Master IST - UniversitÃ© Paris-Sud 11

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Nom de l’UE : Conception de microsystèmes Responsable : Hervé Mathias Mention : Information, Systèmes et Technologie (EEA) PhysI-J08 type d’UE : CM +TP UE partiellement commune Nanosciences et SECI(R&P) Objectifs : Former les étudiants aux techniques de conception et de simulation de dispositifs MEMS. Après des notions rapides sur la physique des MEMS (mécanique) et sur les méthodes de modélisation numériques correspondantes, les étudiants verront les démarches de conception du système complet incluant celle du microdispositif et de l'électronique associée, afin d'optimiser de manière globale les performances. Contenu des enseignements (avec nb d’heures) Cours TD TP 26h 24h Conception des MEMS et NEMS 18h ♦ Physique des microsystèmes: contraintes, déformations, equation de Poisson, de Navier Stokes … ♦ Méthodes de résolution numérique d'équations aux dérivées partielles: éléments finis, éléments frontières, méthode de Fourier ♦ Conception et simulation de MEMS/NEMS : prise en compte des couplages, des nonlinéarités ♦ Travaux pratiques: établissement d'un modèle d'ordre réduit de microsystème 12h (Matlab/Simulink); Modélisation de dispositifs MEMS par éléments finis (ANSYS); Conception globale d'un microsystème 8h ♦ Prise en compte des non-idéalités de l'électronique associée ♦ Mise en équation des caractéristiques du microsystème : détermination des caractéristiques (sensibilité, biais, linéarité) de la chaîne globale; études de sensibilité pour dimensionner et choisir les différents éléments. ♦ Détermination de la résolution : étude globale du bruit du système ♦ Travaux pratiques : Conception d'un microsystème (par exemple accéléromètre) et de son électronique associée sous Coventor avec obtention du dessin des masques du dispositif MEMS 12h Enseignants : H. Mathias (MC), J. Juillard (Supélec) Pré requis : −−− Mise en commun : la partie Conception des MEMS et NEMS est commune au parcours Nanodispo Nombre maximum d’inscrits : −−− Contrôle des connaissances : examen écrit (2/3) + TP (1/3) nb d’heures : 50 h ECTS : 5 12/06/12 14
Nom de l’UE : Fabrication et caractérisation de MEMS Responsables : Élisabeth Dufour-Gergam Mention : Information, Systèmes et Technologie (EEA) PhysI-J09 type d’UE : CM + TP UE commune Nanosciences et SECI(R&P) Objectifs : Former les étudiants aux techniques de fabrication et de caractérisation de dispositifs MEMS. La plus grande partie de cette UE se fera sous forme de TP en salle blanche. Le cadre de cette UE est l'UE projet techno logique du parcours Nanosciences mais avec un contenu lié aux dispositifs conçus dans les autres modules. Contenu des enseignements (avec nb d’heures) Cours TD TP 6 h 24 h ♦ Fabrication de MEMS 6 h 16 h − Photolithographie − Gravure : RIE, gravure humide − Bonding ♦ Caractérisation − Caractérisation optique et électrique des dispositifs fabriqués 8 h Enseignants : É. Dufour-Gergam (PU), H. Mathias (MC), F. Parrain (MC) Prérequis : −−− Nombre maximum d’inscrits : −−− Contrôle des connaissances : examen écrit (2/3) + TP (1/3) nb d’heures : 30 h ECTS : 3 12/06/12 15
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Page 11 and 12: Nom de l’UE : Traitement du signa
Page 13: Nom de l’UE : Electronique des ca

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