山 智 史 )14:50~15:00 休 憩15:00~16:00ポスターセ 実 験 室 見 学16:00~16:30 特 別 講 演「 薄 化 ウエハ 基 盤 を 用 いた 三 次 元 積 層 技 術 」( 東 京 大 学 大 場 隆 之 )ッション16:30~17:3017:30~19:00懇親会