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Mémoire de thèse de Nizar Ben Hassine_Finale - Laboratoire TIMA

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CHAPITRE-I: LA TELEPHONIE MOBILE ET LA TECHNOLOGIE A ONDES DE VOLUMEDans cette logique d'intégration <strong>de</strong> fonctions pour la miniaturisation et la diminution <strong>de</strong>s coûts, <strong>de</strong>sfournisseurs proposent <strong>de</strong>s puces contenant plus d’un filtre (<strong>de</strong>ux à trois filtres pour un seul boîtier) ouintégrant plus <strong>de</strong> fonctions : filtrage, conversation <strong>de</strong> mo<strong>de</strong> (balun), adaptation d’impédance [R.1.88] .Malgré l’intérêt <strong>de</strong>s solutions proposées en littérature pour surmonter ces limitations et les résultatsencourageants, l’intérêt croissant exprimé par <strong>de</strong> grands acteurs <strong>de</strong> la technologie SAW tels queEPCOS, FUJITSU, TRIQUINT pour la technologie BAW et même leur recours à utiliser cettesolution pour construire <strong>de</strong>s modules combinant les filtres SAW pour la réception et les filtres BAWpour l’émission, met en cause l’efficacité et la rentabilité économique <strong>de</strong>s solutions SAWproposées [R.1.89-R.1.91] . Ces anticipations montrent que la solution SAW <strong>de</strong>meure mal adaptée à <strong>de</strong>sfréquences d’utilisation supérieures à 2 GHz et à un fonctionnement à fort signal [R.1.18] . De même,l’incompatibilité <strong>de</strong>s composants SAW avec les technologies <strong>de</strong> fabrication <strong>de</strong> la microélectronique,interdit leur intégration sur silicium, et la réalisation à terme <strong>de</strong> toutes les fonctions du téléphone surune seule puce. C’est pourquoi on a vu émerger <strong>de</strong>puis une vingtaine d’années une nouvelletechnologie, exploitant <strong>de</strong>s on<strong>de</strong>s acoustiques <strong>de</strong> volume (BAW : Bulk Acoustic Wave) cette fois, etque nous présenterons dans la suite.I.5. La technologie à on<strong>de</strong>s acoustique <strong>de</strong> volume (BAW): une «nouvelle» solution, <strong>de</strong>nouveaux défisL’âge d'or <strong>de</strong>s filtres SAW prend fin lorsque EPCOS, FUJITSU, TRIQUINT déci<strong>de</strong>nt à partir <strong>de</strong> 2006(EPCOS commence puis les autres un peu plus tard) <strong>de</strong> passer à la phase <strong>de</strong> production <strong>de</strong>s BAWmême s’ils gar<strong>de</strong>nt la production <strong>de</strong>s SAW comme activité principale (FIG.1-11) [R.1.91] .FIG.1-11: comparaison <strong>de</strong>s performances <strong>de</strong>s technologies SAW et BAW pour les applicationstéléphonie mobile, en montant plus haut en fréquence, les BAW sont meilleurs même avec les SAWcompensés en température (TC SAW) [R.1.113]Par son principe <strong>de</strong> fonctionnement, la technologie BAW n’est pas limitée en fréquence <strong>de</strong>fonctionnement par la résolution lithographique car le dimensionnement du résonateur se joue aupremier ordre sur l’épaisseur <strong>de</strong> la couche piézoélectrique. La tenue en puissance <strong>de</strong>s résonateursBAW est également meilleure que celle <strong>de</strong>s SAW, car la puissance RF est répartie dans le volume <strong>de</strong>28<strong>Nizar</strong> <strong>Ben</strong> <strong>Hassine</strong> : « Eu<strong>de</strong> <strong>de</strong> la fiabilité <strong>de</strong>s composants BAW pour <strong>de</strong>s applications RF »

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