Mémoire de thèse de Nizar Ben Hassine_Finale - Laboratoire TIMA

CHAPITRE-I: LA TELEPHONIE MOBILE ET LA TECHNOLOGIE A ONDES DE VOLUMECette conversion de mode et la transformation d'impédance sont nécessaires dans les standards actuelsGSM et WCDMA entre autres, et elle est disponible avec la technologie SAW dans sa configurationDMS. En conséquence, pour s'imposer, la technologie BAW doit intégrer également ces fonctions deconversion de mode et de transformation d'impédance. Actuellement, cette fonction, n'est pasdisponible pour les filtres BAW en échelle ou en treillis (cf paragraphe suivant) ; elle est réalisée pardes circuits d'adaptation très volumineux qui peuvent induire des pertes d'insertion supplémentairesallant de 0,5 à 1 dB.Ainsi, le CRF est un composant-clef de la technologie à ondes acoustiques de volume puisqu’ilpermet, en utilisant la technologie BAW, de réaliser des filtres en films minces présentant les mêmesfonctions que les filtres SAW ce qui explique l’intérêt croissant pour cette technologie des leaders descomposants BAW. Néanmoins, le problème majeur de cette technologie est le coût du procédé defabrication qui nécessite deux fois plus d’étapes qu’un procédés de fabrication BAW standard et quidevient très coûteux comparé à celui d’un SAW [R.1.38] .La deuxième catégorie des filtres BAW qui est plus classique mais qui est déjà commercialisée est lafamille des filtres à résonateurs qui sera introduite par la suite.I.5.6.1.2. Les filtres à éléments d’impédance:Dans ce type de filtre, les résonateurs BAW (FBAR ou SMR) sont disposés côte à côte (FIG.1- 27), cequi simplifie la fabrication dans la mesure où une seule couche piézoélectrique est nécessaire.Toutefois, contrairement au CRF, cette catégorie de filtre BAW ne permet ni la conversion de modedu asymétrique au différentiel ni la transformation d'impédance.FIG.1- 27: Exemple d’un filtre BAW à huit résonateursLes filtres à résonateurs BAW se présentent en général dans trois types de configuration : en échelle,en treillis [R.1.163] ou une association échelle-treillis ainsi que le montre la FIG.1- 28. Pour réaliser cesfiltres, il est nécessaire de disposer de deux types de résonateurs possédant des fréquences différentes.Le décalage en fréquence peut s'obtenir en ajoutant une couche supplémentaire de SiO 2 (loading) aurésonateur standard pour abaisser la fréquence ou en gravant la couche supérieure pour augmenter lafréquence. Ce décalage en fréquence est d’une grande importance lors de la fabrication de ces filtrescar il détermine au premier ordre la largeur de la bande passante ainsi que le niveau de pertesd'insertion.40Nizar Ben Hassine : « Eude de la fiabilité des composants BAW pour des applications RF »