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Mémoire de thèse de Nizar Ben Hassine_Finale - Laboratoire TIMA

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CHAPITRE-I: LA TELEPHONIE MOBILE ET LA TECHNOLOGIE A ONDES DE VOLUMELes filtres diélectriques, basés sur <strong>de</strong>s résonances électromagnétiques et qui ont été utilisés dans unpremier temps pour réaliser les fonctions <strong>de</strong> filtrage RF ne permettaient pas <strong>de</strong> suivre cette fortetendance vers la miniaturisation <strong>de</strong> la téléphonie cellulaire à cause <strong>de</strong> leur encombrement. Cettefonction a été confiée aux composants acoustiques comme nous le verrons dans la suite.Le point commun à tous les filtres électroacoustiques est qu’ils utilisent la conversion d’énergieélectrique en énergie acoustique et vice versa. L’intérêt d’exploiter les phénomènes acoustiques estque la propagation <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s acoustiques se fait avec une vitesse beaucoup plus faible que celle <strong>de</strong>son<strong>de</strong>s électromagnétiques [R.1.71] .Le principe <strong>de</strong> base pour ce choix est simple : étant donné que la vitesse du son dans les soli<strong>de</strong>s esttypiquement 10 000 fois plus faible que la vitesse d'une on<strong>de</strong> électromagnétique, la longueur d'on<strong>de</strong>acoustique est seulement <strong>de</strong> quelques µm à 1GHz, alors que pour une on<strong>de</strong> électromagnétique à lamême fréquence, la longueur d’on<strong>de</strong> λ est <strong>de</strong> quelques dizaines <strong>de</strong> cm dans l’air. Ceci permet <strong>de</strong>construire <strong>de</strong>s résonateurs à on<strong>de</strong>s acoustiques <strong>de</strong> très petite taille. L’effet piézoélectrique présent danscertains matériaux est utilisé pour coupler l'énergie entre les domaines électriques et acoustiques (etinversement).C’est le même principe que celui <strong>de</strong>s résonateurs à quartz qui ont été longtemps utilisés en particulierpour réaliser <strong>de</strong>s fonctions <strong>de</strong> filtrage. Mais <strong>de</strong>vant les limitations en fréquence insurmontables <strong>de</strong> cesrésonateurs (typiquement, ce composant permet d’atteindre <strong>de</strong>s résonances ne dépassant pas lacentaine <strong>de</strong> Mégahertz) et la limitation en ban<strong>de</strong> passante, les SAW sont <strong>de</strong>venues la solutiontechnologique pour le filtrage haute fréquence.Les composants SAW transforment via un transducteur interdigité les on<strong>de</strong>s électromagnétiquesentrantes en on<strong>de</strong>s acoustiques. Celles-ci se propagent à faible vitesse v (comparée à la vitesse <strong>de</strong> lalumière) en surface du milieu piézoélectrique. En sortie, la transformation inverse (<strong>de</strong> l’acoustiquevers l’électromagnétique) est effectuée (FIG.1-8).Les transducteurs d’entrée et <strong>de</strong> sortie sont constitués d’électro<strong>de</strong>s métalliques en forme <strong>de</strong> peigne auxdoigts entrelacés (interdigités) qui sont déposés sur un matériau piézoélectrique. Lorsqu’on appliqueun champ électrique sur ces électro<strong>de</strong>s, on vient exciter les on<strong>de</strong>s acoustiques <strong>de</strong> surface. Pour unefréquence bien déterminée, ceci permet <strong>de</strong> créer une perturbation acoustique constructive pour leson<strong>de</strong>s <strong>de</strong> surface. Pour toutes autres fréquences, l’excitation produite entre les électro<strong>de</strong>s est <strong>de</strong> forme<strong>de</strong>structive et donc a tendance à s’atténuer. Dans ce type <strong>de</strong> transducteur la <strong>de</strong>mi-longueur d'on<strong>de</strong> estfixée par la distance entre <strong>de</strong>ux ban<strong>de</strong>s métalliques consécutives (ou la périodicité du systèmed’électro<strong>de</strong>s). Ainsi, la fréquence est inversement proportionnelle à cette dimension latérale.Les on<strong>de</strong>s acoustiques évoluent en surface du substrat, suivant le mo<strong>de</strong> <strong>de</strong> propagation d’unedéformation dans un soli<strong>de</strong> (mo<strong>de</strong> <strong>de</strong> Rayleigh), avec un temps <strong>de</strong> propagation égal au rapport <strong>de</strong> λ/v.Les premières utilisations <strong>de</strong> ces on<strong>de</strong>s acoustiques <strong>de</strong> surface en électronique datent <strong>de</strong> 1965 avec lestravaux <strong>de</strong> White et Voltmer [R.1.61] qui ont réalisé le premier dispositif permettant la génération et la24<strong>Nizar</strong> <strong>Ben</strong> <strong>Hassine</strong> : « Eu<strong>de</strong> <strong>de</strong> la fiabilité <strong>de</strong>s composants BAW pour <strong>de</strong>s applications RF »

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