Rivelatori a Semiconduttore - Gruppo 3
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Ion inplanted<br />
Drogaggio può anche essere effettuato con un fascio di ioni<br />
prodotti in un acceleratore, per esempio fasci di Fosforo o Boro<br />
Range degli ioni ben definito: e’ possibile controllare<br />
accuratamente profilo del drogaggio<br />
Vengono poi riscaldati (annealing) per ridurre effetti del danno<br />
da radiazione (T ~ 500 C, minore che nei diffused junction<br />
detector, cristallo meno disturbato meno difetti)<br />
Dicembre 2007 <strong>Rivelatori</strong> a <strong>Semiconduttore</strong> - Laboratorio I 55
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