Rivelatori a Semiconduttore - Gruppo 3

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Diffusione di litio Procedimento per creare materiali compensati: diffusione di litio (donore) in materiali di tipo p. Configurazione p-i-n Alta resistività del materiale compensato porta ad avere una regione di svuotamento profonda (diversi mm) Mobilità del litio Raffreddare alla temperatura dell’azoto liquido sempre! Dicembre 2007 Rivelatori a Semiconduttore - Laboratorio I 56
Passivated planar Metodi inizialmente usati per circuiti integrati utilizzati per fabbricazione di rivelatori (alta temperatura) (fotolitografia) Produzione simultanea di molti rivelatori in wafer di silicio L’ossido mantiene leakage current molto inferiore che nei surface barrier Tipo di procedimento molto utile anche nei rivelatori finemente segmentati Dicembre 2007 Rivelatori a Semiconduttore - Laboratorio I 57
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